芯片制造的工藝復雜、流程眾多,而晶圓切割就是半導體封測工藝中不可或缺的一道工序,晶圓切割就是將單一晶圓進行切割制作成一個個晶粒單元,但由于晶粒本身比較脆弱、相互之間距離小,并且切割時還需要注意晶粒不被污染、避免出現(xiàn)崩塌或者裂痕現(xiàn)象,因此晶圓切割對于技術和切割設備的要求都極高。在晶圓切割過程中,通常要用到的一項精密切割設備就是晶圓切割機,晶圓切割機可使安裝在主軸上的砥石高速旋轉(zhuǎn),從而切斷硅晶圓。近幾年,隨著激光技術的發(fā)展,激光切割機逐漸成為了芯片制作領域的研究熱點。由于激光切割為非接觸式加工過程,其不僅切割精度高、效率高,而且可以避免對晶體硅表面造成損傷,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量和效率。無錫超通智能簡述超快激光玻璃晶圓切割設備規(guī)范標準。品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設備價錢
晶圓激光劃片機必須具備一下幾個優(yōu)勢:1、一定要有效率,高速高效是減少企業(yè)耗資的根本。要高精度、快速度、性能優(yōu)越的特點。2、聽說采用的都是泵浦激光調(diào)Q的YAG激光器系統(tǒng)或綠激光作為工作光源,而且還是統(tǒng)一由計算機控制二維工作臺的**設備,可進行曲線及直線的切割。我們希望的高配置的**技術設備。價格要對得起光纖激光劃片機的功能。3、另外對設備自身有些小小的要求,就是必須達到無污染、噪音低、性能穩(wěn)定可靠等優(yōu)點。超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備。歡迎詢價。湖北自制超快激光玻璃晶圓切割設備超快激光玻璃晶圓切割設備哪個性價比高?無錫超通智能告訴您。
劃片速度決定了激光聚焦在晶圓上劃片槽某一區(qū)域的時間,也就是決定了在某一區(qū)域內(nèi)輸入的劃片功率,因此會直接影響劃片深度和劃片寬度。值得一提的是,激光光斑對劃片槽區(qū)域硅材料切割線可以看成是一個又一個光斑切割微圓疊加而成的,較高的頻率和適當?shù)乃俣瓤梢缘玫街旅?、均勻的切割痕跡,速度太快或頻率不足則相鄰兩個切割微圓的圓心較遠,芯片切割邊緣呈巨齒狀,切割質(zhì)量下降。所以,劃片功率、頻率、速度等參數(shù)共同影響了劃片寬度、劃片深度、劃片質(zhì)量等劃片的關鍵指標。
硅材料對紅外透過率很高,所以硅的隱形切割設備,通過選用短脈沖紅外激光器,將激光脈沖聚焦到硅襯底內(nèi)部,實現(xiàn)隱形切割。激光隱形切割是非接觸式切割,解決了砂輪切割引入外力沖擊對產(chǎn)品破壞的問題。不過一般設備的激光隱形切割形成的改質(zhì)層區(qū)域會使材料變得酥脆,還是會形成少量細小硅碎屑掉落,雖然碎屑數(shù)量遠少于砂輪切割,如前文所述,MEMS晶圓因為無法通過清洗的方法去除細小硅碎屑,故這些碎屑將對芯片造成破壞,影響良率。超通智能生產(chǎn)的硅晶圓激光切割設備,選用自制的紅外激光器和自主開發(fā)的激光加工系統(tǒng),實現(xiàn)硅晶圓的隱形切割,該設備能夠很好的控制隱形切割后碎屑的產(chǎn)生,從而滿足***MEMS晶圓切割的要求,保證切割良率無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備汽車行業(yè)解決方案?
半導體材料的另一個大量應用是光伏電池產(chǎn)業(yè),是目前世界上增長**快、發(fā)展比較好的清潔能源市場。太陽能電池分為晶體硅太陽能電池、薄膜電池以及III-V族化合物電池,其中以硅晶圓材料為基礎應用**為***。光伏電池恰恰與激光器相反,它是把光轉(zhuǎn)換為電的一種設備,而這個光電轉(zhuǎn)化率是判斷電池優(yōu)劣的**重要標準,這其中采用的材料和制作工藝是**為關鍵的。在硅晶圓的切割方面,以往傳統(tǒng)的刀具切割精度不足、效率低下,而且會產(chǎn)生較多的不良產(chǎn)品,因此在歐洲、韓國、美國早已采用了精密激光制造技術。我國光伏電池產(chǎn)能占據(jù)全球超過一半,隨著國家扶持新能源發(fā)展,過去四年光伏產(chǎn)業(yè)重回上升軌道,并且大量采用新技術工藝,其中激光加工就是重要工藝之一。選擇超快激光玻璃晶圓切割設備應該注意什么?無錫超通智能告訴您。廣東先進超快激光玻璃晶圓切割設備訂制價格
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近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高集成度和高性能的半導體晶圓需求不斷增長,硅、碳化硅、藍寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應用于半導體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向于輕薄化,傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用,于是在部分工序引入了激光隱形切割技術。半導體晶圓的激光隱形切割技術是一種全新的激光切割工藝,具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無切割基材耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢。隱切切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間,在材料中間形成改質(zhì)層,然后通過外部施加壓力使芯片分開。品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設備價錢
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