檢漏儀分子泵故障如何維修？檢查真空表是不是出現了問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞?？梢允褂米约旱墓ぞ咭苿拥镀瑏砼袛嗨欠窨梢孕D。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。氦泄漏檢測儀的燈絲不能正常啟動。在確認機械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后，如果燈絲仍不能發(fā)射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路，請更換燈絲。如果沒有，請檢查端子是否與其他連接器連接，以消除短路。應定期更換氦質譜檢漏儀的泵油，適時對機械泵加油。蘇州密封性檢漏儀特點

檢漏儀的應用特點：(1)便攜式：各國推出的小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不但解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。蘇州密封性檢漏儀特點檢漏儀其本身擁有著強力的檢測靈敏度可以精確的定位。

檢漏儀漏率校準數據處理：漏率示值誤差，漏率的溫度修正標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下：方法一：將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；方法二：將標準漏孔漏率的檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下，用標準漏孔漏率的檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。此方法對檢漏儀漏率部分進行校準，方法簡單明了，便于實際應用，可操作性強，可以滿足檢漏儀漏率性能和使用要求，保證了檢漏儀漏率量值準確可靠。

檢漏儀怎么選擇適合的檢漏方法？ 氦質譜檢漏的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法），可以發(fā)現有不同的叫法，這是根據不同的檢測方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質來決定。根據不同的檢漏目的，常用基礎的有3種檢漏方法。負壓法（噴氦法），對被檢工件抽真空，可對被檢工件外可疑漏點噴氦，也可將工件罩起來對氦罩內噴氦，可根據工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵，可檢測工件的具體漏點和準確漏率；正壓法（吸入法），可分為真空箱法和吸口法兩張模式，真空箱法詳見真空箱式氦檢成套設備，工件內充氦氣，吸搶檢測，可根據工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣，可檢測工件的具體漏點，檢測精度高。背壓法，可根據工件大小定制罐體大??；可檢測工件的整體漏點；檢測精度較高。氦質譜檢漏儀應安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所。

檢漏儀的基本原理與結構：檢漏儀一般由質譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率，真空系統(tǒng)的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結構，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被普遍采用，已成為市場的主流產品。應定期檢查氦質譜檢漏儀是否靈敏，避免失靈等問題。安徽真空衰減法檢漏儀費用

造成檢漏儀燈絲脆斷的原因是真空度低或者燈絲電流過大。蘇州密封性檢漏儀特點

檢漏儀檢漏時出現的故障：1、不向細檢方式轉換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說明檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關切換到自動轉換狀態(tài)。2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測壓力，等到質譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。3、氦本底太高。檢查機械泵油是否失效(泵油長期使用變質會吸附較多的氦氣，導致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規(guī)上壓力是否達到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題，如果有多臺檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風不好時，致使氦氣擴散慢，也會導致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大幅減少了環(huán)境的氦污染。蘇州密封性檢漏儀特點

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