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移動(dòng)式氦檢機(jī)報(bào)價(jià)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-03-30

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會(huì)失效。綜上所述,氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。移動(dòng)式氦檢機(jī)報(bào)價(jià)

氦檢儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦檢儀在使用過程中,往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進(jìn)度,若對(duì)其置之不理還會(huì)危及氦檢儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的,掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦檢儀熱管檢漏:熱管需要檢漏原因:熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強(qiáng)熱傳導(dǎo)性能,如果熱管本身存在漏點(diǎn),首先會(huì)影響熱管的導(dǎo)熱性能;其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部,如果發(fā)生泄漏,里面封裝的液體就會(huì)流出,嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn),所以熱管生產(chǎn)企業(yè),都會(huì)采用氦檢儀對(duì)熱管進(jìn)行檢漏。全自動(dòng)氦檢設(shè)備大概多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。

氦檢儀怎么選,這取決于客戶的需求:應(yīng)用類型:(例如:生產(chǎn),維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能:(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間,靈敏度,響應(yīng)時(shí)間,恢復(fù)時(shí)間,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量,主要是通過以下參數(shù):初抽的能力:(m3/h),檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力:(mbar),進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間:(s),氦抽速:(l/s))靈敏度,較低可測(cè)的氦信號(hào):(mbar.l/s),響應(yīng)時(shí)間:(s),恢復(fù)時(shí)間:(s),初抽能力:將決定進(jìn)入檢測(cè)模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測(cè)就可以(是否需要輔助泵)。檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力:〉將決定進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間:是由初抽能力和檢測(cè)允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測(cè)時(shí)間的參數(shù):腔體的脫氣以及非常大的泄漏。

隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展,汽車空調(diào)行業(yè)對(duì)氦檢的需求越來越大,對(duì)氦檢的性能指標(biāo)要求越來越高。氦檢儀在汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機(jī)檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨(dú)有特點(diǎn)。對(duì)被檢工件抽空后充入一定壓強(qiáng)的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測(cè)出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,在檢漏前后分別實(shí)現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對(duì)汽輪機(jī)內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個(gè)環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會(huì)增加生產(chǎn)成本,所以電廠檢漏在實(shí)際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法?

氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清零時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測(cè)氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對(duì)人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測(cè)對(duì)象不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng);(4)分子直徑和質(zhì)量小,容易穿過微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會(huì)堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點(diǎn)查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜,或漏率極小時(shí),可針對(duì)重點(diǎn)部位用塑料袋套住,然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣,實(shí)現(xiàn)對(duì)特定重點(diǎn)部位的檢漏。氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏。寧波真空氦檢儀

氦檢儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。移動(dòng)式氦檢機(jī)報(bào)價(jià)

氦檢儀的撿漏方法:正壓法(吸入法)??煞譃檎婵障浞ê驼龎悍▋蓮埬J?,工件內(nèi)充氦氣,吸搶檢測(cè)可根據(jù)工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測(cè)工件的具體漏點(diǎn)。檢測(cè)精度高。適用行業(yè):特種閥門,高壓管道,制冷管路,汽輪機(jī)組等。因?yàn)榭諝庵泻?ppm的氦氣,正壓法檢漏靈敏度相對(duì)負(fù)壓法要低。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動(dòng)嗅探式和氦罩累積式。前者只能定性檢測(cè)大漏,后者則可定量檢測(cè)微漏。氦質(zhì)譜檢漏正壓氦罩法注意事項(xiàng):??氦罩要專門設(shè)計(jì),一般用金屬制作(塑料布在長(zhǎng)時(shí)間累積中滲透量太大)。如果累積時(shí)間短,也可用0.10~0.15mm的塑料布制作。檢測(cè)時(shí)氦罩應(yīng)盡量小,以便提高氦的壓升率。氦罩要密封。探測(cè)口要方便檢測(cè)。檢漏過程中,儀器靈敏度和吸頭在校準(zhǔn)后不得進(jìn)行調(diào)整,否則要重新進(jìn)行校準(zhǔn)。吸頭不應(yīng)一直插在檢測(cè)口內(nèi),以免影響累積信號(hào)。在低溫探測(cè)時(shí),環(huán)境濕度應(yīng)盡量降低,被檢件應(yīng)先加高壓示漏氣體而后降溫,以免小孔阻塞。移動(dòng)式氦檢機(jī)報(bào)價(jià)

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