氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？模塊式氦檢儀注意事項(xiàng)

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的?？椭苹z機(jī)哪個(gè)牌子好氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。

氦檢儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦檢儀在使用過程中，往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對(duì)其置之不理還會(huì)危及氦檢儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的，掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦檢儀熱管檢漏：熱管需要檢漏原因：熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強(qiáng)熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點(diǎn)，首先會(huì)影響熱管的導(dǎo)熱性能；其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏，里面封裝的液體就會(huì)流出，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，所以熱管生產(chǎn)企業(yè)，都會(huì)采用氦檢儀對(duì)熱管進(jìn)行檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理要求是什么？

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的原因是什么？穩(wěn)定時(shí)間對(duì)檢測(cè)的影響，在充氣的時(shí)候，壓縮空氣會(huì)因?yàn)槭軌籂顟B(tài)而進(jìn)入一個(gè)密閉容器后，引起一系列的熱力學(xué)-動(dòng)力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會(huì)發(fā)生降低，若此時(shí)進(jìn)行測(cè)量，則這種壓力的變化會(huì)被視作一個(gè)由泄漏所引起的壓力變化，影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力、測(cè)試容積及測(cè)試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測(cè)試容積增加時(shí)，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個(gè)問題的辦法之一是在充氣與測(cè)量之間增加一段穩(wěn)定時(shí)間來消除這種影響。氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏?？椭苹鈾z測(cè)儀定制

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。模塊式氦檢儀注意事項(xiàng)

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng)：1、工件要保持清潔、干燥。2、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行：①從上往下。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。3、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件。5、對(duì)同一工件，如有兩處以上漏點(diǎn)，應(yīng)排除Zda的漏點(diǎn)后，再對(duì)其它地方檢漏。6、裝工件時(shí)應(yīng)使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好，避免氦氣濃度，但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。模塊式氦檢儀注意事項(xiàng)

上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司致力于儀器儀表，是一家生產(chǎn)型的公司。上海妤林真空致力于為客戶提供良好的氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀，一切以用戶需求為中心，深受廣大客戶的歡迎。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念，秉持誠(chéng)信為本的理念，打造儀器儀表良好品牌。上海妤林真空秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念，全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力。