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氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn):①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器。移動(dòng)式氦氣檢測(cè)設(shè)備哪個(gè)牌子好
氦檢儀在壓力容器中的常用方法:噴氦法,噴氦法是常用,比較方便的檢漏方法。檢漏時(shí),用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣,如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置,則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升,氦氦檢儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少,超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法,這種方法使用一個(gè)檢漏罩(塑料薄膜等)把被檢容器包起來,先排除罩內(nèi)空氣,然后充入氦氣或氦氣的混合氣體,氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接,當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時(shí),說明有泄漏。這個(gè)漏率稱為總漏率??偮┞蕿楦鱾€(gè)分漏率之和;總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值,則各個(gè)分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值;總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值,則檢查各個(gè)點(diǎn)的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。然后再對(duì)超過標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進(jìn)行修補(bǔ),直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。臺(tái)式氦氣檢測(cè)機(jī)氦檢模塊氦檢儀能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏原理:當(dāng)一個(gè)帶電質(zhì)點(diǎn)(正離子)以速度v進(jìn)入均勻磁場(chǎng)的分析器中,如果速度v的方向和磁場(chǎng)H的方向相垂直,則它的運(yùn)動(dòng)軌跡為圓。當(dāng)磁場(chǎng)的磁通密度一定時(shí),不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場(chǎng)中都有相應(yīng)的運(yùn)輸半徑,也就是都有相應(yīng)的圓軌跡,這樣,不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場(chǎng)分析器中運(yùn)動(dòng)后就會(huì)彼此分開。如果在離大運(yùn)動(dòng)的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對(duì)應(yīng)的氦離子運(yùn)動(dòng)半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測(cè)量儀表指示出來。檢漏時(shí),如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中,使氦質(zhì)譜檢漏儀的測(cè)量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來,達(dá)到了檢漏的目的。
氦檢儀噪聲是哪兒來的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,另一個(gè)就是本底噪聲。實(shí)際上,目前通過對(duì)電子線路的改進(jìn),儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過放大信號(hào)的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣),電離真空計(jì)特別是磁放電真空計(jì)對(duì)氦氣的記憶效應(yīng)(被污染的情況下更為嚴(yán)重);3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對(duì)氦氣抽速的不穩(wěn)定性;4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透;5、殘余氣體分子對(duì)氦離子的散射等等。這些因素對(duì)本底噪聲及靈敏度的影響都很大。氦檢儀本底漏率值是什么?
氦檢儀的型號(hào)較多,但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。質(zhì)譜室:不同類型的氦檢儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異,都是由離子源、分析器和收集器三部分組成,它們放在一個(gè)抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。1)離子源。離子源的作用是使氣體分子電離,形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲(陰極)、離化室及離子加速極組成。2)分析器。分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng),從而將它們彼此分開,只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成,磁場(chǎng)方向與離子束入射方向垂直。3)收集極。收集極是對(duì)準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的,其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個(gè)電阻輸入到小電流放大器進(jìn)行離子流的放大和測(cè)量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A,要使小電流放大器第1極輸入信號(hào)電壓足夠大,則輸入電阻必需很大(一般高于1010歐),第1級(jí)放大用的靜電計(jì)管必須要高度絕緣,所以把高阻及靜電計(jì)管放在高真空的質(zhì)譜室中。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。移動(dòng)式氦氣檢測(cè)設(shè)備哪個(gè)牌子好
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?移動(dòng)式氦氣檢測(cè)設(shè)備哪個(gè)牌子好
氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。移動(dòng)式氦氣檢測(cè)設(shè)備哪個(gè)牌子好
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