氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器，其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)：（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。模塊式氦檢機(jī)哪家好

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測(cè)口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測(cè)。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測(cè)總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。模塊式氦檢機(jī)哪家好氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時(shí)，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升，氦氦檢儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個(gè)檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來，先排除罩內(nèi)空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接，當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時(shí)，說明有泄漏。這個(gè)漏率稱為總漏率?？偮┞蕿楦鱾€(gè)分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值，則各個(gè)分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值；總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個(gè)點(diǎn)的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。然后再對(duì)超過標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進(jìn)行修補(bǔ)，直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。

氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法），可以發(fā)現(xiàn)有不同的叫法，這是根據(jù)不同的檢測(cè)方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。根據(jù)不同的檢漏目的，常用基礎(chǔ)的有3種檢漏方法。負(fù)壓法（噴氦法）。對(duì)被檢工件抽真空。可對(duì)被檢工件外可疑漏點(diǎn)噴氦，也可將工件罩起來對(duì)氦罩內(nèi)噴氦。可根據(jù)工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵。可檢測(cè)工件的具體漏點(diǎn)和準(zhǔn)確漏率。檢測(cè)精度高。適用行業(yè)：鍍膜行業(yè)，真空爐，真空配件，真空閥門，壓力容器，真空系統(tǒng)等。經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對(duì)工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測(cè)出具體漏點(diǎn))。4、使用液氮，全開節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機(jī)械泵油，適時(shí)對(duì)機(jī)械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時(shí)對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗，排除漏點(diǎn)。氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件?？椭苹鈾z測(cè)機(jī)多少錢一臺(tái)

氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。模塊式氦檢機(jī)哪家好

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇要進(jìn)行多家的貨物進(jìn)行對(duì)比，將不同品牌的樣品放一起對(duì)比，這樣氦質(zhì)譜檢漏儀儀質(zhì)量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質(zhì)量，建議用戶盡可能監(jiān)督安裝的全過程，同時(shí)并索要樣品驗(yàn)貨，在安裝完后，可以要求商家在再測(cè)試一遍。保持氦質(zhì)譜檢漏儀的干燥，嚴(yán)禁接觸水，并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴(yán)禁在高溫的環(huán)境中使用氦質(zhì)譜檢漏儀，高溫使用儀器，很可能會(huì)長久性的損壞傳感器。請(qǐng)參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用范圍領(lǐng)域也不相同，例如工業(yè)用的氦質(zhì)譜檢漏儀，需符合國家各項(xiàng)安全標(biāo)準(zhǔn)，使用起來也更復(fù)雜。模塊式氦檢機(jī)哪家好

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