氦質(zhì)譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測(cè)。在進(jìn)行泄漏檢測(cè)之前，用專(zhuān)門(mén)使用的加壓容器將氦氣加壓到試件中（壓力的大小由壓力和時(shí)間控制），然后取出試件，吹走表面以吸收氦氣，然后將其放置在專(zhuān)門(mén)使用的專(zhuān)門(mén)使用容器中。檢漏罐。泄漏檢測(cè)箱連接到泄漏檢測(cè)器的泄漏檢測(cè)端口，并排空泄漏檢測(cè)箱以執(zhí)行泄漏檢測(cè)。如果設(shè)備中存在泄漏，則被泄漏壓過(guò)的氦會(huì)釋放到泄漏檢測(cè)罐中到達(dá)質(zhì)譜儀管。用這種方法測(cè)得的泄漏率也是總泄漏率。將測(cè)試件連接到儀器的泄漏檢測(cè)端口以排空，并用裝滿(mǎn)氦氣的容器覆蓋測(cè)試件。如果測(cè)試件有泄漏，氦氣會(huì)通過(guò)泄漏進(jìn)入測(cè)試件，后到達(dá)質(zhì)譜儀管。檢測(cè)。測(cè)得的泄漏率是被測(cè)零件的總泄漏率。無(wú)法確定有多少泄漏以及每個(gè)泄漏的確切位置。可以看出，鐘罩法是基于噴霧法的檢漏法。氦質(zhì)譜檢漏儀要存放到陰涼、通風(fēng)、沒(méi)有漏雨、火災(zāi)等危險(xiǎn)的房間。揚(yáng)州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護(hù)：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。6.使用時(shí)，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題（如較大振動(dòng)、高噪音等），儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。常州臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家氦質(zhì)譜檢漏儀修長(zhǎng)的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)？這個(gè)時(shí)候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無(wú)水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法原理：采用正壓法檢漏時(shí)，需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周?chē)髿猸h(huán)境中，再采用吸口的方式檢測(cè)被檢產(chǎn)品周?chē)髿猸h(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測(cè)量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸口法和正壓累積法。其中正壓吸口法采用檢漏儀吸口對(duì)被檢產(chǎn)品外表面進(jìn)行掃描探查，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的精確定位; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，采用檢漏儀吸口測(cè)量一定時(shí)間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量，實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的精確測(cè)量。正壓法的優(yōu)點(diǎn)是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以精確定位，實(shí)現(xiàn)任何工作壓力下的檢測(cè)。氦質(zhì)譜檢漏儀長(zhǎng)期不使用時(shí)，用盲板將檢漏口、機(jī)械泵排氣口封上。

妤林JQ-3300型全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀。主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)芯的制造借鑒國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，整機(jī)設(shè)計(jì)合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高，反應(yīng)快，開(kāi)機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)。檢漏效果達(dá)到國(guó)外先進(jìn)水平。電氣部件采用模塊式設(shè)計(jì)，使維護(hù)更方便，信號(hào)干擾更少，檢漏效果更好。 放大器采用世界先進(jìn)技術(shù)的晶圓(原裝），相比老款設(shè)備使用的美國(guó) AD 放大器，有效降低了檢漏儀本身的噪音，提高了檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間，靈敏度和檢漏效果。產(chǎn)品具有快速清理本底的功能。在一般檢漏情況下，本儀器不需要按下調(diào)零鍵，就能快速清理氦本底信號(hào)，這一技術(shù)在國(guó)內(nèi)是創(chuàng)新。氦質(zhì)譜檢漏儀維護(hù)保養(yǎng)方法：機(jī)械泵維護(hù)，檢查機(jī)械泵油量，如低于較低標(biāo)線則添加泵油。常州真空氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。揚(yáng)州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理：一、機(jī)械維護(hù)，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見(jiàn)機(jī)械泵說(shuō)明書(shū)。二、清洗，泄漏探測(cè)器沒(méi)有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示，長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時(shí)又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、處理以下是常見(jiàn)的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電:1.電源線連接不當(dāng)；2、保險(xiǎn)管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險(xiǎn)管。揚(yáng)州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀

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