氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式可自動檢測。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀報價

氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲明顯減小.其靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點，適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。上海模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。

氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。

使用氦質(zhì)譜檢漏儀吸口模式檢測消防鋼瓶是業(yè)界較新所采用的較普遍的檢測方法，將消防鋼瓶沖入一定量的氦氣，使得鋼瓶內(nèi)外有壓力差，如果有泄露，氣體就會從鋼瓶內(nèi)部漏出，使用氦質(zhì)譜檢漏儀吸口在鋼瓶焊接處還有閥門處慢慢游走，吸口吸到有氦氣的話就會產(chǎn)生報警，工件被確認有漏，從而達到測量效果。消防器材檢漏應(yīng)用，氦質(zhì)譜檢漏儀在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中普遍應(yīng)用，表明了先進的科技水準，以及人們對產(chǎn)品品質(zhì)的要求的提高，比如消防器材的檢漏，較早在國內(nèi)采用的是浸水法，將滅火器放在水中，如果沒有氣泡冒出，就認為是合格的，此種方法完全靠人的觀察，組當(dāng)遇到微小泄露時，根本無法察覺，很可能在以后的使用中遇到問題，甚至可能危及生命，使用氦質(zhì)譜檢漏儀則大幅降低了泄露風(fēng)險，即使對微小的泄露也會偵測到，并加快了生產(chǎn)效率。氦質(zhì)譜檢漏儀要存放到陰涼、通風(fēng)、沒有漏雨、火災(zāi)等危險的房間。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程?，F(xiàn)今生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的機械泵有足夠的機械泵油；保證機體內(nèi)分子泵、機械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒有破損，有良好的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測量儀器。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀報價

氦質(zhì)譜檢漏儀運用了氦質(zhì)譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀報價

怎么確定氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設(shè)備的靈敏度？較佳工作條件。指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。動態(tài)檢漏。指不用累積法進行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進行抽真空，裝置的反應(yīng)時長小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的；較小可檢。指其信號是本底噪聲的兩倍；漏孔的漏率。指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠遠低于100kPa的壓力）的漏率。對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當(dāng)中氦的濃度。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀報價

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