氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測時(shí)通常由前級機(jī)械泵對被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。氦質(zhì)譜檢漏儀具有雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換的功能。嘉興氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時(shí)間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。現(xiàn)今生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的機(jī)械泵有足夠的機(jī)械泵油；保證機(jī)體內(nèi)分子泵、機(jī)械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒有破損，有良好的接地。杭州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護(hù)：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。

氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到合適的值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中。

氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。湖州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負(fù)壓法和正壓法。嘉興氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲明顯減小.其靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn)，適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。嘉興氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢

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