氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認(rèn)機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進(jìn)行定位，交由維修ZX處理。3、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)，檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。杭州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護工程師，才能使用此儀器。6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。南京智能氦質(zhì)譜檢漏儀定制怎么確定氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設(shè)備的靈敏度？

氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對離子源氣體進(jìn)行電離，電離出來的正離子經(jīng)過電場加速聚焦通過縫隙進(jìn)入均勻磁場，離子束在磁場力的作用下，旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達(dá)收集極，此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后，經(jīng)小電流放大器、微處理器，控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。在壓力容器中，使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負(fù)壓法），吸口法（正壓法），氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點集中在以下幾個方面:(1)便攜性:許多小型便攜式檢漏儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了極大的便利。(2)高壓強下檢漏:檢漏口的壓力可高達(dá)數(shù)百帕，對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。(3)高度自動化：氦峰自動標(biāo)定，零點自動調(diào)整，量程自動轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動處理，可外接打印機。全機由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。(4)完全無油的干式檢漏:一些國家生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達(dá)到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。為適應(yīng)檢漏口壓力的變化和對靈敏度的不同要求，分子泵一般采用多段結(jié)構(gòu)，多速。如果改變分子泵的轉(zhuǎn)速，可以達(dá)到這個目的，提高檢漏靈敏度。此外，反擴散檢漏方法實現(xiàn)了高壓強下檢漏，也為正壓吸口檢漏提供了良好的條件。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些？南京智能氦質(zhì)譜檢漏儀定制

由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。杭州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可以進(jìn)行批量化檢測。杭州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦

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