氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法：1、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間及其測(cè)定，反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間，記為τR。消除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。氦檢儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式，真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。舟山真空氦檢儀

氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn)，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對(duì)氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、氦質(zhì)譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對(duì)性的采取措施，如減少采用有機(jī)材料，不用磁放電規(guī)等。無損氦檢設(shè)備費(fèi)用氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。

氦檢儀產(chǎn)生測(cè)量誤差主要包括哪幾個(gè)方面？第1，當(dāng)氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)泄漏的位置與檢測(cè)泄漏的位置不同，即標(biāo)準(zhǔn)泄漏與檢測(cè)泄漏檢測(cè)器之間的距離太大，在途中泄漏氦的損失不相等，導(dǎo)致進(jìn)入檢測(cè)泄漏檢測(cè)器的氦量可比性差。第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。舟山真空氦檢儀

氦質(zhì)譜檢漏儀能夠?qū)崿F(xiàn)雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。舟山真空氦檢儀

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠，機(jī)械泵油必須用特定的針對(duì)機(jī)械泵型號(hào)的油。舟山真空氦檢儀

上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來、有夢(mèng)想有目標(biāo)，有組織有體系的公司，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍(lán)圖，在上海市等地區(qū)的儀器儀表行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來公司能成為*****，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**上海妤林真空設(shè)備供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌，共創(chuàng)佳績，一直以來，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實(shí)守信的方針，員工精誠努力，協(xié)同奮取，以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場，我們一直在路上！