氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開(kāi)抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開(kāi)入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái)，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開(kāi)，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。自動(dòng)氦檢儀價(jià)錢(qián)

氦檢儀在使用過(guò)程中，較常見(jiàn)的故障就是燈絲脆斷，氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長(zhǎng)？造成氦檢儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過(guò)大；3.對(duì)燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)啟，或者說(shuō)盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長(zhǎng)氦檢儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預(yù)置真空開(kāi)關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。臺(tái)式氦檢設(shè)備特點(diǎn)氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時(shí)，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升，氦氦檢儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個(gè)檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來(lái)，先排除罩內(nèi)空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接，當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時(shí)，說(shuō)明有泄漏。這個(gè)漏率稱為總漏率?？偮┞蕿楦鱾€(gè)分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值，則各個(gè)分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值；總漏率超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個(gè)點(diǎn)的分漏率是否超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值。然后再對(duì)超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進(jìn)行修補(bǔ)，直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。

氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度，但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過(guò)程中，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡(jiǎn)單常用的噴吹法，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時(shí)間后，氦檢儀即可發(fā)出信號(hào)。不同型號(hào)的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的因素：1、受到檢測(cè)壓力的影響，泄漏率對(duì)測(cè)試壓力的依賴性，對(duì)不同的測(cè)量條件是不同的。一般而言，對(duì)于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時(shí)，試驗(yàn)壓力對(duì)泄漏率的影響較大，而對(duì)于多孔性較低時(shí)則影響較小。另外，隨測(cè)試壓力的增高，還會(huì)帶來(lái)諸如溫度影響，所需穩(wěn)定時(shí)間加長(zhǎng)等一系列問(wèn)題。因此，建議對(duì)特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進(jìn)行泄漏檢測(cè)，然后選擇一個(gè)滿足測(cè)試要求的較低的壓力確定為它的測(cè)試壓力。2、受到檢測(cè)容積的影響，在一個(gè)特定的泄漏率值里，如果檢測(cè)容積增大的話，那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低，因而測(cè)量時(shí)間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下，如果不想方設(shè)法減少測(cè)量容積，那么可能會(huì)無(wú)法達(dá)到測(cè)量需要的精確度和靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？自動(dòng)氦檢儀價(jià)錢(qián)

氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。自動(dòng)氦檢儀價(jià)錢(qián)

氦檢儀在無(wú)源器件中的檢漏應(yīng)用：無(wú)源器件檢漏原因：光無(wú)源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分，也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。光無(wú)源器件對(duì)密封性的要求極高，如果存在泄漏會(huì)影響其使用性能和精度，光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè)。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點(diǎn)，替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應(yīng)用于光無(wú)源器件的檢漏。光無(wú)源器件檢漏方法：由于無(wú)源器件體積小，且無(wú)法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無(wú)源器件放入真空保壓罐，壓力和時(shí)間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2.取出無(wú)源器件，使用空氣或氮?dú)獯祾弑砻婧狻?.將無(wú)源器件放入真空測(cè)試罐，測(cè)試罐連接氦檢儀。4.啟動(dòng)氦檢儀，開(kāi)始檢漏。自動(dòng)氦檢儀價(jià)錢(qián)

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