氦質(zhì)譜檢漏儀操作步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關(guān)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器。氦氣檢測儀一臺多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測量儀器，需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標準漏孔對設(shè)備自身進行校準，以保證設(shè)備自身檢測精度。氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高，用得比較多的檢漏儀器。消費者在選購氦質(zhì)譜檢漏儀時必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進行挑選，例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦質(zhì)譜檢漏儀的檢查速度，立足于自身的需求保證這種氦質(zhì)譜檢漏儀的功能得以實現(xiàn)才是正確的挑選方式。真空氦檢設(shè)備氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的原因是什么？穩(wěn)定時間對檢測的影響，在充氣的時候，壓縮空氣會因為受壓狀態(tài)而進入一個密閉容器后，引起一系列的熱力學(xué)-動力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會發(fā)生降低，若此時進行測量，則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結(jié)果的準確性。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測試容積增加時，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時間來消除這種影響。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域：學(xué)?？蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導(dǎo)致經(jīng)二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。真空氦檢設(shè)備氦檢模塊

利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。氦氣檢測儀一臺多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常維護：1.定期檢查機械泵的油位，如不足足應(yīng)及時添加；如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道，這意味著油已經(jīng)惡化了。此時，應(yīng)釋放泵中的油，必要時，先用新油沖洗，然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴，可以從氦質(zhì)譜泄漏檢測器中取出，然后清洗，然后用熱風(fēng)吹干或自然晾干。使用氦質(zhì)譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），正壓法，氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。氦氣檢測儀一臺多少錢

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