氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場(chǎng)所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)。檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠，機(jī)械泵油必須用特定的針對(duì)機(jī)械泵型號(hào)的油。氦質(zhì)譜檢漏儀的機(jī)械泵有足夠的機(jī)械泵油；保證機(jī)體內(nèi)分子泵、機(jī)械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒有破損，有良好的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀要放平穩(wěn)，不能傾斜，檢漏儀底面要有一層防靜電布。氦質(zhì)譜檢漏儀使用時(shí)需要注意哪些事項(xiàng)？上海進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。上海進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用由于氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器具有選擇性識(shí)別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號(hào)。
氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計(jì)、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來(lái)回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入人體磁場(chǎng)，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時(shí)，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收槽到達(dá)接收極而被探測(cè)到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。
氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。
氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測(cè)量?jī)x器，需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測(cè)品工藝要求定期使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)設(shè)備自身進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證設(shè)備自身檢測(cè)精度。氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器，其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)：（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。溫州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮的問題有哪些？上海進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用
氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測(cè)試，高靈敏度，快速于精確的結(jié)果，快速啟動(dòng)，移動(dòng)性和系統(tǒng)的可靠性。常見的氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)儀方法有漏點(diǎn)型、漏率型兩種。氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理。當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時(shí)，氦和其他元件的泄漏氣體會(huì)從泄漏孔中泄漏出來(lái)。當(dāng)泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器具有選擇性識(shí)別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號(hào)。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。上海進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用
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