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溫州光學傳感芯片MEMS微納加工配套服務

來源: 發(fā)布時間:2025-06-10

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術有限公司成立于2022年9月,作為一家兼具產品開發(fā)能力和技術加工能力的科技型企業(yè),國家科技型中小企業(yè),寧波股權交易中心掛牌企業(yè)。啟樸芯微團隊具有多年的MEMS智能制造與智能傳感研究經驗,專注像元級光譜和偏振超維光學芯片研發(fā),及光學系統(tǒng)解決方案設計,將結構輕便、精細度高、材料強度高、可定制性等技術優(yōu)勢賦予光譜成像系統(tǒng)的研制工藝,形成了具有自主知識產權的光譜濾波芯片及其成像系統(tǒng),并通過自主掌握MEMS晶圓級加工制造能力,實現集成芯片和模塊化光譜成像相機的自主研制。作為一個兼具產品開發(fā)能力和技術加工能力的科技型企業(yè),啟樸芯微團隊精益求精。溫州光學傳感芯片MEMS微納加工配套服務

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在MEMS智能制造與智能傳感裝備設計研究領域,啟樸芯微擁有一支由專業(yè)博士組成的精英團隊,曾多次獲得、省部級技術發(fā)明獎項,并參與國家標準制定,在微納傳感器件的設計、制造、應用領域經驗豐富。自成立以來,本著“斫雕為樸,芯程再啟”的宗旨,啟樸芯微持續(xù)參與MEMS智能制造與智能傳感裝備的設計研究,已形成多項發(fā)明專利、實用新型專利,團隊憑借深厚的學術背景和豐富的實踐經驗,不斷攻克技術難關,推動公司產品和服務的持續(xù)升級,贏得了廣大客戶的信賴和支持。福建智能制造MEMS微納加工業(yè)務咨詢啟樸芯微,持續(xù)追求“精耕細耘,以業(yè)為本”的服務目標,精益求精!

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寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術有限公司(以下簡稱“啟樸芯微”)是一家專注于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術研發(fā)與產業(yè)化的****,成立于西北工業(yè)大學寧波研究院的孵化體系中,并在短時間內憑借技術創(chuàng)新與產業(yè)化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件設計、工藝開發(fā)及代工服務,擁有自主可控的8英寸MEMS工藝產線,兼容6/4英寸晶圓級加工,覆蓋光刻、深硅刻蝕、薄膜沉積、晶圓鍵合、激光切割等**工藝能力,為行業(yè)提供從結構設計到封裝測試的全鏈條服務36。其技術團隊在MEMS領域經驗豐富,尤其在光學類與SOI(絕緣體上硅)特色工藝方面具備***優(yōu)勢,例如通過原子層沉積(ALD)技術實現高精度薄膜制備,提升器件性能與可靠性。

8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產線,配套激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機等一整套前沿技術設備,由此,啟樸芯微具備為客戶提供質量產品服務的能力,百級/萬級室內MEMS加工無菌車間和微納加工實驗室,賦予啟樸芯微強大的加工與測試能力,兼容8/6/4英寸晶圓級微納加工,更充分支持實現國內MEMS技術企業(yè)、科研院所和高校的結構設計、工藝開發(fā)、流片代工和測試應用需求。寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術有限公司專注于像元級光譜和偏振超維光學芯片及光學系統(tǒng)解決方案,擁有自主可控的寧波i首條8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產線,兼容8/6/4英寸晶圓級微納加工。公司擁有辦公與生產區(qū)域共1000余平方米,百級/萬級MEMS加工無菌車間和微納加工實驗室,同步配備倉儲空間,生產過程嚴格遵循相關國家標準,為國內傳感智能技術企業(yè)、科研院所、高校提供高質量的MEMS結構設計、工藝開發(fā)、流片代工、測試應用服務。公司持續(xù)構建具有凝聚力、自驅力的智能傳感領域工程師隊伍。

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寧波啟樸芯微自主可控國內首條8英寸MEMS規(guī)?;庸し誒DM產線,實驗區(qū)內設置有激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機、電子束蒸鍍儀、鍵合機、濕法腐蝕系統(tǒng)、磁控濺射儀、原子層沉積設備、化學機械拋光機、自動涂膠顯影系統(tǒng)等整套技術設備,加工區(qū)域1000余平方米,具備**研發(fā)室、光學實驗室,配套百級/萬級室內MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室,可以***支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級MEMS技術研發(fā)和加工制造,自建立以來已服務200余家高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè),并先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務型示范平臺、寧波市重點實驗室、浙江省重點實驗室等。啟樸芯微,助力構建千萬級本土產業(yè)規(guī)模,推動行業(yè)發(fā)展!天津高精度MEMS微納加工與成果轉化

啟樸芯微,擁有先進的8英寸MEMS研發(fā)與微納加工服務中試線,設備齊全!溫州光學傳感芯片MEMS微納加工配套服務

MEMS技術已滲透到消費電子、汽車、醫(yī)療、工業(yè)及航空航天等多個領域。在消費電子中,智能手機依賴MEMS加速度計、陀螺儀實現屏幕旋轉和運動追蹤,麥克風與氣壓計也基于MEMS技術;智能手表通過光學MEMS傳感器監(jiān)測心率。在汽車行業(yè),MEMS壓力傳感器用于發(fā)動機控制,安全氣囊的觸發(fā)依賴加速度計,胎壓監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS)也由其實現。醫(yī)療領域,MEMS被用于可穿戴健康監(jiān)測設備、微型藥物輸送泵及高精度手術工具,例如內窺鏡中的**頭。此外,工業(yè)自動化中的振動監(jiān)測、環(huán)境傳感(如溫濕度、氣體檢測)以及航空航天中的慣性導航系統(tǒng)均離不開MEMS。其小型化和低功耗特性尤其適合物聯(lián)網(IoT)設備,推動了智慧城市和遠程監(jiān)測的發(fā)展。溫州光學傳感芯片MEMS微納加工配套服務