能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路配置于靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱不易向磁傳感器傳遞，因此，能夠抑制磁傳感器的溫度上升。作為理想的技術(shù)方案，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線相鄰地配置。由此，能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路相鄰地配置。作為理想的技術(shù)方案，所述第1線圈布線的所述第2部位自比所述第1電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第1電力電路。由此，能夠使第1線圈布線遠(yuǎn)離磁傳感器，能夠抑制因電流在第1線圈布線中流動而產(chǎn)生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術(shù)方案，所述電路基板具有與所述第1線圈布線的所述第2部位相連接的第1通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第1通孔之間存在所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達(dá)電動馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離磁傳感器。作為理想的技術(shù)方案，自所述電路基板的法線方向觀察時。江寧區(qū)常見氣動懸臂吊推薦廠家！棲霞區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊品牌

    轉(zhuǎn)動夾1032遠(yuǎn)離支架102的一端的齒型結(jié)構(gòu)插入至鎖定板104較厚部分的槽中，從而壓住轉(zhuǎn)動夾1032，達(dá)到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的長度調(diào)整機(jī)構(gòu)的立體圖。如圖6所示，長度調(diào)整機(jī)構(gòu)2包括內(nèi)調(diào)節(jié)桿201、外調(diào)節(jié)桿202和開關(guān)結(jié)構(gòu)203。內(nèi)調(diào)節(jié)桿201為空心矩形桿，其相對的兩個側(cè)壁設(shè)有等間隔直線排列的多個固定孔2011，每兩個相對的固定孔2011為一個長度調(diào)節(jié)檔位。外調(diào)節(jié)桿202也為空心矩形桿，其內(nèi)孔為與內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調(diào)節(jié)桿202一端開口，而內(nèi)調(diào)節(jié)桿201從此開口處插入外調(diào)節(jié)桿202的內(nèi)孔中。并且外調(diào)節(jié)桿202能套在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外做直線往復(fù)移動，完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位，可如圖6所示，在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁上位于兩個同一側(cè)壁的固定孔2011之間的位置設(shè)置軸向環(huán)繞內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁的環(huán)形凹槽。此外，外調(diào)節(jié)桿202外壁的中部位置還設(shè)有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結(jié)構(gòu)，包括兩個短邊梁和一個長邊梁。兩個短邊梁遠(yuǎn)離長邊梁的一端連接在外調(diào)節(jié)桿202的一個側(cè)壁上，形成一個封閉的矩形。在調(diào)整長度時，航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調(diào)節(jié)桿202做遠(yuǎn)離或靠近艙壁助力扶手a的運(yùn)動。棲霞區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊品牌江寧區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    蝸桿旋轉(zhuǎn)的同時通過與兩個支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進(jìn)行提升，進(jìn)而可對板材進(jìn)行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機(jī)與第二電機(jī)反轉(zhuǎn)，即可重復(fù)作業(yè)，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動裝置對機(jī)械手進(jìn)行移動，以增加機(jī)械手對板材的移動范圍。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單易于實現(xiàn)，通過各個部件間的相互配合可對板材進(jìn)行穩(wěn)固的夾取并提升，節(jié)約了人力勞動提高了效率，除此之外機(jī)械手還可在惡劣的環(huán)境中進(jìn)行操作，以保護(hù)人身安全。附圖說明圖1為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動化設(shè)備的機(jī)械手的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動化設(shè)備的機(jī)械手的橫板與移動夾板的連接示意圖；圖3為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動化設(shè)備的機(jī)械手的三角形傳動件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中：1立柱、2第1電機(jī)、3第二電機(jī)、4橫板、5固定夾板、6移動夾板、7安裝板、8斜齒輪、9蝸桿、10支撐板、11第1轉(zhuǎn)盤、12第二轉(zhuǎn)盤、13轉(zhuǎn)軸、14三角形傳動件、15固定板、16螺紋套管、17轉(zhuǎn)桿、18限位板、19滑槽板、20滑桿、21防滑齒。具體實施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例只只是本發(fā)明一部分實施例。

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)。雨花臺區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    根據(jù)不同客戶的不同的需求，費(fèi)蘭智能設(shè)備一般都生產(chǎn)出不同類型的助力機(jī)械手產(chǎn)品，主要就是根據(jù)用戶的需求定制，其中包括軟索式助力機(jī)械手、硬臂式助力機(jī)械手、碼垛機(jī)械手、KBK軌道、助力機(jī)械臂等等。這些雖然名稱不相同但是大致組成結(jié)構(gòu)有一定的形同部分的，也就是助力機(jī)械手主要的功能部件！一、主機(jī)部分：可實現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài)，適用于物料的精確移載操作。空載、滿載及處理不同工件時，系統(tǒng)可感知其重量變化，并實現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動狀態(tài)，便于精確定位。全程平衡、運(yùn)動順滑等特點，使得操作者可以很便捷地實現(xiàn)工件的搬運(yùn)、定位、裝配等操作。剛性手臂可使機(jī)械手帶工件越過障礙；系統(tǒng)可始終保持機(jī)械手頭部的水平，發(fā)揮高作業(yè)性。水平臂可滿足物料在相關(guān)場所進(jìn)行橫向放入、橫向取出等動作要求。關(guān)節(jié)剎車裝置，具有多個回轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，以實現(xiàn)廣域范圍內(nèi)的物料取置；配備有剎車裝置，操作者可在操作過程中隨時中斷機(jī)械手的運(yùn)動。二、氣路控制系統(tǒng)部分：變頻機(jī)械手設(shè)置有元件保護(hù)盒，以保護(hù)主要精密氣動元器件，避免操作時意外撞擊及灰塵沉積。系統(tǒng)配備二聯(lián)件、單向閥和儲氣罐，為系統(tǒng)提供持續(xù)穩(wěn)定的壓縮空氣，當(dāng)主供氣源意外斷氣時，可提供一定時間的安全保障。溧水區(qū)包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！濱湖區(qū)象鼻子氣動懸臂吊品牌

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    本發(fā)明涉及具有對電動馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行控制的電子控制裝置的電動驅(qū)動裝置和電動助力轉(zhuǎn)向裝置。背景技術(shù)：利用電動馬達(dá)產(chǎn)生輔助轉(zhuǎn)向扭矩的電動助力轉(zhuǎn)向裝置具備作為對電動馬達(dá)進(jìn)行控制的裝置的電子控制裝置。例如，在專利文獻(xiàn)1中，記載有能夠?qū)㈦娮釉骷呙芏鹊匕惭b于基板的驅(qū)動裝置?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2016－34204號公報技術(shù)實現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題在專利文獻(xiàn)1的驅(qū)動裝置中，構(gòu)成第1逆變器部的開關(guān)元件和構(gòu)成第2逆變器部的開關(guān)元件相對于馬達(dá)的軸中心對稱地配置。構(gòu)成第1逆變器部的開關(guān)元件和構(gòu)成第2逆變器部的開關(guān)元件是驅(qū)動裝置所具有的電子元器件中發(fā)熱量較大的發(fā)熱元件。另外，在馬達(dá)的軸中心配置有旋轉(zhuǎn)角傳感器。在旋轉(zhuǎn)角傳感器的兩側(cè)具有發(fā)熱元件，因此存在旋轉(zhuǎn)角傳感器被自兩側(cè)加熱的可能性。本發(fā)明是鑒于上述課題而做出的，其目的在于，提供能夠抑制磁傳感器的溫度上升的電動驅(qū)動裝置和電動助力轉(zhuǎn)向裝置。用于解決問題的方案為了實現(xiàn)上述目的，一技術(shù)方案的電動驅(qū)動裝置具備：電動馬達(dá)。棲霞區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊品牌

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