第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由第1連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)氲?區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，第1、第二起重機(jī)40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動。第1、第二升降臺43a、43b在下表面?zhèn)劝惭b有第1、第二移送部44a、44b，并被第1、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而能夠升降。第1、第二升降臺43a、43b具備與第1、第二桅桿42a、42b的表面接觸的未圖示的引導(dǎo)滾子，從而順利地進(jìn)行沿著第1、第二桅桿42a、42b的升降動作。另外，在第1、第二桅桿42a、42b的下部設(shè)置有未圖示的下部支承體，第1、第二升降臺43a、43b能夠下降至在該下部支承體上抵接的位置。此外，下部支承體防止第1、第二升降臺43a、43b從第1、第二桅桿42a、42b向下方脫落。第1、第二移送部44a、44b具備能夠沿與第1、第二行駛部41a、41b的行駛方向正交的方向伸縮的臂部48、和設(shè)置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49。保持部49通過把持物品2的凸緣部2a而將物品2懸掛保持。保持部49例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部49a的卡盤，使爪部49a侵入至物品2的凸緣部的下方。浦口區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！泉山區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)

    其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部；以及高架搬運(yùn)車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu)，上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機(jī)在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運(yùn)物品，第二起重機(jī)在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品，高架搬運(yùn)車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法，通過第1、第二起重機(jī)進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運(yùn)，從而能夠增加物品的保管數(shù)量，通過高架搬運(yùn)車進(jìn)行區(qū)段間的物品的搬運(yùn)，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機(jī)的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由第1、第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車共享，因此無需分別對應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外。南京室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)哪家有江寧區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    真空搬運(yùn)機(jī)械手的選型是根據(jù)需要搬運(yùn)的工件大小、材質(zhì)、重量來定的，不同的材質(zhì)需要用不同材質(zhì)的吸盤。比如工件表面比較粗糙的一般選項(xiàng)用硅膠或者聚胺脂吸盤，另外加上海綿吸盤唇，確保吸盤能安全吸附。對于表面比較光滑的工件如玻璃一般選用天然橡膠或者丁腈膠吸盤。機(jī)械手的工作環(huán)境的溫度，濕度以及工件溫度等都會影響的吸盤材質(zhì)的選擇。本實(shí)用新型的有益效果是I)操作簡易快捷該機(jī)械手按照人體工學(xué)設(shè)計(jì)，隨作業(yè)員的牽引力在上下前后左右三維空間自動幀測運(yùn)行，減輕工人勞動負(fù)荷，操作方便靈活，提高工作效率；2)懸浮性無沖擊力及不具有反彈力該機(jī)械手主要是依靠真空源在抽空吸盤內(nèi)部的空氣產(chǎn)生真空，可完成工件的無損傷搬運(yùn)或上料，并確保產(chǎn)品組裝時(shí)，柔性對接，避免普通起吊設(shè)備運(yùn)行時(shí)的沖擊性和反彈力，安全吸附，避免工件表面損傷；3)定位精確零重力懸浮狀態(tài)，保證工件對接時(shí)隨機(jī)移動精確定位。4)安全性高在真空泵斷電的情況下，能量儲備可以保持負(fù)載幾個(gè)小時(shí)，只要吸盤內(nèi)有適當(dāng)?shù)恼婵沾嬖?，?fù)載就不會墜落。下面是結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述圖中是一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手結(jié)構(gòu)示意圖。

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。浦口區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    將沿上下方向和y方向排列的多個(gè)第1、第二保管部20a、20b中的較上層且y方向的兩端的兩個(gè)作為第1、第二交接端口30a、30b，并將其他作為第1、第二保管部20a、20b使用。在圖1中對第1、第二交接端口30a、30b標(biāo)注影線。這樣，作為第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的較上層，由此能夠通過高架搬運(yùn)車50和第1、第二起重機(jī)40a、40b雙方進(jìn)行物品2的交接。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的兩端的兩個(gè)，能夠?qū)⑤^上層的第1、第二保管部20a、20b的全部作為第1、第二交接端口30a、30b使用。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定第1、第二保管部20a、20b的較上層。第1、第二交接端口30a、30b例如也可以與第1、第二保管部20a、20b設(shè)置。例如，如圖1所示，也可以在俯視下，在第1區(qū)段間頂棚軌道13與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第1區(qū)段間頂棚軌道13與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間設(shè)置交接端口130。第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對該交接端口130進(jìn)行物品2的交接。另外。江寧區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！泉山區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)

雨花臺區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！泉山區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)

    并在與作為搬運(yùn)目的地的第二交接端口30b對應(yīng)的位置停止。接著，高架搬運(yùn)車50使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向或者-x方向突出，驅(qū)動升降驅(qū)動部54并通過保持部53將物品2載置于第二交接端口30b。通過以上的動作，能夠?qū)⑽锲?從第1保管區(qū)域sa1搬運(yùn)至第二保管區(qū)域sa2。此外，在上述的實(shí)施方式中，示出將物品2在第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間進(jìn)行搬運(yùn)的例子，但通過與上述相同的動作能夠?qū)⑽锲?也在第1保管區(qū)域sa1與其他保管區(qū)域之間、或者在第二保管區(qū)域sa2與其他保管區(qū)域之間進(jìn)行搬運(yùn)。另外，載置于其他保管區(qū)域的交接端口的物品2被存在于該保管區(qū)域的起重機(jī)搬運(yùn)至保管部或者處理裝置的裝載端口這點(diǎn)如上所述。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100，第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠邊行駛邊使第1、第二升降臺43a、43b升降，因此與必須在停止后使保持部53升降的高架搬運(yùn)車50相比，物品2的移送所需要的時(shí)間更短，能夠使區(qū)段內(nèi)(第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi))的物品2的搬運(yùn)效率提高。并且，通過第1、第二起重機(jī)40a、40b進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品2的搬運(yùn)，從而能夠使物品2的保管數(shù)量增加。另外，高架搬運(yùn)車50不具有第1、第二起重機(jī)40a、40b的第1、第二桅桿42a、42b那樣的垂下的部件。泉山區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)