為實現(xiàn)傳動筒4的平穩(wěn)傳動,可選地,如圖1至圖3所示,工藝盤組件還包括傳動架9,傳動架9的一端與傳動筒4背離波浪管6的一端固定連接,傳動架9的另一端用于與電機12的輸出軸連接,傳動架9用于帶動傳動筒4轉(zhuǎn)動。本實用新型對傳動架9的結(jié)構(gòu)不做具體限定,例如,如圖3所示,傳動架9包括一對傳動法蘭91和用于連接兩傳動法蘭91的法蘭連接件92。推薦地,下方的傳動法蘭91通過聯(lián)軸器與電機12的輸出軸連接。為保證所述工藝盤組件運動的流暢性,推薦地,驅(qū)動軸3、傳動筒4和工藝盤轉(zhuǎn)軸1中至少一者的材料為奧氏體不銹鋼。本實用新型的發(fā)明人在研究中發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有的半導體設(shè)備出現(xiàn)旋轉(zhuǎn)卡頓的問題是因為運動件之間的潤滑油脂液化泄露,導致潤滑效果變差。進過進一步研究后,發(fā)明人發(fā)現(xiàn)是運動件中的部分鋼鐵材料結(jié)構(gòu)在高速旋轉(zhuǎn)的過程中因電磁感應(yīng)效應(yīng)產(chǎn)生發(fā)熱現(xiàn)象,其發(fā)熱量過大引起潤滑油脂液化。因此,本實用新型中推薦地選擇驅(qū)動軸3、傳動筒4和工藝盤轉(zhuǎn)軸1的材料為奧氏體不銹鋼。奧氏體不銹鋼的材料與現(xiàn)有技術(shù)中運動件常采用的304不銹鋼相比,電阻率更低,在相同轉(zhuǎn)速下電磁感應(yīng)發(fā)熱量更小,從而避免了潤滑油脂泄露,保證了所述工藝盤組件運動的流暢性。作為一種推薦的實施方式。定制各種規(guī)格塑料導軌。天津PP半導體與電子工程塑料零件定制加工定制
表1實施例和對比例的碳化硅陶瓷的力學性能數(shù)據(jù)從上表1中可以看出,實施例得到的碳化硅陶瓷的抗彎強度均在400mpa左右,實施例2得到的碳化硅陶瓷的抗彎強度甚至高達451mpa,遠高于對比例得到的碳化硅陶瓷的抗彎強度。實施例得到的碳化硅陶瓷的顯微硬度至少為2441hv,致密度均在3g/cm3以上,而對比例得到的碳化硅陶瓷的抗顯微硬度和致密度均較低。由此可以看出,采用實施例中的碳化硅陶瓷的制備方法得到的碳化硅陶瓷的力學性能較好。以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進行任意的組合,為使描述簡潔,未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進行描述,然而,只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾,都應(yīng)當認為是本說明書記載的范圍。以上所述實施例*表達了本發(fā)明的幾種實施方式,其描述較為具體和詳細,但并不能因此而理解為對發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當指出的是,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此,本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。天津PP半導體與電子工程塑料零件定制加工定制高尺寸穩(wěn)定性的產(chǎn)品可提供自動化的可能性。
工藝盤轉(zhuǎn)軸1用于驅(qū)動工藝盤01旋轉(zhuǎn),工藝盤組件還包括驅(qū)動軸3和驅(qū)動襯套2。如圖5至圖12所示,驅(qū)動軸3包括驅(qū)動連接部310和驅(qū)動軸體部320,驅(qū)動襯套2套設(shè)在驅(qū)動連接部310外部,工藝盤轉(zhuǎn)軸1的底端形成有安裝孔,驅(qū)動襯套2部分設(shè)置在該安裝孔中,工藝盤轉(zhuǎn)軸1通過驅(qū)動襯套2、驅(qū)動連接部310與驅(qū)動軸體部320連接。其中,驅(qū)動連接部310的橫截面為非圓形,驅(qū)動襯套2的套孔與驅(qū)動連接部310相匹配,工藝盤轉(zhuǎn)軸1的安裝孔與驅(qū)動襯套2相匹配,驅(qū)動軸3旋轉(zhuǎn)時,帶動驅(qū)動襯套2及工藝盤轉(zhuǎn)軸1旋轉(zhuǎn)。需要說明的是,在本實用新型的實施例中,驅(qū)動連接部310匹配設(shè)置在驅(qū)動襯套2的套孔中、驅(qū)動襯套2匹配設(shè)置在工藝盤轉(zhuǎn)軸1的安裝孔中,驅(qū)動軸體部320用于通過驅(qū)動連接部310、驅(qū)動襯套2帶動工藝盤轉(zhuǎn)軸1轉(zhuǎn)動,并且驅(qū)動軸體部320能夠保證驅(qū)動軸3軸線的角度和位置。本實用新型對驅(qū)動軸體部320如何實現(xiàn)定位不做具體限定,例如,驅(qū)動軸體部320可以直接與軸承等零件連接,以實現(xiàn)其軸向定位和徑向定位,或者,驅(qū)動軸體部320也可以與其它在軸承中固定的轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)固定連接。在本實用新型的實施例中,驅(qū)動連接部310為非圓柱體,驅(qū)動襯套2的套孔相匹配地也形成為異形孔。
傳統(tǒng)的制備方法中將金屬元素的氧化物直接與碳化硅微粉及分散劑、粘結(jié)劑等混合,能夠使金屬元素的分布更均勻,不會出現(xiàn)聚集區(qū)域,對力學性能的提升效果也更好。一實施方式的碳化硅陶瓷,由上述實施方式的碳化硅陶瓷的制備方法制備得到。一實施方式的半導體零件,由上述實施方式的碳化硅陶瓷加工處理得到。上述半導體零件由反應(yīng)燒結(jié)碳化硅材料制成。具體地,上述半導體零件的形狀為非標。具體地,半導體零件的形狀可以為板狀、柱狀、環(huán)狀或其他不規(guī)則形狀。在其中一個實施例中,半導體零件為吸盤底座、晶圓承載盤、半導體用機械手臂或異形件密封圈??梢岳斫?,在其他實施例中,半導體零件不限于上述零件,還可以為其他零件。以下為具體實施例部分:實施例1本實施例的碳化硅陶瓷的制備過程具體如下:(1)以氧化鑭與碳化硅微粉的質(zhì)量比為∶100,得到氯化鑭與碳化硅微粉的質(zhì)量比為∶100,然后將氯化鑭溶解在水和酒精的混合溶液中,溶解完全后加入***分散劑丙烯酸銨,然后加入粒徑為μm的碳化硅微粉,攪拌均勻,得到***漿料。在冰浴條件下加入與***漿料的質(zhì)量比為,攪拌均勻得第二漿料。將第二漿料在閉式噴霧塔中噴霧,得到表面覆蓋有氧化鑭的碳化硅顆粒。通過范圍更多的產(chǎn)品,來實現(xiàn)解決方案,來成本節(jié)約,并可保證使用安全性。
從而能夠緩解定位平面311兩側(cè)的應(yīng)力集中現(xiàn)象,提高了驅(qū)動軸3和驅(qū)動襯套2上應(yīng)力分布的均勻性。并且,在本實施例中,兩圓柱面312與驅(qū)動襯套2套孔中的相應(yīng)圓柱面相配合,能夠?qū)崿F(xiàn)定位平面311的精確定位,保證定位平面311與驅(qū)動襯套2套孔中的平面緊密貼合,避免平面之間的空隙導致驅(qū)動軸3和驅(qū)動襯套2在傳動過程中相互碰撞、磨損。此外,兩定位平面311以驅(qū)動軸3的軸線為對稱中心對稱設(shè)置,使得驅(qū)動軸3與驅(qū)動襯套2通過平面?zhèn)鲃訒r受到的力矩也是中心對稱的,避免了驅(qū)動襯套2與驅(qū)動軸3的軸線之間發(fā)生偏移,保證了定位精度。為提高工藝盤組件結(jié)構(gòu)的整體強度,推薦地,如圖6所示,驅(qū)動襯套2包括相互連接的***襯套部210和第二襯套部220,***襯套部210和第二襯套部220沿工藝盤轉(zhuǎn)軸1的軸線方向排列,第二襯套部220位于***襯套部210朝向驅(qū)動軸體部320的一側(cè),驅(qū)動襯套2的套孔包括形成在***襯套部210中的驅(qū)動通孔211和形成在第二襯套部220中的軸通孔221,驅(qū)動通孔211與驅(qū)動連接部310匹配;***襯套部210的外徑小于第二襯套部220的外徑,定位凸起222形成在第二襯套部220的外壁上,且第二襯套部220與工藝盤轉(zhuǎn)軸1的安裝孔相配合。在本實用新型的實施例中。各種尼龍板及零件加工。河北PE半導體與電子工程塑料零件定制加工推薦廠家
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八0%的硅單晶、大部份鍺單晶以及銻化銦單晶是用此法出產(chǎn)的,其中硅單晶的**大直徑已經(jīng)達三00毫米。在熔體中通入磁場的直拉法稱為磁控拉晶法,用此法已經(jīng)出產(chǎn)出高均勻性硅單晶。在坩堝熔體表面加入液體籠蓋劑稱液封直拉法,用此法拉制砷化鎵、磷化鎵、磷化銦等分解壓較大的單晶。懸浮區(qū)熔法的熔體不與容器接觸,用此法生長高純硅單晶。水平區(qū)熔法用以出產(chǎn)鍺單晶。水平定向結(jié)晶法主要用于砷化鎵單晶,而垂直定向結(jié)晶法用于碲化鎘、砷化鎵。用各種法子出產(chǎn)的體單晶再經(jīng)由晶體定向、滾磨、作參考面、切片、磨片、倒角、拋光、侵蝕、清洗、檢測、封裝等全體或者部份工序以提供相應(yīng)的晶片。在單晶襯底上生長單晶薄膜稱為外延。外延的法子有氣相、液相、固相、份子束外延等。工業(yè)出產(chǎn)使用的主要是化學氣相外延,其次是液相外延。金屬有機化合物氣相外延以及份子束外延則用于量子阱及超晶格等微結(jié)構(gòu)。非晶、微晶、多晶薄膜多在玻璃、陶瓷、金屬等襯底上用不同類型的化學氣相沉積、磁控濺射等法子制成。關(guān)于半導體材料的利用的相干就為大家介紹到這里了,但愿這篇文章對于您有所匡助。如果您還有甚么不明白之處可以關(guān)注咱們1起裝修網(wǎng)網(wǎng),咱們會盡快為您解答。天津PP半導體與電子工程塑料零件定制加工定制
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