羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。往復真空泵活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥關閉。耐腐真空泵廠家直銷
在現(xiàn)代設計制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待?!芭艢饪谠试S較大阻力Por值”這一參數就是標定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴格的技術手段確定選型是否恰當。簡單地說,對于排氣阻力大的系統(tǒng),我們的選型范圍是:FM系列、FAA系列、PCF系列;對于排氣阻力小的系統(tǒng),選型范圍是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根據我們對流量和真空度的要求就可以確定具體的型號了。對于質量欠佳的產品盡量不要選用。手動真空泵訂做真空泵市場增長的主要驅動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。
真空泵的傳動方式,真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的較大缺點是,主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便。
真空泵達到一定臨界壓力時,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,必然會引起真空機組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵,便可起到承上啟下的作用,流量連續(xù),而且各泵皆可工作在較好的狀態(tài)。羅茨泵能工作在中真空范圍,是適合的,故又稱羅茨增壓泵,由于其壓縮比不高,正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當三級高真空機組進入較高的真空度時,由于主泵的排氣流量明顯減少,此時只靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性,在實際運用中這是經常采用的方法,這樣可減少機組的能耗。微型真空泵的介質溫度問題。根據通過泵的介質氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。
真空泵的市場根據用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。目前,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。我國生產真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年),只相當于美國公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎,國產真泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證,有些泵還出口國外,得到國外用戶的認可并受到好評,應該說我國真空泵制造業(yè)在國內外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。對于較大型的高真空應用設備,也可適當加強前級泵的預抽能力,進一步縮短抽氣時間。手動真空泵訂做
真空泵整體結構不勻稱,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。耐腐真空泵廠家直銷
由于真空泵的重心較高,在高速運轉時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。耐腐真空泵廠家直銷