由于功率隨電流的平方變化,因此也會(huì)導(dǎo)致線圈溫度降低。可替代地,致動(dòng)器能夠保持相同的厚度,并且能夠增加導(dǎo)體的高度。較大的導(dǎo)體使用較少的功率,因此溫度能夠被進(jìn)一步降低。盡管去除了頂部和/或底部絕緣材料,但是電隔離也沒有受到損害。致動(dòng)器線圈被設(shè)計(jì)成使得整個(gè)線圈與其容器絕緣,以滿足國(guó)際電工委員會(huì)的要求。在線圈本身內(nèi),相鄰線匝之間的電壓差很低,典型地為一伏量級(jí),因此裸線之間的間隙足夠絕緣。如所提及的,通過(guò)將未絕緣的圓線材卷繞成期望的厚度來(lái)按訂單制造扁平線圈。所述厚度保持成嚴(yán)格的公差,高度公差典型地要大得多。所述過(guò)程會(huì)導(dǎo)致形成具有呈圓形的頂部和底部的線。圓形的端部和較大的高度公差使得在設(shè)計(jì)階段期間很難非常準(zhǔn)確地估計(jì)線圈電阻。截?cái)嗑€圈導(dǎo)致較低的高度公差,兩端呈方形,并降低平坦度。這為更精確的計(jì)算和更可重復(fù)的電阻值創(chuàng)造了潛力。由于將線機(jī)加工到期望的**終高度,因此還允許更大的線的高度公差。截?cái)喔叨纫馕吨軌蛴上嗤木€的庫(kù)存制作不同高度的線圈,這減少了必須保持的不同類型線的庫(kù)存的數(shù)量。這種設(shè)計(jì)在用于設(shè)定線圈高度的繞組工具中允許更大的公差??梢酝ㄟ^(guò)去除材料來(lái)測(cè)量和調(diào)整單個(gè)線圈的電阻。立繞扁平線圈是一種結(jié)合了立繞和扁平線圈特點(diǎn)的線圈類型。無(wú)錫變壓器線圈電話
光刻系統(tǒng)200包括照射系統(tǒng)230。照射系統(tǒng)230包括光源205,光源205產(chǎn)生脈沖光束210,并將脈沖光束210引導(dǎo)至對(duì)晶片220上的微電子特征進(jìn)行圖案化的光刻曝光設(shè)備或掃描儀215。晶片220放置在晶片臺(tái)222上,晶片臺(tái)222構(gòu)造成保持晶片220并連接到定位器,該定位器配置成根據(jù)某些參數(shù)準(zhǔn)確地定位晶片220。光束210也被引導(dǎo)通過(guò)束準(zhǔn)備系統(tǒng)212,束準(zhǔn)備系統(tǒng)212能夠包括修改光束210的多個(gè)方面的光學(xué)元件。例如,束準(zhǔn)備系統(tǒng)212能夠包括反射或折射光學(xué)元件、光脈沖展寬器和光學(xué)光闌(包括自動(dòng)遮蔽件)。光譜特征選擇系統(tǒng)250基于控制系統(tǒng)185的輸入來(lái)微調(diào)光源205的光譜輸出。光刻系統(tǒng)200使用具有例如在深紫外線(duv)范圍或極紫外線(euv)范圍內(nèi)的波長(zhǎng)的光束210。光刻系統(tǒng)100還包括測(cè)量(或量測(cè))系統(tǒng)270和控制系統(tǒng)185。量測(cè)系統(tǒng)270測(cè)量光束的一個(gè)或更多個(gè)光譜特征(諸如帶寬和/或波長(zhǎng))。量測(cè)系統(tǒng)270推薦地包括多個(gè)傳感器。量測(cè)系統(tǒng)270接收被從束分離裝置260改變方向的光束210的一部分,所述束分離裝置260放置在光源205和掃描儀215之間的路徑中。束分離裝置260將光束210的***部分引導(dǎo)至量測(cè)系統(tǒng)270中,將光束210的第二部分朝向掃描儀215引導(dǎo)。在一些實(shí)施方式中。大足區(qū)光伏線圈鋁線圈的制作工藝較為簡(jiǎn)單,可以通過(guò)手工或機(jī)器自動(dòng)繞制。
所述線圈具有實(shí)質(zhì)上平坦的***表面和實(shí)質(zhì)上平坦的第二表面;和從所述實(shí)質(zhì)上平坦的***表面的至少一部分去除所述電絕緣材料。9.根據(jù)方面8所述的方法,其中,至少部分通過(guò)機(jī)加工執(zhí)行所述去除步驟。10.根據(jù)方面8所述的方法,其中,至少部分通過(guò)單點(diǎn)飛切執(zhí)行所述去除步驟。11.根據(jù)方面8所述的方法,其中,至少部分通過(guò)銑削執(zhí)行所述去除步驟。12.根據(jù)方面8所述的方法,還包括在所述去除步驟之后的如下步驟:去除所述導(dǎo)體中的一些部分以調(diào)節(jié)所述線圈的電學(xué)屬性。13.根據(jù)方面10所述的方法,其中,所述電學(xué)屬性是電阻。14.根據(jù)方面8所述的方法,還包括在所述去除步驟之后的如下步驟:測(cè)量所述線圈的電阻。15.根據(jù)方面8所述的方法,還包括在所述去除步驟之后的如下步驟:測(cè)量所述線圈的q因子。16.一種制造線圈的方法,包括以下步驟:提供導(dǎo)電材料的片材;用電絕緣材料的層覆蓋所述片材的至少一面;卷繞所述片材和層以形成卷;和橫向于所述卷的長(zhǎng)度切割所述卷以形成線圈。以上描述包括多個(gè)實(shí)施例的示例。當(dāng)然,為了描述前述實(shí)施例的目的,不可能描述部件或方法的每種可設(shè)想的組合,但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以認(rèn)識(shí)到,各種實(shí)施例的許多進(jìn)一步的組合和置換是可能的。因此。
該狹縫的尺寸可以通過(guò)放置在掩模之前的曝光狹縫來(lái)控制。掩模、物鏡布置和晶片220中的一個(gè)或更多個(gè)能夠在曝光期間相對(duì)于彼此移動(dòng),以橫跨曝光場(chǎng)掃描曝光窗口。曝光場(chǎng)是在曝光狹縫或窗口的一次掃描中被曝光的晶片220的區(qū)域。本實(shí)施例還可以使用下列方面進(jìn)行描述:1.一種具有扁平線的實(shí)質(zhì)上平坦的線圈,所述扁平線包括:導(dǎo)體,具有實(shí)質(zhì)上矩形的橫截面,且具有***對(duì)側(cè)邊和第二對(duì)側(cè)邊,所述***對(duì)側(cè)邊定向成實(shí)質(zhì)上垂直于所述線圈的平面,所述第二對(duì)側(cè)邊定向成實(shí)質(zhì)上平行于所述線圈的平面;和電絕緣材料,在所述***對(duì)側(cè)邊的側(cè)邊中的至少一個(gè)上,所述第二對(duì)側(cè)邊的側(cè)邊中的至少一個(gè)沒有任何電絕緣材料。2.根據(jù)方面1所述的實(shí)質(zhì)上平坦的線圈,其中,所述線圈實(shí)質(zhì)上為圓形。3.根據(jù)方面1所述的實(shí)質(zhì)上平坦的線圈,其中,所述線圈具有跑道形狀。4.根據(jù)方面1所述的實(shí)質(zhì)上平坦的線圈,其中,在***對(duì)側(cè)邊的兩個(gè)側(cè)邊上電絕緣材料。5.根據(jù)方面1所述的實(shí)質(zhì)上平坦的線圈,其中,在第二對(duì)側(cè)邊的兩個(gè)側(cè)邊上沒有電絕緣材料。6.一種致動(dòng)器,包括:永磁體;和具有扁平線的實(shí)質(zhì)上平坦的線圈,所述扁平線包括:導(dǎo)體,具有實(shí)質(zhì)上矩形的橫截面,并具有***對(duì)側(cè)邊和第二對(duì)側(cè)邊。立繞線圈是一種在垂直方向上繞制的線圈,它通常用于各種電子設(shè)備中,如電感器、變壓器等。
盡管這可能會(huì)導(dǎo)致線圈的厚度發(fā)生變化。扁平線圈的頂部和底部通常會(huì)表現(xiàn)出絕緣材料的犬牙形卷邊,這能影響繞組品質(zhì)。截去端部去除了所述卷邊,所以繞組品質(zhì)可以得到改善。修改常規(guī)的扁平線圈的替代例是使線具有未絕緣的頂表面和/或底表面。應(yīng)該注意的是,在線圈卷繞期間中,線上的粘合劑層可能會(huì)在裸線上擠出。這會(huì)增加隔熱性(和溫度),并可能增加零件公差。修改常規(guī)的扁平線圈的另一種替代例是使用“果凍卷(jellyroll)”過(guò)程。箔片材的一面或兩面覆蓋有絕緣材料和粘結(jié)層,卷繞成“果凍卷”,加熱以固化粘結(jié)層,然后切成所期望厚度的線圈。可以修改單個(gè)線圈或已經(jīng)粘結(jié)成疊層的線圈。單個(gè)線圈可以在一個(gè)側(cè)面或兩個(gè)側(cè)面上進(jìn)行修改。存在幾種方法可以用于去除絕緣材料。例如,單點(diǎn)飛切可用于修改扁平銅線線圈。也可以使用表面研磨。也可以使用銑削。術(shù)語(yǔ)“機(jī)加工”旨在涵蓋這些方法中的至少任何一種。電阻測(cè)量能夠用于檢測(cè)繞組之間是否存在短路。替代地或附加地,線圈的品質(zhì)因數(shù)(電感l(wèi)與電阻r的比率)能被測(cè)量以獲得更準(zhǔn)確的確定??梢允褂媒厝ザ瞬康谋馄骄€圈和結(jié)合有截去端部的扁平線圈的致動(dòng)器,例如以在光刻系統(tǒng)中定位晶片平臺(tái)或掩模版平臺(tái)。參考圖5。無(wú)線充線圈是用于無(wú)線充電技術(shù)的關(guān)鍵組件,它可以將電能轉(zhuǎn)化為磁場(chǎng)能,并通過(guò)磁耦合原理傳輸給接收設(shè)備。無(wú)錫變壓器線圈電話
車載線圈是由導(dǎo)線繞制成多個(gè)匝數(shù)和形狀的線圈,可以產(chǎn)生強(qiáng)度較高的磁場(chǎng)和感應(yīng)電勢(shì)。無(wú)錫變壓器線圈電話
和從所述實(shí)質(zhì)上平坦的***表面的至少一部分去除所述電絕緣材料??梢灾辽俨糠滞ㄟ^(guò)機(jī)加工執(zhí)行所述去除步驟??梢灾辽俨糠滞ㄟ^(guò)單點(diǎn)飛切執(zhí)行所述去除步驟。可以至少部分通過(guò)銑削執(zhí)行所述去除步驟。所述方法可以包括在所述去除步驟之后的附加步驟:去除所述導(dǎo)體中的一些部分以調(diào)節(jié)所述線圈的電學(xué)屬性。所述電學(xué)屬性可以是電阻。所述方法可以包括在所述去除步驟之后的附加步驟:測(cè)量所述線圈的電阻。所述方法可以包括在所述去除步驟之后的附加步驟:測(cè)量所述線圈的q因子。根據(jù)另一方面,公開了一種制造線圈的方法,包括如下步驟:提供導(dǎo)電材料的片材;用電絕緣材料的層覆蓋所述片材的至少一側(cè);卷繞所述片材和層以形成卷;和橫向于所述卷的長(zhǎng)度切割所述卷以形成線圈。本發(fā)明的另外的實(shí)施例、特征和優(yōu)點(diǎn)以及各個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)和操作將參考隨附附圖在下文更詳細(xì)地進(jìn)行描述。附圖說(shuō)明附圖并入本文中并構(gòu)成說(shuō)明書的部分,并且通過(guò)舉例但決不是限制的方式圖示了本發(fā)明的實(shí)施例的方法和系統(tǒng)。所述附圖和詳細(xì)描述一起進(jìn)一步用來(lái)解釋本文所呈現(xiàn)的方法和系統(tǒng)的原理,以使得相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)人能夠?qū)嵤┖褪褂帽疚乃尸F(xiàn)的方法和系統(tǒng)。在附圖中,相似的附圖標(biāo)記表示相同的或功能類似的元件。無(wú)錫變壓器線圈電話