掃描電鏡基本原理：在掃描電鏡中,入射電子束在樣品上的掃描和顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個(gè)共同的掃描發(fā)生器控制的。這樣就保證了入射電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描完全同步,保證了樣品上的“物點(diǎn)”與熒光屏上的“象點(diǎn)”在時(shí)間和空間上一一對(duì)應(yīng),稱其為“同步掃描”。一般掃描圖象是由近100萬(wàn)個(gè)與物點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)的圖象單元構(gòu)成的,正因?yàn)槿绱?才使得掃描電鏡除能顯示一般的形貌外,還能將樣品局部范圍內(nèi)的化學(xué)元素、光、電、磁等性質(zhì)的差異以二維圖象形式顯示。掃描電鏡普遍應(yīng)用于地球化學(xué)領(lǐng)域的研究。桂林臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡注意事項(xiàng)：平時(shí)操作，若要將樣品室真空亦保持在10-8pa(10-10torr)，則抽真空的時(shí)間將變長(zhǎng)而降低儀器的便利性，更增加儀器購(gòu)置成本，因此一些儀器設(shè)計(jì)了階段式真空(stepvacuum)，亦即使電子長(zhǎng)筒械具、磁透鏡及樣品室的真空度依序降低，并分成三個(gè)部份來(lái)讀取真空計(jì)讀數(shù)，如此可將樣品保持在真空度10-5pa的環(huán)境下即可操作。平時(shí)待機(jī)或更換樣品時(shí)，為防止電子長(zhǎng)筒械具污染，皆使用真空閥(gunvalve)將電子長(zhǎng)筒械具及磁透鏡部份與樣品室隔離，實(shí)際觀察時(shí)再打開(kāi)使電子束通過(guò)而打擊到樣品。南寧日本電子掃描電鏡多少錢(qián)一臺(tái)掃描電鏡待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜。

掃描電鏡類型多樣,不同類型的掃描電鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子長(zhǎng)筒械具種類可分為三種:場(chǎng)發(fā)射電子長(zhǎng)筒械具、鎢絲長(zhǎng)筒械具和六硼化鑭。其中,場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡根據(jù)光源性能可分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡和熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡對(duì)真空條件要求高,束流不穩(wěn)定,發(fā)射體使用壽命短,需要定時(shí)對(duì)針尖進(jìn)行清洗,但局限于單一的圖像觀察,應(yīng)用范圍有限;而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中,我們不但需要對(duì)樣品進(jìn)行初步形貌觀察,還需要結(jié)合分析儀對(duì)樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析,所以熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的應(yīng)用更為普遍。

掃描電鏡有一重要特色是具有超大的景深，約為光學(xué)顯微鏡的300倍，使得掃描電鏡比光學(xué)顯微鏡更適合觀察表面起伏程度較大的樣品。掃描電鏡，其系統(tǒng)設(shè)計(jì)由上而下，由電子長(zhǎng)筒械具發(fā)射電子束，經(jīng)過(guò)一組磁透鏡聚焦聚焦后，用遮蔽孔徑選擇電子束的尺寸后，通過(guò)一組控制電子束的掃描線圈，再透過(guò)物鏡聚焦，打在樣品上，在樣品的上側(cè)裝有訊號(hào)接收器，用以擇取二次電子或背向散射電子成像。電子長(zhǎng)筒械具的必要特性是亮度要高、電子能量散布要小，目前常用的種類計(jì)有三種，鎢(W)燈絲、六硼化鑭燈絲、場(chǎng)發(fā)射，不同的燈絲在電子源大小、電流量、電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異。掃描電鏡觀察樣品的景深大,視場(chǎng)大,圖像富有立體感。

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡：場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度又分別高出10-100倍，放大倍率由25倍到650000倍，同時(shí)電子能量散布但為0.2-0.3eV，在使用加速電壓15kV時(shí)，分辨率可達(dá)到1nm，加速電壓1kV時(shí)，分辨率可達(dá)到2.2nm，所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具，一般鎢絲型的掃描電鏡儀器上的放大倍率可到200000倍，實(shí)際操作時(shí)，大部份均在20000倍時(shí)影像便不清楚了，但如果樣品的表面形貌及導(dǎo)電度合適，較大倍率650000倍是可以達(dá)成的。掃描電鏡普遍應(yīng)用于司法領(lǐng)域。桂林臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用

掃描電鏡可以進(jìn)行材料斷口的分析。桂林臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用

掃描電鏡基本知識(shí)：掃描電鏡電子光學(xué)系統(tǒng)：由電子長(zhǎng)筒械具，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來(lái)獲得掃描電子束，作為信號(hào)的激發(fā)源。為了獲得較高的信號(hào)強(qiáng)度和圖像分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)：檢測(cè)樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號(hào)，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號(hào)?，F(xiàn)在普遍使用的是電子檢測(cè)器，它由閃爍體，光導(dǎo)管和光電倍增器所組成。真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。桂林臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用

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