掃描電鏡基本原理：掃描電鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用較普遍,分辨本領(lǐng)較高的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。掃描電鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有普遍應(yīng)用。深圳日立分析儀器掃描電鏡有哪些廠家

肖特基發(fā)射式掃描電鏡的操作溫度為1800K，它是在鎢(100)單晶上鍍ZrO覆蓋層，ZrO將功函數(shù)從純鎢的4.5eV降至2.8eV，而外加高電場更使電位障壁變窄變低，使得電子很容易以熱能的方式跳過能障(并非穿隧效應(yīng))，逃出針尖表面，所需真空度約10-8~10-9torr。其發(fā)射電流穩(wěn)定度佳，而且發(fā)射的總電流也大。而其電子能量散布很小，但稍遜于冷場發(fā)射式電子長筒械具。其電子源直徑比冷式大，所以影像分辨率也比冷場發(fā)射式稍差一點(diǎn)。由于ZrO一直是覆在燈絲上的，因此肖特基的束流非常穩(wěn)定，但較終ZrO耗盡時，燈絲的壽命也就到了，一般在2-3年。深圳日立分析儀器掃描電鏡有哪些廠家掃描電鏡普遍應(yīng)用于材料學(xué)領(lǐng)域的微觀研究。

成像原理：掃描電鏡是利用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分、或晶體結(jié)構(gòu)等)的差異，在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異，從而獲得具有一定襯度的圖像。成像信號是二次電子、背散射電子或吸收電子，其中二次電子是較主要的成像信號。為其成像原理圖，高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息。掃描電鏡除能檢測二次電子圖像以外，還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進(jìn)行掃描電鏡觀察前，要對樣品作相應(yīng)的處理。

掃描電鏡工作原理：從電子長筒械具陰極發(fā)出的直徑20-30nm的電子束，受到陰陽極之間的加速電壓的作用，射向鏡筒。經(jīng)過聚光鏡和物鏡聚焦后，形成一個具有一定能量、強(qiáng)度和斑點(diǎn)直徑的入射電子束。在物鏡上部掃描線圈產(chǎn)生的磁場作用下，入射電子束按一定時間、空間順序作光柵式掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用，從樣品中激發(fā)出的信號被不同的檢測器收集，并成像。掃描電鏡配備有檢測二次電子的SE2和Inlens檢測器，形成樣品形貌像；檢測背散射電子的ASB檢測器，形成樣品成分襯度像；檢測特征X射線能量的X射線能譜儀，用于元素定性、定量分析。掃描電鏡是一種介于透射掃描電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。

掃描電鏡應(yīng)用范圍：直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時,能得到高的分辨率和較真實(shí)的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射掃描電鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時,因?yàn)樵谕干鋻呙桦婄R中還要采用復(fù)膜方法,而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實(shí)的試樣表面資料。掃描電鏡成像直觀、立體感強(qiáng)。深圳日立分析儀器掃描電鏡有哪些廠家

掃描電鏡利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品。深圳日立分析儀器掃描電鏡有哪些廠家

掃描電鏡基本原理：掃描電鏡電子長筒械具發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點(diǎn)光源;點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),在透過較后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面,同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時,電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實(shí)時成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有:俄歇電子(AuE)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號的用途因作用深度而異。深圳日立分析儀器掃描電鏡有哪些廠家

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