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掃描電鏡基本原理:在掃描電鏡中,入射電子束在樣品上的掃描和顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個共同的掃描發(fā)生器控制的。這樣就保證了入射電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描完全同步,保證了樣品上的“物點”與熒光屏上的“象點”在時間和空間上一一對應(yīng),稱其為“同步掃描”。一般掃描圖象是由近100萬個與物點一一對應(yīng)的圖象單元構(gòu)成的,正因為如此,才使得掃描電鏡除能顯示一般的形貌外,還能將樣品局部范圍內(nèi)的化學(xué)元素、光、電、磁等性質(zhì)的差異以二維圖象形式顯示。掃描電鏡的工作是進入微觀世界的工作。柳州國產(chǎn)掃描電鏡哪個廠家比較好
掃描電鏡基本知識:掃描電鏡電子光學(xué)系統(tǒng):由電子長筒械具,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。信號收集及顯示系統(tǒng):檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號?,F(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導(dǎo)管和光電倍增器所組成。真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作,防止樣品污染,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。柳州國產(chǎn)掃描電鏡哪個廠家比較好掃描電鏡普遍應(yīng)用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成。
鎢(W)燈絲掃描電鏡:價錢較便宜使用較普遍的是鎢燈絲,以熱發(fā)射(Thermionization)式來發(fā)射電子,電子能量散布為2eV,鎢的功函數(shù)約為4.5eV,鎢燈絲系一直徑約100μm,彎曲成V形的細線,操作溫度約2700K,電流密度為1.75A/cm2,在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小,使用壽命約為40~80小時。熱發(fā)射方式電子長筒械具工作原理:鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲都是熱發(fā)射方式的電子長筒械具,此類掃描電鏡對真空度要求不如場發(fā)射的高,一般不需要配離子泵。它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子長筒械具材料的功函數(shù)(workfunction)能障而逃離。對發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù),但因操作電子長筒械具時均希望能以較低的溫度來操作,以減少材料的揮發(fā),所以在操作溫度不提高的狀況下,就需采用低功函數(shù)的材料來提高發(fā)射電流密度。對于鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲作為陰極材料的熱發(fā)射式電子長筒械具,束斑尺寸增加,束斑電流增大,圖像信噪比提高,但分辨率相對較低。
掃描電鏡對樣品的要求:四無(無磁、無毒、無污染、無放射性),三有(具有穩(wěn)定性、干燥性、導(dǎo)電性),兩不(不發(fā)光、非高溫)。盡量保持樣品原始的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)。顆?;蚍勰?shù)量要適中,避免團聚;塊狀樣品體積要控制在120mm×80mm×50mm以內(nèi)、高度限制在5~10mm左右。測試的整個流程要注意清潔。為降低樣品污染程度,可事先用酒精或超聲波清洗。觀察成分相的樣品表面應(yīng)盡量光滑,高度差異不可太大,必要時需精細拋光。待測面為錐狀、似錐狀或有明顯棱角、尖角等的突兀狀樣品無法測試。同樣,樣品底面因不平整而阻礙導(dǎo)電處理的樣品需要磨平。掃描電鏡普遍應(yīng)用于沉積學(xué)領(lǐng)域的研究。
冷場發(fā)射式掃描電鏡典型特點:在工作5-10分鐘后,頭部就會覆蓋一單層氣體。然后發(fā)射源會穩(wěn)定一段時間,新設(shè)備大概2小時,較成熟的設(shè)備大概8小時。通常設(shè)備在工作了8-12小時后自動提示做flash還原。因為冷場方式對真空度要求是所有掃描電鏡中較高的,因此為了保證足夠的真空度,冷場掃描電鏡的樣品室往往都比較小。因冷場的電子束流較小,同時穩(wěn)定性相對較差,因此這較大限定了冷場掃描的擴展分析功能,通常情況下冷場掃描電鏡只能做能譜擴展分析,無法實現(xiàn)波譜、EBSD、動態(tài)拉伸等擴展分析功能。掃描電鏡可以觀察試樣的各個區(qū)域的細節(jié)。柳州國產(chǎn)掃描電鏡哪個廠家比較好
掃描電鏡是一種多功能的儀器,具有很多優(yōu)越的性能。柳州國產(chǎn)掃描電鏡哪個廠家比較好
掃描電鏡的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級電子,次級電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘枺俳?jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸?,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。掃描電鏡的特點:和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點:能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。樣品制備過程簡單,不用切成薄片。樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對樣品進行觀察。柳州國產(chǎn)掃描電鏡哪個廠家比較好
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