液氬的使用：

1、使用液氬前，應(yīng)調(diào)整液氬儲罐內(nèi)壓力到—，打開氬氣表，使壓力達到，滿足所有管路連接設(shè)備的使用要求后，將氬氣表壓力控制在穩(wěn)定位置。2、使用過程中，每班次應(yīng)檢查儲罐壓力，當(dāng)壓力接近于設(shè)備使用要求的上下限、達到或接近液氬儲罐較低儲量時，要增加觀察頻次，并及時上報，進行更換處理。3、增壓操作：當(dāng)儲罐壓力接近于設(shè)備使用要求的下限時，啟動增壓閥增壓，操作程序為：緩慢打開增壓閥，當(dāng)儲罐的壓力表指示達到設(shè)備正常工作壓力且低于儲罐最大工作壓力時，關(guān)閉增壓閥。4、使用過程中，隨時觀察儲罐的液面高度，當(dāng)液面高度低于紅線時，關(guān)閉儲罐調(diào)壓閥，停止使用儲罐內(nèi)液氬，以保證再次充液時的氬氣純度。5、氬氣使用過程中，再進行排液或者有漏液故障時，禁止皮膚直接接觸液氬，防止凍shan。6、在清理管路、汽化器的結(jié)霜時，不能大力沖擊，防止管路變形、泄漏，密封失效。嚴(yán)禁對液氬儲罐的外殼體進行硬性撞擊、切割、鉆孔、焊接等作業(yè)，防止破壞儲罐的真空度。 工業(yè)焊接車間，氬氣回收裝置高效運行，降本增效促生產(chǎn)。液氬儲槽氣化器真空爐設(shè)備

通過對本裝置的使用，氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時，水分也小于1ppm時，制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命并能達到要求，贏得客戶的滿意和市場的需求。

由于一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍，使用氬氣的客戶不知道其質(zhì)量，所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何，只要經(jīng)過純化裝置的處理后，進入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。 無錫氬氣回收裝置供應(yīng)站高質(zhì)量材料，精密制造，氙氣回收裝置確保長壽命。

氬氣回收工藝流程為:(1)氬氣液化工作過程:氬氣來自液氬貯槽，處于飽和態(tài)或過熱度不大的氬氣進入殼體頂部，充滿板式氬氣通道側(cè)，由于液氮側(cè)溫度較低，蒸發(fā)側(cè)與冷凝側(cè)的溫差較大，所以氬氣在板式氬氣側(cè)開始冷凝，液滴逐漸匯集在底部，成為液氬;(2)液氮蒸發(fā)工作過程:液氮來自下塔頂部，經(jīng)過節(jié)流閥節(jié)流至較低壓力后，進入氬氣回收器的液氮工作腔，液氮由底部的導(dǎo)流片進入板式通道，與氬氣進行換熱，蒸發(fā)后氮氣自頂部導(dǎo)流片出，進入氮氣工作氣相腔體。工藝的控制流程為:(1)V2為液氮進氣口調(diào)節(jié)閥，由液位計LIC001所指示的液位控制閥門的開度，當(dāng)液位低時，V2閥開度開大;當(dāng)液位高時，V2閥開度關(guān)小;(2)V1為氮氣出氣口調(diào)節(jié)閥，有壓力計PIC001所指示的壓力控制閥門的開度，當(dāng)壓力高時，開大V1，壓力低時，關(guān)小V1閥;(3)V3為安全閥，作為氮氣的壓力安全保護;(4)V4為液氬出口控制閥，由液位LIC002對其進行控制，當(dāng)液位高時，開大V4閥，當(dāng)液位低時，關(guān)小V4閥。同時對殼體底部設(shè)置殘液排放;(5)TI001為液氮的溫度指示，TI002為氣氬的溫度指示。兩者之差為回收器換熱溫差。

安裝氬氣回收裝置需要以下材料：

氬氣回收裝置本體：這是重要部分，負責(zé)氬氣的回收和再利用。

管道：用于連接裝置的各個部件，確保氣體的流暢。

閥門：用于控制氣體的流動，調(diào)節(jié)氣體壓力等。

過濾器：用于過濾氣體中的雜質(zhì)，保證氣體的純度。傳感器和儀表：用于監(jiān)測氣體的流量、壓力等參數(shù)，保證回收過程的穩(wěn)定和安全。連接件和緊固件：用于確保裝置的密封性和牢固性。其他輔助材料：如密封膠、潤滑油等，用于確保裝置的正常運行和延長其使用壽命。具體所需材料的種類和數(shù)量，將取決于氬氣回收裝置的具體配置和規(guī)模。在安裝過程中，還需要遵循相關(guān)的安全規(guī)定和標(biāo)準(zhǔn)，確保裝置的安全可靠運行。 氬氣回收裝置登場，精提純，為電子制造?！皻狻弊o航。

罐裝氬氣的使用：1、氬氣儲罐在生產(chǎn)、運輸、貯存、使用過程中，應(yīng)遠離火源，嚴(yán)格禁止野蠻使用、撞擊，不可傾倒使用。2、氬氣儲罐在使用過程中，堵塞不出氣時，嚴(yán)禁用工具拆卸，應(yīng)及時報告直接上級處理。3、在夏季炎熱季節(jié)，儲罐應(yīng)保存在陰涼處，不可在烈日下暴曬，以免升壓，如環(huán)境溫度超過50℃，應(yīng)用涼水降溫。4、嚴(yán)禁用焊槍焊切儲罐、鉆孔等危險作業(yè)。5、每罐氬氣使用后，必須保證罐內(nèi)有余壓保異常情況操作；1.如果在沖液或使用結(jié)束后需關(guān)閉閥門而閥門被凍死時，可用水沖將其解凍；2.罐內(nèi)壓力異常升高，應(yīng)減少增壓閥的開啟度和升壓調(diào)節(jié)閥的啟動壓力，若無效應(yīng)取下升壓調(diào)節(jié)閥進行維修；3.罐內(nèi)壓力異常升高，應(yīng)關(guān)閉液體出液閥，打開氣體出氣閥來調(diào)節(jié)罐內(nèi)壓力或打開排空閥排空使罐內(nèi)壓力達到使用安全要求風(fēng)機是一種依靠輸入的機械能，提高氣體壓力并排送氣體的機械，它是一種從動的流體機械。甘肅氬氣回收裝置全自動定制

創(chuàng)新氬氣回收技術(shù)，實現(xiàn)氣體零浪費。液氬儲槽氣化器真空爐設(shè)備

冷箱本系統(tǒng)的作用是去除氬氣中的氮氣，氫氣，一氧化碳等雜質(zhì)；

1.板式換熱器：將低溫精餾后的產(chǎn)品氬氣及廢氣通過換熱器進行冷量回收并使粗氬氣溫度從常溫降溫至工況所需的溫度（-157℃）；2.精餾塔主塔：利用低溫精餾的原理，在主塔頂部蒸發(fā)器得到5N標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品氬氣3.精餾塔II塔：從主塔頂部引出一股廢氣，由于廢氣中含有大量的氬組分。氣柜是用于貯存各種氬氣氣體，平衡氣體需用量的不均勻性的一種容器設(shè)備氬氣雙膜氣柜由內(nèi)外兩層薄膜組成，中間充滿了壓縮空氣。當(dāng)單晶爐產(chǎn)生的廢氣進入雙膜氣柜時，它會壓縮和儲存起來，雙膜氣柜主要由底膜、內(nèi)膜、外膜、恒壓控制柜、安全保護器及一些控制設(shè)備和輔助材料組成。其工作原理如下：底膜、內(nèi)膜和外膜共同形成兩個空間。內(nèi)膜與底膜之間形成容量可變的氣密空間，用于儲存沼氣。充氣外膜形成球形保護外殼，外膜與內(nèi)膜夾層之間的空間作為壓力調(diào)節(jié)空間，以保持壓力平衡。利用外膜進氣鼓風(fēng)機恒壓，當(dāng)內(nèi)膜氣量減少時，氣柜壓力下降，外膜通過鼓風(fēng)機補充空氣到內(nèi)外膜之間，保持內(nèi)膜氣體的設(shè)計壓力。當(dāng)氣量增加時，氣柜壓力上升，夾層內(nèi)多余空氣會排出，使內(nèi)膜氣體壓力始終恒定在一個需要的設(shè)計壓力。 液氬儲槽氣化器真空爐設(shè)備