以p型離子注入形成有源區(qū);所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層;所述的正面金屬電極是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長。一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底上濺射生成高反層;2)高反層開設(shè)刻蝕孔;3)高反層上通過淀積的方法生長外延層;4)在外延層上通過離子注入分別形成保護(hù)環(huán)和有源區(qū);5)在保護(hù)環(huán)和有源區(qū)上生成sio2層,然后在sio2層上方生成si3n4層;6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極;7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層是由折射率~~,通過化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成;所述的外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng);所述的保護(hù)環(huán)為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳。世華高專門供應(yīng)硅光電二極管。無錫硅光硅光電二極管品牌
將上述sr摻雜batio3/znte工作電極放入光電化學(xué)反應(yīng)器內(nèi),與鉑片對(duì)電極組裝成兩電極體系,將該電極在+,所用溶液為碳酸丙烯酯,用去離子水清洗后,將光電極在真空條件下50℃干燥10h。之后,采用上海辰華chi660e電化學(xué)工作站,將極化后的sr摻雜batio3/znte工作電極和飽與鉑片對(duì)電極、飽和甘汞電極組裝成典型的三電極體系,電解質(zhì)溶液為。光電流測(cè)試前,往電解質(zhì)溶液中鼓co2半個(gè)小時(shí),使溶液中的氧氣排盡,co2濃度達(dá)到飽和。圖4為本實(shí)施例制備的sr摻雜batio3/znte工作電極和水熱法制備的znte薄膜電極在。由圖可知,單獨(dú)的znte光電催化難以產(chǎn)生co產(chǎn)物,說明znte光陰極的大部分載流子不能與co2發(fā)生相互作用,導(dǎo)致界面載流子嚴(yán)重復(fù)合,co產(chǎn)生量很低。但是,sr摻雜batio3/znte工作電極的co產(chǎn)量明顯增加,說明sr摻雜batio3增加了znte表面的載流子濃度,間接證實(shí)了sr摻雜batio3的載流子分離作用。溫州硅光硅光電二極管價(jià)格世華高硅光電二極管帶你體驗(yàn)智能系統(tǒng)。
水熱時(shí)間為2-12h。地,步驟3所述氮?dú)獗Wo(hù)條件下的煅燒溫度為200-400℃,煅燒時(shí)間為1-6h。本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明創(chuàng)造性地利用靜電紡絲技術(shù)制備了sr摻雜batio3納米纖維電極,該方法制備過程簡單,便于規(guī)?;a(chǎn)。且所制備的sr摻雜batio3鐵電材料自發(fā)極化能力強(qiáng),在外場環(huán)境下產(chǎn)生較強(qiáng)的表面電場,能夠有效的分離znte電極的光生載流子,極大地提高了znte載流子的分離效率,降低了光生載流子的復(fù)合速度,從而為**co2還原反應(yīng)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。附圖說明圖1為實(shí)施例一中制備的sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖。圖2為實(shí)施例一中制備的sr摻雜batio3/znte電極的掃描電鏡圖;圖3為實(shí)施例二中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極的線性掃描伏安曲線圖;圖4為實(shí)施例三中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極在。具體實(shí)施方式為了更好的理解本發(fā)明,下面結(jié)合實(shí)施例和附圖進(jìn)一步闡明本發(fā)明的內(nèi)容,但本發(fā)明的內(nèi)容不局限于下面的實(shí)施例。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。
本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果:本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,通過適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率,耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低,本發(fā)明通過增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來補(bǔ)償;高反層的形成使得器件保持對(duì)長波響應(yīng)度的同時(shí),降低響應(yīng)時(shí)間;由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低,擴(kuò)散區(qū)阻抗很小,因此擴(kuò)散時(shí)間很短;從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,由于通過低阻材料降低了擴(kuò)散區(qū)電阻,縮短了擴(kuò)散時(shí)間;而高反層的設(shè)置提高了長波的吸收效率,降低了耗盡區(qū)的物理厚度,縮短了漂移時(shí)間,并且在其上開孔減小了擴(kuò)散區(qū)的阻抗;襯底采用低電阻率材料,背面不用進(jìn)行減薄注入,直接背面金屬化形成背面電極,避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖;圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖;圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖;圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖;圖5-1~圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測(cè)試曲線;圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測(cè)試曲線。硅光電二極管參數(shù)哪家好!世華高好。
已被廣泛應(yīng)用于新型太陽能電池、光電探測(cè)器和光電存儲(chǔ)器等領(lǐng)域。batio3是一種典型的鈣鈦礦型鐵電材料,其居里溫度大約為120℃,介電常數(shù)在室溫下高達(dá)幾千,具有良好的鐵電性能。對(duì)于一個(gè)對(duì)稱性的晶胞而言,由于正負(fù)電荷中心相互重合,則晶體無法自發(fā)極化。為了提高鐵電晶體的極化特性,通過摻雜改變?cè)拥奈灰疲梢允咕ОY(jié)構(gòu)發(fā)生畸變,正負(fù)電荷中心將難以重合,從而產(chǎn)生自發(fā)極化。本發(fā)明中,申請(qǐng)人采用靜電紡絲技術(shù)制備sr摻雜batio3,改變batio3的晶胞結(jié)構(gòu),提高batio3的極化能力,從而在znte表面引入表面極化電場,促進(jìn)batio3/znte界面電荷分離,達(dá)到選擇性分離znte載流子的目的,為**光陰極材料的開發(fā)提供了一個(gè)普適的方法。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法。其目的在于利用sr摻雜batio3的極化電場來促進(jìn)znte光電極材料載流子的**分離,從而提高znte材料光電催化co2還原的活性。本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):本發(fā)明提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):本發(fā)明提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法。廣東光電硅光電二極管廠家
濱松光電二極可選世華高。無錫硅光硅光電二極管品牌
2CU型或2DU型硅光電二極管在性能上都有以下二個(gè)特點(diǎn),我們?cè)谑褂弥袘?yīng)予以注意。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個(gè)國家和地區(qū)。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司。。無錫硅光硅光電二極管品牌