以p型離子注入形成有源區(qū)；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層，所述的氮化硅層為淀積生長(zhǎng)的si3n4層；所述的正面金屬電極是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入為入射光入射深度，λ為入射光波長(zhǎng)。一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法，包括以下操作：1)在襯底上濺射生成高反層；2)高反層開(kāi)設(shè)刻蝕孔；3)高反層上通過(guò)淀積的方法生長(zhǎng)外延層；4)在外延層上通過(guò)離子注入分別形成保護(hù)環(huán)和有源區(qū)；5)在保護(hù)環(huán)和有源區(qū)上生成sio2層，然后在sio2層上方生成si3n4層；6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔，然后濺射金屬，濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極；7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20～100為ohm·cm的低電阻率硅材料；襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸；所述的高反層是由折射率～～，通過(guò)化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成；所述的外延層的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng)；所述的保護(hù)環(huán)為as離子源注入，注入劑量為1e15～2e15。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳。硅光電二極管供應(yīng)商就找世華高！重慶進(jìn)口硅光電二極管

硅光二極管在光探測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用非常廣。它可以用于檢測(cè)微弱的光信號(hào)，如生物發(fā)光、化學(xué)發(fā)光等，為科學(xué)研究和技術(shù)應(yīng)用提供了重要的手段。同時(shí)，硅光二極管還可以用于構(gòu)建光傳感器，實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)境參數(shù)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)分析。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大和產(chǎn)品種類(lèi)的豐富，公司的銷(xiāo)售業(yè)績(jī)穩(wěn)步提升。溫州硅光硅光電二極管接法世華高硅光電二極管性能穩(wěn)定，技術(shù)成熟。

通過(guò)適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低，再通過(guò)增加高反層使得光子在較薄的耗盡區(qū)中二次吸收來(lái)補(bǔ)償，以減小耗盡區(qū)變薄對(duì)光響應(yīng)度的影響(參見(jiàn)圖3)；高反層的形成使得器件保持對(duì)長(zhǎng)波響應(yīng)度的同時(shí)，降低響應(yīng)時(shí)間；進(jìn)一步，通過(guò)在高反層上刻孔形成均勻的電流路徑同時(shí)獲得高的響應(yīng)速度(參見(jiàn)圖4)；由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴(kuò)散區(qū)阻抗很小。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。

本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果：本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，通過(guò)適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低，本發(fā)明通過(guò)增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來(lái)補(bǔ)償；高反層的形成使得器件保持對(duì)長(zhǎng)波響應(yīng)度的同時(shí)，降低響應(yīng)時(shí)間；由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴(kuò)散區(qū)阻抗很小，因此擴(kuò)散時(shí)間很短；從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，由于通過(guò)低阻材料降低了擴(kuò)散區(qū)電阻，縮短了擴(kuò)散時(shí)間；而高反層的設(shè)置提高了長(zhǎng)波的吸收效率，降低了耗盡區(qū)的物理厚度，縮短了漂移時(shí)間，并且在其上開(kāi)孔減小了擴(kuò)散區(qū)的阻抗；襯底采用低電阻率材料，背面不用進(jìn)行減薄注入，直接背面金屬化形成背面電極，避免了加工過(guò)程中碎片的情況。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖；圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖；圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖；圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖；圖5-1～圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測(cè)試曲線；圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測(cè)試曲線。硅光電二極管參數(shù)哪家棒！世華高。

本發(fā)明屬于光電催化技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法，可以實(shí)現(xiàn)znte光生載流子的定向分離，并加速界面co2還原反應(yīng)的活性。背景技術(shù)：能源危機(jī)和溫室效應(yīng)是人類(lèi)目前急需解決的關(guān)鍵科學(xué)難題，以太陽(yáng)能驅(qū)動(dòng)的co2還原為解決這些問(wèn)題提供了一個(gè)理想的途徑，該反應(yīng)綠色、**，條件溫和，吸引了多國(guó)和科研人員的目光。光電催化反應(yīng)技術(shù)整合光催化和電催化技術(shù)的優(yōu)勢(shì),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)co2還原更高的效率和更理想的選擇性。目前，光電催化co2還原的效率依然很低，太陽(yáng)能到化學(xué)能的轉(zhuǎn)化效率遠(yuǎn)低于工業(yè)應(yīng)用所需的10％效率，根本原因在于載流子復(fù)合嚴(yán)重，界面反應(yīng)動(dòng)力學(xué)緩慢。為了推進(jìn)光電催化co2還原技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用，關(guān)鍵是開(kāi)發(fā)**載流子分離的光陰極材料。znte是一種可見(jiàn)光響應(yīng)的p型半導(dǎo)體()，其導(dǎo)帶邊電勢(shì)()遠(yuǎn)負(fù)于其它半導(dǎo)體，能克服co2還原的熱力學(xué)勢(shì)壘，是目前光(電)催化co2還原的理想材料。但是，單一znte光電極材料依然無(wú)法**分離光生載流子，大部分載流子在界面反應(yīng)發(fā)生之前復(fù)合損失。構(gòu)建半導(dǎo)體納米異質(zhì)結(jié)是分離光生載流子的通用途徑，但該方法往往需要兩個(gè)半導(dǎo)體之間的能帶匹配，且兩相界面需有利于載流子傳輸。這樣，很大地限制了半導(dǎo)體材料的選擇。因此。硅光電池就找深圳世華高。深圳光電硅光電二極管特性

世華高硅光電二極管物體檢測(cè)效果很好，使用壽命也很長(zhǎng)。重慶進(jìn)口硅光電二極管

該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。所述方法由以下步驟組成：1)以乙酸鋇、乙酸鍶和鈦酸四丁酯為原料，溶解于乙酸、乙醇和水的混合溶液中，加入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10-30％的聚乙烯吡絡(luò)烷酮，攪拌24h，得到紡絲溶液；2)采用靜電紡絲機(jī)制備sr摻雜batio3納米纖維薄膜電極：將步驟1所述紡絲溶液加入到10ml注射器中，設(shè)置一定的靜電紡絲工藝參數(shù)，在固定于滾筒上的fto玻璃上接收固化的復(fù)合纖維，150℃烘箱中干燥過(guò)夜，烘干后置于馬弗爐中煅燒一定時(shí)間，熱分解后即可獲得sr摻雜batio3薄膜電極；3)采用水熱法制備sr摻雜batio3/znte光電極：配制一定濃度的硝酸鋅、碲酸鈉和硼氫化鈉的混合水溶解，攪拌均勻，后轉(zhuǎn)入50ml水熱反應(yīng)釜中；將步驟2所述sr摻雜batio3薄膜電極放入反應(yīng)釜內(nèi)，fto導(dǎo)電面朝下，密封后置于恒溫干燥箱中水熱反應(yīng)一定時(shí)間。重慶進(jìn)口硅光電二極管