根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中，該激光位移傳感器用于對(duì)被測(cè)物體4進(jìn)行測(cè)量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，省略了激光位移傳感器的外殼。實(shí)際上，上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上，供激光器所發(fā)出的光通過。激光位移傳感器的工作過程如下：由激光二極管1發(fā)射的激光束通過聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后，照射在被測(cè)物體4的表面形成一個(gè)測(cè)量光斑，激光束可以垂直入射到被測(cè)物體4表面(即垂直入射)，也可與被測(cè)物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測(cè)量光斑由成像物鏡6成像，并在感光元件7形成測(cè)量信號(hào)。它可以用于測(cè)量物體的形狀和輪廓，以提供準(zhǔn)確的幾何信息。高精度激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好

加工-測(cè)量-再加工-再測(cè)量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測(cè)不僅包括非球面表面形狀的檢測(cè)，還包括非球面中心偏差的測(cè)量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內(nèi)小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車床運(yùn)動(dòng)誤差、磨削力變形及檢測(cè)誤差的限制，加工的非球面光學(xué)元件會(huì)產(chǎn)生一些質(zhì)量缺陷，無法保證跨尺度的產(chǎn)品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設(shè)計(jì)精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測(cè)信息進(jìn)行多誤差校正和補(bǔ)償加工。常州激光位移傳感器誠(chéng)信合作高精度激光位移傳感器具有較高的靈敏度，能夠檢測(cè)微小的位移變化。

進(jìn)一步地，所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動(dòng)輪、一伸縮制動(dòng)開關(guān)以及一控制面板；所述No.1支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪設(shè)于所述第二支撐件的底部；所述伸縮制動(dòng)開關(guān)設(shè)于所述第二支撐件的側(cè)面；所述控制面板與所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌電連接。進(jìn)一步地，所述微調(diào)裝置包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)、一電子測(cè)量?jī)x以及一微調(diào)平臺(tái)；所述微調(diào)平臺(tái)設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌上端的尾部，所述微調(diào)平臺(tái)的末端向上設(shè)有一延伸部；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)的前端；所述電子測(cè)量?jī)x的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)。

在激光位移傳感器中，激光束通過調(diào)整音叉透過高速上下移動(dòng)的物鏡，在受測(cè)對(duì)象物上聚集為一焦點(diǎn)，同時(shí)反射光也會(huì)在小孔位置合集為一點(diǎn)，并使受光元件受光，通過測(cè)定物鏡的具體的位置，從而準(zhǔn)確地測(cè)定目標(biāo)物離參考位置的距離，并不受材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測(cè)頭的焦點(diǎn)分別為對(duì)準(zhǔn)和沒有對(duì)準(zhǔn)對(duì)象物時(shí)的情況。上位機(jī)與激光位移傳感器中的控制器之間通過RS 232串行口進(jìn)行通信，串口信號(hào)格式為：COMl口、波特率9 600、無奇偶校驗(yàn)、8位數(shù)據(jù)位、1位停止位，也可以通過手柄控制激光位移傳感器中的控制器采集數(shù)據(jù)。它可以用于測(cè)量液壓系統(tǒng)的位移，以提高系統(tǒng)的控制精度。

要想在工作范圍內(nèi)得到好的光斑質(zhì)量，可采用柱面鏡或非球面實(shí)現(xiàn)，另外波前編碼和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3，4]，但這樣的光學(xué)系統(tǒng)相對(duì)較復(fù)雜，元件較多，不宜裝調(diào)，成本也會(huì)增長(zhǎng)。因此，在精度允許的情況下，可考慮全部采用球面鏡，不考慮焦深延拓，用變倍的方法實(shí)現(xiàn)在40、45、50、55、60mm物距處光斑大小盡量均勻一致。根據(jù)光譜分布，設(shè)定中心波長(zhǎng)權(quán)重為3，邊緣波長(zhǎng)權(quán)重為1。要消掉少量的色差，系統(tǒng)至少需要兩片鏡片。根據(jù)以上要求選定了一個(gè)初始結(jié)構(gòu)，經(jīng)過優(yōu)化得到以下best設(shè)計(jì)結(jié)果。圖2為優(yōu)化后的鏡頭結(jié)構(gòu)(像距在50mm處)。表1為effective工作范圍內(nèi)軸上視場(chǎng)的光斑大小分布。激光三角反射式測(cè)量原理基于簡(jiǎn)單的幾何關(guān)系。銷售激光位移傳感器產(chǎn)品原理

激光位移傳感器可以測(cè)量位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等精密的幾何測(cè)量。高精度激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好

在弧矢方向偏離2.1mm，IMA：-2.115，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-2.115mm。如圖3a至圖3c所示，在按照上述方式設(shè)計(jì)由成像物鏡6與感光元件7所組成的成像系統(tǒng)的MTF值后，不論被測(cè)物體在激光位移傳感器量程內(nèi)的什么位置，best終所呈現(xiàn)的光斑均為長(zhǎng)條狀，且長(zhǎng)條狀的光斑在子午方向(T)上被拉長(zhǎng)，而在弧矢(S)方向上被壓縮。這樣，就能夠使得光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來的不良影響。同時(shí)，還能夠降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，降低成本。不僅如此，由于光斑在弧矢方向上被壓縮，所以更加容易確定光斑在弧矢方向上的中心位置，有助于提高測(cè)量精度。另外，光斑在子午方向上的拉長(zhǎng)，并不會(huì)影響測(cè)量精度。高精度激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好