20年以上的豐富測試技術(shù)積累及運(yùn)營經(jīng)驗(yàn)，擁有多項(xiàng)發(fā)明專利及軟件著作權(quán)，上海頂策科技有限公司自成立以來，已經(jīng)為超過500家半導(dǎo)體公司提供高質(zhì)量，高效率，低成本，一條龍測試解決方案！可靠性測試事業(yè)部提供可靠性測試整體解決方案，包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設(shè)備，以及測試方案制定，PCB設(shè)計(jì)制作，測試試驗(yàn)，滿足各類芯片可靠性測試需求。自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測技術(shù)，通過監(jiān)測數(shù)據(jù)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅提高HTOL效率，節(jié)省更多時(shí)間、FA成本，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性，讓報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心。上海頂策科技有限公司可靠性測試服務(wù)，涵蓋柔性方案開發(fā)，出具可靠性報(bào)告等一條龍服務(wù)。黃浦區(qū)HTOL測試機(jī)市價(jià)
高效率HTOL自研設(shè)備，高質(zhì)量HTOL品質(zhì)保障，低成本HTOL測試方案。上海頂策科技有限公司TH801智能一體化老化測試機(jī)，自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測技術(shù)，通過監(jiān)測數(shù)據(jù)，可以實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅提高HTOL效率，節(jié)省更多時(shí)間、FA成本，全程數(shù)據(jù)記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性；有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄，讓報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心?？煽啃詼y試事業(yè)部提供可靠性測試整體解決方案，包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設(shè)備，以及測試方案制定，PCB設(shè)計(jì)制作，測試試驗(yàn)，可以滿足各類芯片可靠性測試需求。嘉定區(qū)如何選HTOL測試機(jī)可靠性事業(yè)部提供模擬，數(shù)字，混合信號(hào)，SOC，RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計(jì)。
本發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進(jìn)行htol測試的輸出電流iref分布圖。閃存參考單元進(jìn)行編譯和擦除循環(huán)后，htol測試過程中。閃存參考單元的輸出電流iref在48小時(shí)的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間偏移量減小，實(shí)際驗(yàn)證多個(gè)型號(hào)的閃存產(chǎn)品采用本實(shí)施例的方法后，htol可靠性驗(yàn)證通過，而且測試可靠，使閃存產(chǎn)品較短時(shí)間內(nèi)進(jìn)入客戶樣品量產(chǎn)階段。綜上所述，本發(fā)明所提供的一種閃存htol測試方法，對(duì)閃存參考單元進(jìn)行編譯和擦除循環(huán)后，再進(jìn)行閃存htol可靠性驗(yàn)證，編譯和擦除循環(huán)會(huì)在閃存參考單元中引入電子，引入的電子在閃存htol可靠性驗(yàn)證過程存在丟失，進(jìn)而對(duì)空穴在htol測試過程中的丟失形成補(bǔ)償，降低了閃存參考單元的輸出電流iref的偏移量，從而使閃存htol讀“0”通過，解決了閃存htol測試中讀點(diǎn)失效的問題，提高閃存質(zhì)量。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些改動(dòng)和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變動(dòng)在內(nèi)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明提供了一種閃存htol測試方法，以解決閃存htol測試中讀點(diǎn)失效的問題。本發(fā)明提供的閃存htol測試方法，包括：提供待測閃存，所述閃存包括閃存參考單元和閃存陣列單元；所述閃存參考單元中捕獲有空穴；對(duì)所述閃存參考單元循環(huán)進(jìn)行編譯和擦除，以在所述閃存參考單元中引入電子；對(duì)所述閃存進(jìn)行htol測試，所述引入電子在所述htol測試過程中部分丟失，以對(duì)htol測試過程中所述空穴的丟失形成補(bǔ)償。進(jìn)一步的，所述閃存參考單元包括襯底、位于所述襯底中的導(dǎo)電溝道、位于所述導(dǎo)電溝道兩側(cè)的源極和漏極，位于所述導(dǎo)電溝道上方的柵極單元，所述柵極單元從下到上依次包括隧穿氧化層、浮柵、柵間介質(zhì)層以及控制柵，所述柵極單元的兩側(cè)分布有側(cè)墻。 上海頂策科技的HTOL測試機(jī)TH801，自有發(fā)明專利的智能HTOL系統(tǒng)，自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測技術(shù)。
自有發(fā)明專利的智能HTOL系統(tǒng)，自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測技術(shù)，可靈活配置芯片工作狀態(tài)，并施加信號(hào)，非常方便HTOLSetup，實(shí)時(shí)監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度，以及每顆芯片電壓，電流，頻率，寄存器狀態(tài)等數(shù)據(jù)，確保芯片處于正常HTOL狀態(tài)，保證HTOL測試質(zhì)量，通過監(jiān)測數(shù)據(jù)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅度提高HTOL效率，節(jié)省更多時(shí)間、FA成本，全程數(shù)據(jù)記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性，有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄，讓報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心。上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，可靈活配置芯片工作狀態(tài)，并施加信號(hào)，非常方便HTOL Setup。嘉定區(qū)HTOL測試機(jī)哪家好
TH801智能老化系統(tǒng)，實(shí)時(shí)參數(shù)正態(tài)分布圖，散點(diǎn)圖等分析數(shù)據(jù)，有利于分析芯片性能參數(shù)。黃浦區(qū)HTOL測試機(jī)市價(jià)
高溫工作壽命實(shí)驗(yàn)（Hightemperatureoperatinglifetest:HTOL）測試目的：芯片處于高溫條件下，加入動(dòng)態(tài)信號(hào)，并長時(shí)間工作，以評(píng)估其使用壽命，并確定其可靠性。測試條件：結(jié)溫(Tj)≧125℃，電壓Vcc≧Vccmax，測試時(shí)間：1000hrs樣品數(shù)：77ea/lot,3lots測試讀點(diǎn)：168、500、1000hrs參考規(guī)范：、JESD22-A108JESD22-A108B：Temperature,Bias,andOperatingLifeJESD85：METHODSFORCALCULATINGFAILURERATESINUNITSOFFITSJESD47K：Stress-Test-DrivenQualificationofIntegratedCircuitsJESD74：EarlyLifeFailureRateCalculationProcedureforSemiconductorComponents芯片工作壽命試驗(yàn)、老化試驗(yàn)(OperatingLifeTest)，為利用溫度、電壓加速方式，在短時(shí)間試驗(yàn)內(nèi)，預(yù)估芯片在長時(shí)間可工作下的壽命時(shí)間(生命周期預(yù)估)。BI(Burn-in)/ELFR(EarlyLifeFailureRate)：評(píng)估早夭階段的故障率或藉由BI手法降低出貨的早夭率-DPPM(DefectPartsPer-Million)，針對(duì)失效模式中的InfantMortality，一般測試低于48小時(shí)，車規(guī)級(jí)芯片需要100%BI測試。HTOL(HighTemperatureOperatingLife)：評(píng)估可使用期的壽命時(shí)間-FIT/MTTF，針對(duì)失效模式中的Wearout，一般需要測試1000小時(shí)，屬于抽樣測試。 黃浦區(qū)HTOL測試機(jī)市價(jià)