自主研發(fā)在線實時單顆監(jiān)測技術(shù)的HTOL測試機(jī),上海頂策科技有限公司自主研發(fā)TH801智能一體化HTOL測試機(jī),擁有多項發(fā)明專利及軟件著作權(quán),可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅提高HTOL效率。提供可靠性設(shè)備,HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項可靠性測試方案制定,PCB設(shè)計制作,測試試驗,滿足各類芯片可靠性測試需求。涵蓋模擬,數(shù)字,混合信號,SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計,原理圖設(shè)計,PCBlayout加工制作,老化程序開發(fā)調(diào)試,可靠性測試試驗,出具可靠性報告。TH801智能老化系統(tǒng),監(jiān)測數(shù)據(jù)異常自動報警,實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅度提高HTOL效率。江蘇HTOL測試機(jī)參數(shù)
一種閃存htol測試方法,包括:提供待測閃存,所述閃存包括閃存參考單元和閃存陣列單元;所述閃存參考單元中捕獲有空穴;對所述閃存參考單元循環(huán)進(jìn)行編譯和擦除,以在所述閃存參考單元中引入電子;對所述閃存進(jìn)行htol測試,所述引入電子在所述htol測試過程中部分丟失,以對htol測試過程中所述空穴的丟失形成補(bǔ)償。具體的,待測閃存在同一閃存芯片(die)中的不同區(qū)域分布有閃存參考單元和閃存陣列單元,閃存陣列單元用于存儲數(shù)據(jù),閃存參考單元用于提供參考閾值電壓以區(qū)分閃存陣列單元的狀態(tài)。提供的待測閃存在其生產(chǎn)工藝過程中易在閃存參考單元中捕獲。引入)空穴,所述空穴在htol測試過程中存在丟失。圖2為本發(fā)明實施例的閃存參考單元的結(jié)構(gòu)示意圖,寶山區(qū)HTOL測試機(jī)24小時服務(wù)可靠性事業(yè)部提供模擬,數(shù)字,混合信號,SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計。
本發(fā)明實施例的閃存參考單元未經(jīng)過編譯和擦除的電荷分布示意圖;發(fā)明實施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除后的電荷分布示意圖。圖8為本發(fā)明實施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進(jìn)行htol測試的輸出電流iref分布圖。其中,具體標(biāo)號如下:100-襯底;101-源極;102-漏極;103-隧穿氧化層;104-浮柵;105-柵間介質(zhì)層;106-控制柵;107-側(cè)墻;具體實施方式本發(fā)明提供一種閃存htol測試方法,以下結(jié)合附圖和具體實施例作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明,本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精細(xì)的比例,*用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。圖1為本發(fā)明實施例的閃存htol測試方法流程圖,
第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。在每個時間點讀點過程為:將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進(jìn)行比對判斷,若iref<i,則閃存讀出“1”;若iref>i,則閃存讀出“0”。具體的,在閃存(例如norflash)產(chǎn)品htol可靠性驗證的階段的測試流程例如依次為:初始(***時間點)讀點、48小時(第二時間點)讀點、168小時(第三時間點)讀點、500小時(第四時間點)讀點、1000小時(第n時間點)讀點。本發(fā)明實施例的閃存參考單元未經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)而直接進(jìn)行htol測試時,發(fā)現(xiàn)閃存htol可靠性驗證在48小時(hrs)讀點失效。上海頂策科技TH801智能老化系統(tǒng),擁有智能動態(tài)在線實時檢測技術(shù),同時一體化結(jié)合ATE與高溫老化爐。
提供可靠性測試整體解決方案:可靠性設(shè)備,HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項可靠性測試方案制定,PCB設(shè)計制作,測試試驗,滿足各類芯片可靠性測試需求。自主研發(fā)在線實時單顆監(jiān)測技術(shù),通過監(jiān)測數(shù)據(jù),可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅提高HTOL效率,節(jié)省更多時間、FA成本,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性,讓報告更有說服力,下游客戶更放心。可靠性測試事業(yè)部提供可靠性測試整體解決方案,包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設(shè)備,以及測試方案制定,PCB設(shè)計制作,測試實驗,滿足各類芯片可靠性測試需求??煽啃允聵I(yè)部提供各類芯片的老化程序開發(fā)調(diào)試,可靠性測試實驗,出具可靠性報告等一條龍服務(wù)。松江區(qū)HTOL測試機(jī)哪家好
上海頂策科技有限公司智能一體化HTOL測試機(jī)TH801通過監(jiān)測數(shù)據(jù),可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅提高效率。江蘇HTOL測試機(jī)參數(shù)
閃存參考單元的隧穿氧化層103中會捕獲一些主要從生產(chǎn)工藝帶來的淺能級的空穴,在浮柵里面會注入所需要的電子。編譯過程中浮柵104可以捕獲電子,擦除過程中隧穿氧化層103會捕獲空穴;在經(jīng)過多次的編譯以及擦除后,會在浮柵104中有更多的電子,隧穿氧化層103中有更多的空**7中經(jīng)編譯和擦除循環(huán)后電子空穴的凈值(差值)與未經(jīng)編譯和擦除循環(huán)的電子空穴的凈值(差值)相等,從而保證閃存參考單元編譯和擦除循環(huán)后的輸出電流與編譯和擦除循環(huán)前的輸出電流是相等的。擦除過程中隧穿氧化層捕獲的空穴為深能級的空穴,這些深能級的空穴不容易移動,而在浮柵里面捕獲的電子比較活躍,在htol測試過程中高溫下會比較容易丟失,從而補(bǔ)償了閃存參考單元從生產(chǎn)工藝帶來的淺能級的空穴在htol測試過程中的丟失。江蘇HTOL測試機(jī)參數(shù)
上海頂策科技有限公司正式組建于2014-11-24,將通過提供以芯片測試服務(wù),芯片測試設(shè)備,HTOL老化爐等服務(wù)于于一體的組合服務(wù)。頂策科技經(jīng)營業(yè)績遍布國內(nèi)諸多地區(qū)地區(qū),業(yè)務(wù)布局涵蓋芯片測試服務(wù),芯片測試設(shè)備,HTOL老化爐等板塊。我們強(qiáng)化內(nèi)部資源整合與業(yè)務(wù)協(xié)同,致力于芯片測試服務(wù),芯片測試設(shè)備,HTOL老化爐等實現(xiàn)一體化,建立了成熟的芯片測試服務(wù),芯片測試設(shè)備,HTOL老化爐運(yùn)營及風(fēng)險管理體系,累積了豐富的儀器儀表行業(yè)管理經(jīng)驗,擁有一大批專業(yè)人才。上海頂策科技有限公司業(yè)務(wù)范圍涉及從事網(wǎng)絡(luò)、電子、信息、軟件、半導(dǎo)體科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù),人才咨詢,軟件開發(fā),設(shè)計、制作各類廣告,利用自有媒體發(fā)布廣告,芯片、半導(dǎo)體材料、電子元器件、儀器儀表、五金交電、機(jī)電設(shè)備、電子產(chǎn)品、計算機(jī)、軟件及輔助設(shè)備的銷售,機(jī)電設(shè)備安裝、維修(除??兀瑥氖仑浳锛凹夹g(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)?!疽婪毥?jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】。等多個環(huán)節(jié),在國內(nèi)儀器儀表行業(yè)擁有綜合優(yōu)勢。在芯片測試服務(wù),芯片測試設(shè)備,HTOL老化爐等領(lǐng)域完成了眾多可靠項目。