發(fā)明人檢查失效的原因，發(fā)現(xiàn)讀點失效為讀“0”失效，并且進一步研究發(fā)現(xiàn)閃存參考單元的輸出電流iref在48小時的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間有偏移，具體偏移量經(jīng)測試統(tǒng)計在4μa以內，而且iref1＜iref0，即48小時后iref往電流變小的方向偏移。閃存測試中，若iref＞i，則讀出“0”(即閃存讀“0”操作時，iref＞i)。閃存判斷讀“0”的具體操作過程為：將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進行比對判斷。當差值變弱到由讀出放大器無法進行識別時，讀“0”失效。當htol可靠性驗證經(jīng)過***時間點例如48小時后，由于閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移即iref變小，如此一來，閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值變小，超出讀出放大器識別范圍，于是讀“0”失效。測試發(fā)現(xiàn)經(jīng)48小時閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移后，進一步做htol測試，閃存參考單元的輸出電流iref在第三時間點例如168小時,第四時間點例如500小時,第五時間點例如1000小時測試均不會進一步偏移。上海頂策科技有限公司可靠性測試部，提供HTOL方案設計制作。HTOL測試機24小時服務

涵蓋模擬，數(shù)字，混合信號，SOC，RF等各類芯片的可靠性方案設計，原理圖設計，PCBlayout加工制作，老化程序開發(fā)調試，可靠性測試試驗，出具可靠性報告等一條龍服務。擁有自主研發(fā)在線實時單科監(jiān)測技術的可靠性測試設備，可靈活配置芯片工作狀態(tài)，并施加信號，非常方便HTOLSetup，實時監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度，以及每顆芯片電壓，電流，頻率，寄存器狀態(tài)等數(shù)據(jù)，確保芯片處于正常HTOL狀態(tài)，保證HTOL測試質量，全程數(shù)據(jù)記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性，讓報告更有說服力，下游客戶更放心。HTOL測試機24小時服務上海頂策科技TH801智能老化系統(tǒng)，是一款全程數(shù)據(jù)實時記錄的高效HTOL設備。

閃存HTOL測試方法與流程本發(fā)明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種閃存htol測試方法。背景技術：閃存(flashmemory)是一種非易失性的存儲器，其具有即使斷電存儲數(shù)據(jù)也不會丟失而能夠長期保存的特點。故近年來閃存的發(fā)展十分迅速，并且具有高集成度、高存儲速度和高可靠性的閃存存儲器被廣泛應用于包括電腦、手機、服務器等電子產(chǎn)品及設備中。在半導體技術領域中，htol(hightemperatureoperatinglifetest，高溫操作生命期試驗)用于評估半導體器件在超熱和超電壓情況下一段時間的耐久力。對于閃存的可靠性而言，在數(shù)萬次的循環(huán)之后的htol是一個主要指數(shù)。通常而言，閃存產(chǎn)品需要在10000次的循環(huán)之后，通過1000小時的htol測試。閃存htol實際測試中存在若干小時后閃存測試讀點(例如讀“0”)失效，亟需解決閃存htol測試中讀點失效的問題。

集成電路動態(tài)老化設備，20年發(fā)展歷史，自主研發(fā)TH801智能一體化HTOL測試機，擁有多項發(fā)明專利及軟件著作權，可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅提高HTOL效率。上海頂策科技有限公司，自成立以來已經(jīng)為超過500家半導體公司提供高質量，高效率，低成本，一條龍測試解決方案！涵蓋模擬，數(shù)字，混合信號，SOC，RF等各類芯片的可靠性方案設計，原理圖設計，PCBlayout加工制作，老化程序開發(fā)調試，可靠性測試實驗，出具可靠性報告等一條龍服務。上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，通過監(jiān)測數(shù)據(jù)，可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,節(jié)省更多時間、FA成本。

本發(fā)明實施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進行htol測試的輸出電流iref分布圖。閃存參考單元進行編譯和擦除循環(huán)后，htol測試過程中。閃存參考單元的輸出電流iref在48小時的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間偏移量減小，實際驗證多個型號的閃存產(chǎn)品采用本實施例的方法后，htol可靠性驗證通過，而且測試可靠，使閃存產(chǎn)品較短時間內進入客戶樣品量產(chǎn)階段。綜上所述，本發(fā)明所提供的一種閃存htol測試方法，對閃存參考單元進行編譯和擦除循環(huán)后，再進行閃存htol可靠性驗證，編譯和擦除循環(huán)會在閃存參考單元中引入電子，引入的電子在閃存htol可靠性驗證過程存在丟失，進而對空穴在htol測試過程中的丟失形成補償，降低了閃存參考單元的輸出電流iref的偏移量，從而使閃存htol讀“0”通過，解決了閃存htol測試中讀點失效的問題，提高閃存質量。顯然，本領域的技術人員可以對發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些改動和變型屬于本發(fā)明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發(fā)明也意圖包括這些改動和變動在內。上海頂策科技有限公司智能HTOL測試機TH801有全程數(shù)據(jù)記錄，讓報告更有說服力，下游客戶更放心。靜安區(qū)HTOL測試機供應

上海頂策科技TH801智能老化系統(tǒng)，芯片狀態(tài)實時參數(shù)正態(tài)分布圖，散點圖等顯示，多維度分析芯片狀態(tài)。HTOL測試機24小時服務

芯片ATE程序開發(fā)及FT測試FT（FinalTest）是芯片在封裝完成以后進行的*終的功能和性能測試，是產(chǎn)品質量控制*后環(huán)節(jié)，通過ATE+Handler+loadboard檢測并剔除封裝工藝和制造缺陷等生產(chǎn)環(huán)節(jié)問題的芯片。測試程序覆蓋功能和全pin性能參數(shù)，并補充CP未覆蓋的功能。服務內容：老化方案開發(fā)測試硬件設計ATE開發(fā)調試可靠性試驗在要求點(如0、168、500、1000 hr)進行 ATE 測試，確定芯片是否OK, 記錄每顆芯片的關鍵參數(shù)，并分析老化過程中的變化。HTOL測試機24小時服務

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