發(fā)明人檢查失效的原因，發(fā)現(xiàn)讀點(diǎn)失效為讀“0”失效，并且進(jìn)一步研究發(fā)現(xiàn)閃存參考單元的輸出電流iref在48小時(shí)的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間有偏移，具體偏移量經(jīng)測試統(tǒng)計(jì)在4μa以內(nèi)，而且iref1＜iref0，即48小時(shí)后iref往電流變小的方向偏移。閃存測試中，若iref＞i，則讀出“0”(即閃存讀“0”操作時(shí)，iref＞i)。閃存判斷讀“0”的具體操作過程為：將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進(jìn)行比對判斷。當(dāng)差值變?nèi)醯接勺x出放大器無法進(jìn)行識別時(shí)，讀“0”失效。當(dāng)htol可靠性驗(yàn)證經(jīng)過***時(shí)間點(diǎn)例如48小時(shí)后，由于閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移即iref變小，如此一來，閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值變小，超出讀出放大器識別范圍，于是讀“0”失效。測試發(fā)現(xiàn)經(jīng)48小時(shí)閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移后，進(jìn)一步做htol測試，閃存參考單元的輸出電流iref在第三時(shí)間點(diǎn)例如168小時(shí),第四時(shí)間點(diǎn)例如500小時(shí),第五時(shí)間點(diǎn)例如1000小時(shí)測試均不會(huì)進(jìn)一步偏移。上海頂策科技有限公司可靠性測試部，提供HTOL方案設(shè)計(jì)制作。HTOL測試機(jī)24小時(shí)服務(wù)

涵蓋模擬，數(shù)字，混合信號，SOC，RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計(jì)，原理圖設(shè)計(jì)，PCBlayout加工制作，老化程序開發(fā)調(diào)試，可靠性測試試驗(yàn)，出具可靠性報(bào)告等一條龍服務(wù)。擁有自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單科監(jiān)測技術(shù)的可靠性測試設(shè)備，可靈活配置芯片工作狀態(tài)，并施加信號，非常方便HTOLSetup，實(shí)時(shí)監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度，以及每顆芯片電壓，電流，頻率，寄存器狀態(tài)等數(shù)據(jù)，確保芯片處于正常HTOL狀態(tài)，保證HTOL測試質(zhì)量，全程數(shù)據(jù)記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性，讓報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心。HTOL測試機(jī)24小時(shí)服務(wù)上海頂策科技TH801智能老化系統(tǒng)，是一款全程數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄的高效HTOL設(shè)備。

閃存HTOL測試方法與流程本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種閃存htol測試方法。背景技術(shù)：閃存(flashmemory)是一種非易失性的存儲(chǔ)器，其具有即使斷電存儲(chǔ)數(shù)據(jù)也不會(huì)丟失而能夠長期保存的特點(diǎn)。故近年來閃存的發(fā)展十分迅速，并且具有高集成度、高存儲(chǔ)速度和高可靠性的閃存存儲(chǔ)器被廣泛應(yīng)用于包括電腦、手機(jī)、服務(wù)器等電子產(chǎn)品及設(shè)備中。在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中，htol(hightemperatureoperatinglifetest，高溫操作生命期試驗(yàn))用于評估半導(dǎo)體器件在超熱和超電壓情況下一段時(shí)間的耐久力。對于閃存的可靠性而言，在數(shù)萬次的循環(huán)之后的htol是一個(gè)主要指數(shù)。通常而言，閃存產(chǎn)品需要在10000次的循環(huán)之后，通過1000小時(shí)的htol測試。閃存htol實(shí)際測試中存在若干小時(shí)后閃存測試讀點(diǎn)(例如讀“0”)失效，亟需解決閃存htol測試中讀點(diǎn)失效的問題。

集成電路動(dòng)態(tài)老化設(shè)備，20年發(fā)展歷史，自主研發(fā)TH801智能一體化HTOL測試機(jī)，擁有多項(xiàng)發(fā)明專利及軟件著作權(quán)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅提高HTOL效率。上海頂策科技有限公司，自成立以來已經(jīng)為超過500家半導(dǎo)體公司提供高質(zhì)量，高效率，低成本，一條龍測試解決方案！涵蓋模擬，數(shù)字，混合信號，SOC，RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計(jì)，原理圖設(shè)計(jì)，PCBlayout加工制作，老化程序開發(fā)調(diào)試，可靠性測試實(shí)驗(yàn)，出具可靠性報(bào)告等一條龍服務(wù)。上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，通過監(jiān)測數(shù)據(jù)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,節(jié)省更多時(shí)間、FA成本。

本發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進(jìn)行htol測試的輸出電流iref分布圖。閃存參考單元進(jìn)行編譯和擦除循環(huán)后，htol測試過程中。閃存參考單元的輸出電流iref在48小時(shí)的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間偏移量減小，實(shí)際驗(yàn)證多個(gè)型號的閃存產(chǎn)品采用本實(shí)施例的方法后，htol可靠性驗(yàn)證通過，而且測試可靠，使閃存產(chǎn)品較短時(shí)間內(nèi)進(jìn)入客戶樣品量產(chǎn)階段。綜上所述，本發(fā)明所提供的一種閃存htol測試方法，對閃存參考單元進(jìn)行編譯和擦除循環(huán)后，再進(jìn)行閃存htol可靠性驗(yàn)證，編譯和擦除循環(huán)會(huì)在閃存參考單元中引入電子，引入的電子在閃存htol可靠性驗(yàn)證過程存在丟失，進(jìn)而對空穴在htol測試過程中的丟失形成補(bǔ)償，降低了閃存參考單元的輸出電流iref的偏移量，從而使閃存htol讀“0”通過，解決了閃存htol測試中讀點(diǎn)失效的問題，提高閃存質(zhì)量。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些改動(dòng)和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變動(dòng)在內(nèi)。上海頂策科技有限公司智能HTOL測試機(jī)TH801有全程數(shù)據(jù)記錄，讓報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心。靜安區(qū)HTOL測試機(jī)供應(yīng)

上海頂策科技TH801智能老化系統(tǒng)，芯片狀態(tài)實(shí)時(shí)參數(shù)正態(tài)分布圖，散點(diǎn)圖等顯示，多維度分析芯片狀態(tài)。HTOL測試機(jī)24小時(shí)服務(wù)

芯片ATE程序開發(fā)及FT測試FT（FinalTest）是芯片在封裝完成以后進(jìn)行的*終的功能和性能測試，是產(chǎn)品質(zhì)量控制*后環(huán)節(jié)，通過ATE+Handler+loadboard檢測并剔除封裝工藝和制造缺陷等生產(chǎn)環(huán)節(jié)問題的芯片。測試程序覆蓋功能和全pin性能參數(shù)，并補(bǔ)充CP未覆蓋的功能。服務(wù)內(nèi)容：老化方案開發(fā)測試硬件設(shè)計(jì)ATE開發(fā)調(diào)試可靠性試驗(yàn)在要求點(diǎn)(如0、168、500、1000 hr)進(jìn)行 ATE 測試，確定芯片是否OK, 記錄每顆芯片的關(guān)鍵參數(shù)，并分析老化過程中的變化。HTOL測試機(jī)24小時(shí)服務(wù)

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