高溫工作壽命實驗(Hightemperatureoperatinglifetest:HTOL)測試目的:芯片處于高溫條件下,加入動態(tài)信號,并長時間工作,以評估其使用壽命,并確定其可靠性。測試條件:結(jié)溫(Tj)≧125℃,電壓Vcc≧Vccmax,測試時間:1000hrs樣品數(shù):77ea/lot,3lots測試讀點:168、500、1000hrs參考規(guī)范:、JESD22-A108JESD22-A108B:Temperature,Bias,andOperatingLifeJESD85:METHODSFORCALCULATINGFAILURERATESINUNITSOFFITSJESD47K:Stress-Test-DrivenQualificationofIntegratedCircuitsJESD74:EarlyLifeFailureRateCalculationProcedureforSemiconductorComponents芯片工作壽命試驗、老化試驗(OperatingLifeTest),為利用溫度、電壓加速方式,在短時間試驗內(nèi),預估芯片在長時間可工作下的壽命時間(生命周期預估)。BI(Burn-in)/ELFR(EarlyLifeFailureRate):評估早夭階段的故障率或藉由BI手法降低出貨的早夭率-DPPM(DefectPartsPer-Million),針對失效模式中的InfantMortality,一般測試低于48小時,車規(guī)級芯片需要100%BI測試。HTOL(HighTemperatureOperatingLife):評估可使用期的壽命時間-FIT/MTTF,針對失效模式中的Wearout,一般需要測試1000小時,屬于抽樣測試。 TH801智能老化系統(tǒng),監(jiān)測數(shù)據(jù)異常自動報警,實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,可以整體降低30~50%的成本。靜安區(qū)HTOL測試機供應商
上海頂策科技有限公司(Topictest)推出的TH801,智能在線監(jiān)控動態(tài)老化設備,可以監(jiān)控的參數(shù)除了整板的電壓,電流,還可以根據(jù)需求,監(jiān)控到老化中每顆芯片的電壓、電流,寄存器數(shù)據(jù),時間,頻率等諸多參數(shù),并實時記錄保存成Excel文檔。這樣不僅可以確保每顆芯片都處于正常的老化狀態(tài),保證老化測試的質(zhì)量,同時還可以清楚地知道具體失效的參數(shù),以及在什么時間點失效等諸多信息,非常有益于失效后的FA分析。另外由于可以監(jiān)控更多芯片參數(shù),這使得免除ATE回測成為可能,這將大幅度提高老化測試效率,節(jié)省更多人力成本!這項技術(shù)目前已在對芯片質(zhì)量要求較高的芯片設計公司廣泛應用。楊浦區(qū)國內(nèi)HTOL測試機上海頂策科技有限公司可靠性測試服務,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性。
高效率HTOL自研設備,高質(zhì)量HTOL品質(zhì)保障,低成本HTOL測試方案。上海頂策科技有限公司TH801智能一體化老化測試機,自主研發(fā)在線實時單顆監(jiān)測技術(shù),通過監(jiān)測數(shù)據(jù),可以實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅提高HTOL效率,節(jié)省更多時間、FA成本,全程數(shù)據(jù)記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性;有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄,讓報告更有說服力,下游客戶更放心??煽啃詼y試事業(yè)部提供可靠性測試整體解決方案,包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設備,以及測試方案制定,PCB設計制作,測試試驗,可以滿足各類芯片可靠性測試需求。
本發(fā)明實施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進行htol測試的輸出電流iref分布圖。閃存參考單元進行編譯和擦除循環(huán)后,htol測試過程中。閃存參考單元的輸出電流iref在48小時的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間偏移量減小,實際驗證多個型號的閃存產(chǎn)品采用本實施例的方法后,htol可靠性驗證通過,而且測試可靠,使閃存產(chǎn)品較短時間內(nèi)進入客戶樣品量產(chǎn)階段。綜上所述,本發(fā)明所提供的一種閃存htol測試方法,對閃存參考單元進行編譯和擦除循環(huán)后,再進行閃存htol可靠性驗證,編譯和擦除循環(huán)會在閃存參考單元中引入電子,引入的電子在閃存htol可靠性驗證過程存在丟失,進而對空穴在htol測試過程中的丟失形成補償,降低了閃存參考單元的輸出電流iref的偏移量,從而使閃存htol讀“0”通過,解決了閃存htol測試中讀點失效的問題,提高閃存質(zhì)量。顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣,倘若本發(fā)明的這些改動和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本發(fā)明也意圖包括這些改動和變動在內(nèi)。上海頂策科技有限公司智能一體化HTOL測試機TH801全程數(shù)據(jù)記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性。
進一步的,對所述閃存參考單元進行編譯,包括:在所述源極上施加***編程電壓,在所述漏極上施加第二編程電壓,在所述控制柵上施加第三編程電壓,在所述襯底上施加第四編程電壓;其中,所述***編程電壓小于所述第二編程電壓;所述第二編程電壓小于所述第三編程電壓。進一步的,所述***編程電壓的范圍為~0v,所述第二編程電壓的范圍為~,所述第三編程電壓的范圍為8v~10v,所述第四編程電壓的范圍為~-1v。進一步的,編譯過程中的脈沖寬度為100μs~150μs。進一步的,對所述閃存參考單元進行擦除,包括:將所述源極和漏極均懸空,在所述控制柵上施加***擦除電壓,在所述襯底上施加第二擦除電壓;其中,所述***擦除電壓為負電壓,所述第二擦除電壓為正電壓。進一步的,所述***擦除電壓的范圍為-10v~-8v,所述第二擦除電壓的范圍為8v~10v。進一步的,擦除過程中的脈沖寬度為10ms~20ms。進一步的,對所述閃存參考單元進行編譯和擦除,循環(huán)次數(shù)為10次~20次。進一步的,對所述閃存進行htol測試包括:對所述閃存依次進行***時間點讀點、第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。
TH801智能老化系統(tǒng),實時監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度,確保芯片處于正常HTOL狀態(tài),保證HTOL測試質(zhì)量。徐匯區(qū)HTOL測試機現(xiàn)貨
上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng),通過監(jiān)測數(shù)據(jù),可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,節(jié)省更多時間、FA成本。靜安區(qū)HTOL測試機供應商
芯片HTOL測試如何做到省力省心?上海頂策科技有限公司,提供可靠性測試整體解決方案:可靠性設備,HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項可靠性測試方案制定,PCB設計制作,測試試驗,滿足各類芯片可靠性測試需求。涵蓋模擬,數(shù)字,混合信號,SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設計,原理圖設計,PCBlayout加工制作,老化程序開發(fā)調(diào)試,可靠性測試試驗,出具可靠性報告等全方面服務。自有發(fā)明專利的智能HTOL系統(tǒng),自主研發(fā)在線實時單顆監(jiān)測技術(shù),可靈活配置芯片工作狀態(tài),并施加信號,非常方便HTOLSetup,實時監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度,以及每顆芯片電壓,電流,頻率,寄存器狀態(tài)等數(shù)據(jù),確保芯片處于正常HTOL狀態(tài)。靜安區(qū)HTOL測試機供應商
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