在半導(dǎo)體制造工藝中，有多種工藝腔體是運(yùn)用旋轉(zhuǎn)的方法展開工作，但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學(xué)物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上。現(xiàn)有技術(shù)中多數(shù)是對工藝腔體的體壁展開定期維護(hù)與保養(yǎng)，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應(yīng)的體壁備用更換，致使減低了生產(chǎn)效率。為了有效性的支配上述疑問，本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁，且提高生產(chǎn)效率。如圖1所示，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的工藝腔體側(cè)面剖視圖。本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體10，包括：內(nèi)層體壁21，由所述內(nèi)層體壁21平分而成的內(nèi)層體壁段22；由承載所述內(nèi)層體壁21的承載物平分而成的承載段11，所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目和所述承載段11的數(shù)目等于；在所述內(nèi)層體壁21**設(shè)立的**少一個替換體壁段23，所述替換體壁段23與所述內(nèi)層體壁段22的形狀及尺寸相同；承載并移動所述替換體壁段23的軌道段12；所述承載段11和所述軌道段12形狀和尺寸相同，所述承載段11和所述軌道段12能交換位置。本實(shí)用新型通過將所述內(nèi)層體壁21拆分為多個內(nèi)層體壁段22，并在內(nèi)層體壁21**設(shè)立替換體壁段23，用以適時替換被水污染的內(nèi)層體壁段22，從而可以分批次對內(nèi)層體壁段22展開替換，既不影響生產(chǎn)。使用開體花蘭時，要注意以下注意事項(xiàng)：不得超負(fù)荷，以防出現(xiàn)安全隱患的問題！天津日式開體花蘭廠家
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