實(shí)驗(yàn)條件的對(duì)標(biāo)首先，要將模型中的實(shí)驗(yàn)設(shè)置與實(shí)際的實(shí)驗(yàn)條件進(jìn)行對(duì)標(biāo)，包含各項(xiàng)工藝參數(shù)和測(cè)試圖案的信息。其中工藝參數(shù)包含光刻機(jī)信息、照明條件、光刻涂層設(shè)置等信息。測(cè)試圖案要基于設(shè)計(jì)規(guī)則來(lái)確定，同時(shí)要確保測(cè)試圖案的幾何特性具有一定的代表性。光刻膠形貌的測(cè)量進(jìn)行光刻膠形貌測(cè)量時(shí)，通常需要利用掃描電子顯微鏡（SEM）收集每個(gè)聚焦能量矩陣（FEM）自上而下的CD、光刻膠截面輪廓、光刻膠高度和側(cè)壁角 [3]，并將其用于光刻膠模型校準(zhǔn)，如圖3所示。根據(jù)需要調(diào)整模型的參數(shù)和結(jié)構(gòu)，以提高模型在訓(xùn)練集上的性能。奉賢區(qū)智能驗(yàn)證模型要求

交叉驗(yàn)證有時(shí)也稱(chēng)為交叉比對(duì)，如：10折交叉比對(duì) [2]。Holdout 驗(yàn)證常識(shí)來(lái)說(shuō)，Holdout 驗(yàn)證并非一種交叉驗(yàn)證，因?yàn)閿?shù)據(jù)并沒(méi)有交叉使用。 隨機(jī)從**初的樣本中選出部分，形成交叉驗(yàn)證數(shù)據(jù)，而剩余的就當(dāng)做訓(xùn)練數(shù)據(jù)。 一般來(lái)說(shuō)，少于原本樣本三分之一的數(shù)據(jù)被選做驗(yàn)證數(shù)據(jù)。K-fold cross-validationK折交叉驗(yàn)證，初始采樣分割成K個(gè)子樣本，一個(gè)單獨(dú)的子樣本被保留作為驗(yàn)證模型的數(shù)據(jù)，其他K-1個(gè)樣本用來(lái)訓(xùn)練。交叉驗(yàn)證重復(fù)K次，每個(gè)子樣本驗(yàn)證一次，平均K次的結(jié)果或者使用其它結(jié)合方式，**終得到一個(gè)單一估測(cè)。這個(gè)方法的優(yōu)勢(shì)在于，同時(shí)重復(fù)運(yùn)用隨機(jī)產(chǎn)生的子樣本進(jìn)行訓(xùn)練和驗(yàn)證，每次的結(jié)果驗(yàn)證一次，10折交叉驗(yàn)證是**常用的 [3]。楊浦區(qū)銷(xiāo)售驗(yàn)證模型平臺(tái)由于模型檢測(cè)可以自動(dòng)執(zhí)行，并能在系統(tǒng)不滿(mǎn)足性質(zhì)時(shí)提供反例路徑，因此在工業(yè)界比演繹證明更受推崇。

極大似然估計(jì)法（ML）是結(jié)構(gòu)方程分析**常用的方法，ML方法的前提條件是變量是多元正態(tài)分布的。數(shù)據(jù)的非正態(tài)性可以通過(guò)偏度（skew）和峰度（kurtosis）來(lái)表示。偏度表示數(shù)據(jù)的對(duì)稱(chēng)性，峰度表示數(shù)據(jù)平坦性的。LISREL中包含的估計(jì)方法有：ML（極大似然）、GLS（廣義**小二乘法）、WLS（一般加權(quán)**小二乘法）等，WLS并不要求數(shù)據(jù)是正態(tài)的。 [2]極大似然估計(jì)法（ML）是結(jié)構(gòu)方程分析**常用的方法，ML方法的前提條件是變量是多元正態(tài)分布的。數(shù)據(jù)的非正態(tài)性可以通過(guò)偏度（skew）和峰度（kurtosis）來(lái)表示。偏度表示數(shù)據(jù)的對(duì)稱(chēng)性，峰度表示數(shù)據(jù)平坦性的。LISREL中包含的估計(jì)方法有：ML（極大似然）、GLS（廣義**小二乘法）、WLS（一般加權(quán)**小二乘法）等，WLS并不要求數(shù)據(jù)是正態(tài)的。 [2]

防止過(guò)擬合：通過(guò)對(duì)比訓(xùn)練集和驗(yàn)證集上的性能，可以識(shí)別模型是否存在過(guò)擬合現(xiàn)象（即模型在訓(xùn)練數(shù)據(jù)上表現(xiàn)過(guò)好，但在新數(shù)據(jù)上表現(xiàn)不佳）。參數(shù)調(diào)優(yōu)：驗(yàn)證集還為模型參數(shù)的選擇提供了依據(jù)，幫助找到比較好的模型配置，以達(dá)到比較好的預(yù)測(cè)效果。增強(qiáng)可信度：經(jīng)過(guò)嚴(yán)格驗(yàn)證的模型在部署后更能贏得用戶(hù)的信任，特別是在醫(yī)療、金融等高風(fēng)險(xiǎn)領(lǐng)域。二、驗(yàn)證模型的常用方法交叉驗(yàn)證：K折交叉驗(yàn)證：將數(shù)據(jù)集隨機(jī)分成K個(gè)子集，每次用K-1個(gè)子集作為訓(xùn)練集，剩余的一個(gè)子集作為驗(yàn)證集，重復(fù)K次，每次選擇不同的子集作為驗(yàn)證集，**終評(píng)估結(jié)果為K次驗(yàn)證的平均值。擬合度分析，類(lèi)似于模型標(biāo)定，校核觀(guān)測(cè)值和預(yù)測(cè)值的吻合程度。

性能指標(biāo)：分類(lèi)問(wèn)題：準(zhǔn)確率、精確率、召回率、F1-score、ROC曲線(xiàn)、AUC等?；貧w問(wèn)題：均方誤差（MSE）、均方根誤差（RMSE）、平均***誤差（MAE）等。模型復(fù)雜度：通過(guò)學(xué)習(xí)曲線(xiàn)分析模型的訓(xùn)練和驗(yàn)證性能，判斷模型是否過(guò)擬合或欠擬合。超參數(shù)調(diào)優(yōu)：使用網(wǎng)格搜索（Grid Search）或隨機(jī)搜索（Random Search）等方法優(yōu)化模型的超參數(shù)。模型解釋性：評(píng)估模型的可解釋性，確保模型的決策過(guò)程可以被理解。如果可能，使用**的數(shù)據(jù)集進(jìn)行驗(yàn)證，以評(píng)估模型在不同數(shù)據(jù)分布下的表現(xiàn)。通過(guò)以上步驟，可以有效地驗(yàn)證模型的性能，確保其在實(shí)際應(yīng)用中的可靠性和有效性。很多情況下，可以把模型檢測(cè)和各種抽象與歸納原則結(jié)合起來(lái)驗(yàn)證非有窮狀態(tài)系統(tǒng)(如實(shí)時(shí)系統(tǒng))。閔行區(qū)正規(guī)驗(yàn)證模型大概是

常見(jiàn)的有K折交叉驗(yàn)證，將數(shù)據(jù)集分為K個(gè)子集，輪流使用其中一個(gè)子集作為測(cè)試集，其余作為訓(xùn)練集。奉賢區(qū)智能驗(yàn)證模型要求

在產(chǎn)生模型分析（即 MG 類(lèi)模型）中，模型應(yīng)用者先提出一個(gè)或多個(gè)基本模型，然后檢查這些模型是否擬合樣本數(shù)據(jù)，基于理論或樣本數(shù)據(jù)，分析找出模型擬合不好的部分，據(jù)此修改模型，并通過(guò)同一的樣本數(shù)據(jù)或同類(lèi)的其他樣本數(shù)據(jù)，去檢查修正模型的擬合程度。這樣一個(gè)整個(gè)的分析過(guò)程的目的就是要產(chǎn)生一個(gè)比較好的模型。因此，結(jié)構(gòu)方程除可用作驗(yàn)證模型和比較不同的模型外，也可以用作評(píng)估模型及修正模型。一些結(jié)構(gòu)方程模型的應(yīng)用人員都是先從一個(gè)預(yù)設(shè)的模型開(kāi)始，然后將此模型與所掌握的樣本數(shù)據(jù)相互印證。如果發(fā)現(xiàn)預(yù)設(shè)的模型與樣本數(shù)據(jù)擬合的并不是很好，那么就將預(yù)設(shè)的模型進(jìn)行修改，然后再檢驗(yàn)，不斷重復(fù)這么一個(gè)過(guò)程，直至**終獲得一個(gè)模型應(yīng)用人員認(rèn)為與數(shù)據(jù)擬合度達(dá)到他的滿(mǎn)意度，而同時(shí)各個(gè)參數(shù)估計(jì)值也有合理解釋的模型。 [3]奉賢區(qū)智能驗(yàn)證模型要求

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