出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機(jī)械臂的構(gòu)造模塊。TO-DOM由兩個(gè)旋轉(zhuǎn)模塊及一個(gè)連接模塊共三個(gè)基本模塊組成。根據(jù)空間機(jī)械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個(gè)基本模塊之間的機(jī)械接口進(jìn)行專門(mén)設(shè)計(jì),即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)。由這樣數(shù)個(gè)不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個(gè)自由度的空間機(jī)器臂。采用一體化概念設(shè)計(jì)的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過(guò)對(duì)由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進(jìn)行的試驗(yàn)初步驗(yàn)證了TODOM設(shè)計(jì)概念的合理性及可行性。圖為單軸機(jī)械手臂。單軸機(jī)械手臂的組件化**降低了工業(yè)設(shè)計(jì)的成本.廣東晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪家好...
晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的重要設(shè)備之一。它主要用于將晶圓從一個(gè)工序轉(zhuǎn)移到另一個(gè)工序,確保晶圓在整個(gè)制造過(guò)程中的安全和穩(wěn)定運(yùn)輸。 晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的自動(dòng)化和精確性。它采用先進(jìn)的自動(dòng)控制系統(tǒng),能夠準(zhǔn)確地定位和抓取晶圓,避免了人為操作的誤差和不穩(wěn)定性。通過(guò)精確的控制,晶圓可以在不同工序之間快速而安全地轉(zhuǎn)移,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。其次,晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的可靠性和穩(wěn)定性。它采用了質(zhì)量高的材料和先進(jìn)的制造工藝,具有良好的耐磨性和抗腐蝕性。同時(shí),晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的測(cè)試和檢驗(yàn),確保其在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中不會(huì)出現(xiàn)故障或損壞,保證了生產(chǎn)線的連續(xù)性和穩(wěn)定性。 如剛性...
區(qū)熔法分為兩種:水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長(zhǎng);后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長(zhǎng)的不同捏?這是由于硅的熔點(diǎn)高,化學(xué)性能活潑,容易受到異物的玷污,所以難以找到適合的器皿來(lái)盛方,自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長(zhǎng)上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于:區(qū)熔法一般不使用坩鍋,引入的雜質(zhì)更少,生長(zhǎng)的材料雜質(zhì)含量也就更少。總而言之,單晶硅棒是圓柱形的,使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個(gè)樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎?Bingo,圖左的尖尖是籽晶,圖右的尖尖是晶棒長(zhǎng)到***,從熔融態(tài)里出來(lái)后,由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理,...
受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響,兩市**小幅低開(kāi),低開(kāi)后的市場(chǎng)在抄底盤(pán)和北上資金的推動(dòng)下震蕩走高,早間收盤(pán)全線收漲,午后在科技板塊的帶動(dòng)下市場(chǎng)繼續(xù)震蕩走高,**終兩市**以中陽(yáng)報(bào)收。 昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費(fèi)和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢(shì),果不其然***出現(xiàn)了此消彼長(zhǎng)的情形。 盤(pán)面上看,市場(chǎng)***科技股再度走強(qiáng),以大基金持有的科技股繼續(xù)**著相關(guān)題材概念和板塊進(jìn)行做多,北上資金***依舊大幅凈流入,市場(chǎng)短期做多的因素和動(dòng)能正在疊加。 盤(pán)后出了條消息,“中方不會(huì)坐視不理美科技霸凌主義”,先機(jī)哥由此猜測(cè)市場(chǎng)短期的反彈將還是延著科技股...
近年來(lái)全球硅晶圓供給不足,導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備,期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴,并有足夠的能力滿足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。一,晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)(碳氧結(jié)合,得硅),提純得純度約為98%的純硅,又稱冶金級(jí)硅,這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)依然不夠純,因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿?..
可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP(210mm臂長(zhǎng)) 或者3個(gè)FOUP(280mm臂長(zhǎng))雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化 能夠高速,高精度...
場(chǎng)景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán),場(chǎng)景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來(lái)的期望空間越大,而如果一款技術(shù)誕生沒(méi)有實(shí)際的應(yīng)用場(chǎng)景,即無(wú)法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,這對(duì)它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。 機(jī)械手臂的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些呢?它的應(yīng)用特點(diǎn)十分明顯,主要代替人工從事場(chǎng)景危險(xiǎn)的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動(dòng)作。如果工作場(chǎng)景符合上述兩個(gè)特點(diǎn),機(jī)械手臂都可以得到應(yīng)用。 機(jī)械手臂應(yīng)用場(chǎng)景多在制造業(yè),有重工業(yè)屬性,如金屬加工、拋光打磨、裝配、機(jī)床上下料、碼垛/搬運(yùn)、橡膠/塑料、分揀等。 機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)速度一般是根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)節(jié)拍要求來(lái)決定的,但不宜盲目追求高速度。東莞官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪個(gè)牌子好 ...
半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此,機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此,安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤(rùn)滑劑的劣化。因此,與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關(guān)節(jié)的軸承相比,配置在前臂連桿和手部之間的關(guān)節(jié)的軸承的維護(hù)頻率較高。 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸...
近年來(lái)全球硅晶圓供給不足,導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備,期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴,并有足夠的能力滿足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。一,晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)(碳氧結(jié)合,得硅),提純得純度約為98%的純硅,又稱冶金級(jí)硅,這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)依然不夠純,因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿?..
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.9%。 晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜 機(jī)械手臂是機(jī)械人技術(shù)領(lǐng)域中得到*****實(shí)際應(yīng)用的自動(dòng)化機(jī)械裝置.韶關(guān)新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂市場(chǎng)價(jià)一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手,其特征在于...
2.噴涂機(jī)械臂 這種機(jī)械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上,重復(fù)位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,一般采用液壓驅(qū)動(dòng)或交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。3.焊接機(jī)械臂 這是目前使用**多的一類機(jī)械臂,它又可分為點(diǎn)焊和弧焊兩類。點(diǎn)焊機(jī)械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機(jī)械人時(shí),許多人會(huì)想到有手,有腳的人型機(jī)械.不過(guò), 這類機(jī)械人往往出現(xiàn)在科幻電影,***所,展覽會(huì)和玩具店中,它們與工業(yè)用的機(jī)械人大不相同. 工業(yè)機(jī)械人(Industrial Robots)簡(jiǎn)稱為IR,它們大多為簡(jiǎn)單的操作設(shè)備,有時(shí)會(huì)被稱為機(jī)械臂,例如:進(jìn)行簡(jiǎn)單的提起或放下動(dòng)作,在機(jī)器內(nèi)放入或取出工件等.不過(guò),亦有不少工業(yè)機(jī)械人可以完全用程式控制,并可進(jìn)行不同類型工作,吸臂具...
中國(guó)擁有龐大的制造業(yè),是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng),有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國(guó)在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場(chǎng)占有份額偏低?,F(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù),很多都是跟著國(guó)家提出的中國(guó)未來(lái)制造的政策與支持來(lái)進(jìn)行獲利的。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進(jìn)口。所以,中國(guó)的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國(guó)外,占有的只是低端市場(chǎng)的份額。不過(guò),在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域,中國(guó)的技術(shù)也不遜色于美國(guó)。所以說(shuō)只要經(jīng)過(guò)技術(shù)的積累,中國(guó)的機(jī)械臂技術(shù)也會(huì)不比國(guó)外的差多少。 加設(shè)定位裝置和行程檢測(cè)機(jī)構(gòu)。晶圓運(yùn)送機(jī)...
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。 為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決:一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,其特征為,所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座,所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),所述的二級(jí)伸展臂...
9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制。是一種語(yǔ)言控制器,可反映人在進(jìn)行控制活動(dòng)時(shí)的思維特點(diǎn)。其主要特點(diǎn)之一是控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)并不需要通常意義上的被控對(duì)象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗(yàn)知識(shí),操作數(shù)據(jù)等。[3]研究意義與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法己不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求.柔性機(jī)械臂作為**簡(jiǎn)單的非平...
機(jī)械臂的工作原理: 一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)(如臺(tái)虎鉗)、斜鍥壓緊、 導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)(破碎機(jī)常用)、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)(如抓磚頭的)等等。還有簡(jiǎn)單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的。如果是小物品,可直接購(gòu)買(mǎi)FESTO等公司的氣動(dòng)手指。 底座是用來(lái)安裝和固定機(jī)器的。 油箱是裝潤(rùn)滑油或液壓油循環(huán)的。 升降位置檢測(cè)器,要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個(gè)預(yù)定高度位置,要么是實(shí)時(shí)檢測(cè)其高度的。 手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。 手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器,只...
使用匯編語(yǔ)言編寫(xiě)計(jì)算機(jī)程序,程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu),所以從程序設(shè)計(jì)本身上來(lái)看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語(yǔ)言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切,在某些特定的場(chǎng)合,如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等,迄今為止匯編語(yǔ)言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒(méi)有統(tǒng)一的分類標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類。一、按驅(qū)動(dòng)方式分1.液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)(各種油缸、油馬達(dá))、伺服閥、油泵、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。通常它具有很大的抓舉能力(高達(dá)幾百公斤以上),其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊,動(dòng) 作平穩(wěn),耐沖擊,耐振動(dòng),防爆性好,但液壓...
確定性主要分為兩種主要類型:結(jié)構(gòu)(structured)不確定性和非結(jié)構(gòu)(unstructured)不確定性,非結(jié)構(gòu)不確定性主要是由于測(cè)量噪聲、外界干擾及計(jì)算中的采樣時(shí)滯和舍入誤差等非被控對(duì)象自身因素所引起的不確定性。結(jié)構(gòu)不確定性和建模模型本身有關(guān),可分為系統(tǒng)模型①參數(shù)不確定性如負(fù)載質(zhì)量、連桿質(zhì)量、長(zhǎng)度及連桿質(zhì)心等參數(shù)未知或部分已知。②未建模動(dòng)態(tài)高頻未建模動(dòng)態(tài),如執(zhí)行器動(dòng)態(tài)或結(jié)構(gòu)振動(dòng)等;低頻未建模動(dòng)態(tài),如動(dòng)/靜摩擦力等。模型不確定性給機(jī)械臂軌跡**的實(shí)現(xiàn)帶來(lái)影響,同時(shí)部分控制算法受限于一定的不確定性。應(yīng)用于機(jī)械臂控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法主要包括PID控制、自適應(yīng)控制和魯棒控制等,然而由于...
使用匯編語(yǔ)言編寫(xiě)計(jì)算機(jī)程序,程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu),所以從程序設(shè)計(jì)本身上來(lái)看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語(yǔ)言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切,在某些特定的場(chǎng)合,如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等,迄今為止匯編語(yǔ)言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒(méi)有統(tǒng)一的分類標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類。一、按驅(qū)動(dòng)方式分1.液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)(各種油缸、油馬達(dá))、伺服閥、油泵、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。通常它具有很大的抓舉能力(高達(dá)幾百公斤以上),其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊,動(dòng) 作平穩(wěn),耐沖擊,耐振動(dòng),防爆性好,但液壓...
機(jī)械臂的工作原理: 一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)(如臺(tái)虎鉗)、斜鍥壓緊、 導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)(破碎機(jī)常用)、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)(如抓磚頭的)等等。還有簡(jiǎn)單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的。如果是小物品,可直接購(gòu)買(mǎi)FESTO等公司的氣動(dòng)手指。 底座是用來(lái)安裝和固定機(jī)器的。 油箱是裝潤(rùn)滑油或液壓油循環(huán)的。 升降位置檢測(cè)器,要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個(gè)預(yù)定高度位置,要么是實(shí)時(shí)檢測(cè)其高度的。 手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。 手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器,只...
出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機(jī)械臂的構(gòu)造模塊。TO-DOM由兩個(gè)旋轉(zhuǎn)模塊及一個(gè)連接模塊共三個(gè)基本模塊組成。根據(jù)空間機(jī)械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個(gè)基本模塊之間的機(jī)械接口進(jìn)行專門(mén)設(shè)計(jì),即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)。由這樣數(shù)個(gè)不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個(gè)自由度的空間機(jī)器臂。采用一體化概念設(shè)計(jì)的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過(guò)對(duì)由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進(jìn)行的試驗(yàn)初步驗(yàn)證了TODOM設(shè)計(jì)概念的合理性及可行性。運(yùn)動(dòng)元件。如油缸、氣缸、齒條、凸輪等是驅(qū)動(dòng)手臂運(yùn)動(dòng)的部件。韶關(guān)原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣 ...
環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實(shí),除了晶圓的生長(zhǎng)方法決定的“晶圓”是圓形的這個(gè)原因之外,還有以下3條其他的決定因素:2??有人計(jì)算過(guò),比較直徑為L(zhǎng)毫米的圓和邊長(zhǎng)為L(zhǎng)毫米的正方形,考慮晶圓制造過(guò)程中邊緣5到8毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪費(fèi)的使用面積比率是比圓型高的。所以,圓形是等周長(zhǎng)時(shí)表面積做大的二維圖形,加工時(shí)能夠充分利用原料,在一片晶圓上能分出**多的芯片。3??在實(shí)際的加工制成當(dāng)中,圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作。圓型具有任意軸對(duì)稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求,可以想象一下,在圓型晶圓表面可以通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂布法(spincoating,事實(shí)上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得...
隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展,應(yīng)用高速度、高精度、高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運(yùn)動(dòng)過(guò)程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加,使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低。所以,機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性。柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)力學(xué)系統(tǒng),其動(dòng)力學(xué)方程具有非線性、強(qiáng)耦合、實(shí)變等特點(diǎn)。而進(jìn)行柔性臂動(dòng)力學(xué)問(wèn)題的研究,其模型的建立是極其重要的。柔性機(jī)械臂不僅是一個(gè)剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),而且也是系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機(jī)電耦合的非線性系統(tǒng)。動(dòng)力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計(jì)提供依據(jù)。一般控制系統(tǒng)的描述(包...
電動(dòng)式 電力驅(qū)動(dòng)是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動(dòng)方式。其特點(diǎn)是電源方便,響應(yīng)快,驅(qū)動(dòng)力較大(關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤),信號(hào)檢測(cè)、傳遞、處理方便,并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動(dòng)電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī),直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)(其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動(dòng)形式)。由于電機(jī)速度高,通常采用減速機(jī)構(gòu)(如諧波傳動(dòng)、RV擺線針輪傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng)、螺旋行動(dòng)和多桿式機(jī)構(gòu)等)。目前,有些機(jī)械臂已開(kāi)始采用無(wú)減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)(DD),這既可以使機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化,又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣,一般只需點(diǎn)位控制。即被搬運(yùn)零件無(wú)嚴(yán)格的運(yùn)動(dòng)軌跡要求,只要求始點(diǎn)...
近年來(lái)全球硅晶圓供給不足,導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備,期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴,并有足夠的能力滿足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。一,晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)(碳氧結(jié)合,得硅),提純得純度約為98%的純硅,又稱冶金級(jí)硅,這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)依然不夠純,因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿?..
隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展,我們?cè)絹?lái)越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè),那么我們來(lái)說(shuō)說(shuō)工業(yè)機(jī)器人如六軸機(jī)器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機(jī)器人是一種用于自然科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器,六軸機(jī)器人的六個(gè)軸,每個(gè)軸都是一個(gè)電機(jī)配備減速機(jī)來(lái)傳動(dòng),各個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)方式和方向都不同,每個(gè)軸其實(shí)是模擬人手的各個(gè)關(guān)節(jié)的動(dòng)作。 一軸:一軸是連接底座的部位,主要是承載上面軸的重量與底座的左右旋轉(zhuǎn),一個(gè)左右旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作就是使用電機(jī)與減速機(jī)傳動(dòng)的結(jié)果,每個(gè)軸都是代替一個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)方式。 二軸:控制機(jī)器人主臂的前后擺動(dòng)、整個(gè)主臂上下運(yùn)動(dòng)的功能。 三軸:三軸同樣是控制機(jī)器人前后擺動(dòng)功能,只是比第二軸...
9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制。是一種語(yǔ)言控制器,可反映人在進(jìn)行控制活動(dòng)時(shí)的思維特點(diǎn)。其主要特點(diǎn)之一是控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)并不需要通常意義上的被控對(duì)象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗(yàn)知識(shí),操作數(shù)據(jù)等。[3]研究意義與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法己不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求.柔性機(jī)械臂作為**簡(jiǎn)單的非平...
注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手、塑料機(jī)機(jī)械手,它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動(dòng)剪水口、模內(nèi)鑲件、模內(nèi)貼標(biāo)、模外組裝、整形、分類、堆疊、產(chǎn)品包裝、模具優(yōu)化等等。且可以對(duì)其進(jìn)行自動(dòng)控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備。注塑行業(yè)機(jī)械臂是為注塑生產(chǎn)自動(dòng)化專門(mén)配備的機(jī)械,它可以在減輕繁重的體力勞動(dòng)、改善勞動(dòng)條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機(jī)的生產(chǎn)效率、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量、降低廢品率、降低生產(chǎn)成本、增強(qiáng)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力等方面起到及其重要的作用。 有X移動(dòng),Y移動(dòng),Z移動(dòng),X轉(zhuǎn)動(dòng),Y轉(zhuǎn)動(dòng),Z轉(zhuǎn)動(dòng)六個(gè)自由度組成。廣東庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格 機(jī)械臂的工作原理: 一般機(jī)構(gòu)...
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。 為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決:一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,其特征為,所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座,所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),所述的二級(jí)伸展臂...
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.9%。 晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜 簡(jiǎn)單的搬運(yùn)與碼垛,根本無(wú)法稱之為智能制造。深圳本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此,機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半...
機(jī)械臂是指高精度,多輸入多輸出、高度非線性、強(qiáng)耦合的復(fù)雜系統(tǒng)。因其獨(dú)特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。機(jī)械臂是一個(gè)復(fù)雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動(dòng)、外界干擾及未建模動(dòng)態(tài)等不確定性。因而機(jī)械臂的建模模型也存在著不確定性,對(duì)于不同的任務(wù), 需要規(guī)劃?rùn)C(jī)械臂關(guān)節(jié)空間的運(yùn)動(dòng)軌跡,從而級(jí)聯(lián)構(gòu)成末端位姿 [1] 。機(jī)器人系統(tǒng)是由視覺(jué)傳感器、機(jī)械臂系統(tǒng)及主控計(jì)算機(jī)組成,其中機(jī)械臂系統(tǒng)又包括模塊化機(jī)械臂和靈巧手兩部分。整個(gè)系統(tǒng)的構(gòu)建模型如圖1 所示.手臂一般有3個(gè)運(yùn)動(dòng):伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降.韶關(guān)新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂 確定性主要分為兩種主要類型:結(jié)構(gòu)(structured)不確定性和...