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15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙...

從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低?，F(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數(shù)標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動。江蘇壓縮空氣檢測潔凈室檢測服務(wù)7.4.2風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈...

10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量；2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。江蘇潔凈工作臺潔凈室檢測標準4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、...

6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設(shè)施安裝和維修的要求。6.1.6設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房，技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室（區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來不利影響。以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。安徽國內(nèi)潔凈室檢測方法潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔...

（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內(nèi)空氣會很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。江蘇排...

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環(huán)境等型式。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa。北京潔凈工作臺潔凈室檢測報告6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且...

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計算機的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求?？諝膺^濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。上海無塵室3Q驗證潔凈室檢測周期12.4.1潔凈廠房的自動控制...

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計是保證使用點水質(zhì)的關(guān)鍵。實踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。非單向流潔...

1管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采...

（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內(nèi)空氣會很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等...

D.3.7噪聲檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m,距墻應(yīng)大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測點。D.3.8照度測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū)）內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進行。潔凈室（區(qū))照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25m2設(shè)一個測點。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進...

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設(shè)置外窗時，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺；4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。潔凈室可以是單向流和非單向流組...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設(shè)施安裝...

5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴密結(jié)合，使?jié)崈羰倚纬梢粋€完整的匣體。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內(nèi)，同時使?jié)崈羰以谡９ぷ鲿r易于保持正壓，減少能量的損耗。此外，潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要***密封。目前國內(nèi)使用的密封方法很多，如液槽密封、機械壓墊密封等，但必須做到涂抹或填嵌方便，操作簡單，而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝?？傊?，沒有經(jīng)過高效...

從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低?，F(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數(shù)標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。電子廠房環(huán)境潔凈室檢測規(guī)范性強6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度...

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。浙江潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測技術(shù)好從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境...

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動。北京潔凈工作臺潔凈室檢測標準C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾...

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環(huán)境等型式。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。江蘇過濾器潔凈室檢測規(guī)范性強10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品...

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層...

7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū))冷負荷、風(fēng)機過濾器機組所提供的機外余壓確定；3冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室（區(qū))內(nèi)空氣的**溫度；4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1%；2整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；3布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室（區(qū))服務(wù)時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組；送風(fēng)機宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進行...

9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動時為使風(fēng)機空載啟動，首先將風(fēng)機出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機啟動后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時，電加熱器繼續(xù)送電加熱會造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi)，本條強制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電等保護裝置。斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，...

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設(shè)置外窗時，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺；4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10...

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當設(shè)有危險化學(xué)品儲存和分配室時，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。嚴寒及寒...

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計算機的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。生物安全柜潔凈室檢測誠信推薦D.3.2靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜...

（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內(nèi)空氣會很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機宜采取變頻措施。氣流潔凈室檢測...

7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統(tǒng)要求較為嚴格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴格，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等），以便重點保證要求嚴格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運轉(zhuǎn)費用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè)，如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快，生產(chǎn)工藝變化多。因此，在管道設(shè)計中應(yīng)留有充分的余量。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。上海過濾器潔凈室檢測目的9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體...

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。應(yīng)...

D.3.7噪聲檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m,距墻應(yīng)大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測點。D.3.8照度測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū)）內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進行。潔凈室（區(qū))照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25m2設(shè)一個測點。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整...

D.3.10自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數(shù)器進行檢測，同時應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開機...

5.5.2當設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運送。負壓潔凈室聯(lián)鎖程...