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真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.1...
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點。主要特點耐高溫:陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能:良好的電絕...
真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的...
由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據(jù)不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據(jù)真空度的不同,又...
應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測真空泵和真空腔室的壓力。實驗室研究:用于各種真空實驗。真空鍍膜:確保鍍膜過程在所需真空度下進行。食品包裝:用于真空包裝機的壓力監(jiān)測。選型與使用量程選擇:根據(jù)測量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護:...
真空測量的特點 測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術(shù),反應(yīng)迅速,靈敏度高,可實現(xiàn)自動化。4大部分真空計的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測量時要特別注意...
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通...
6. 麥克勞真空計麥克勞真空計,通過壓縮氣體測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。原理:利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點:精度高,無需校準(zhǔn)。缺點:操作復(fù)雜,響應(yīng)慢。應(yīng)用:實驗室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜...
(1)利用氣體熱學(xué)特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態(tài)或動力學(xué)效應(yīng)來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來測量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時,熱絲的熱傳導(dǎo)性能會受到影響,進而導(dǎo)致電...
1. 機械式真空計機械式真空計通過物理形變或液柱高度差來測量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測量壓力。測量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、成本低。缺點:精度較低,不適用于...
真空計的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進步:隨著半導(dǎo)體和微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進步,真空計的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動了新一代高性能真空計的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計越來越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r監(jiān)測、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率...
MEMS電容真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類無關(guān)。相對真空計:如熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計等,它們由一些...
真空計后續(xù)維護定期檢查:定期對真空計進行檢查和維護,確保其處于良好的工作狀態(tài)。清潔保養(yǎng):定期清潔真空計的接口和氣管,保持其清潔干燥。更換密封件:如果發(fā)現(xiàn)密封件老化或損壞,應(yīng)及時更換以確保接口的緊密性。校準(zhǔn)儀器:定期對真空計進行校準(zhǔn),以確保其測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。綜...
真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運動、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時,這種碰撞運動將氣體分子的動能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,例如:利用力...
真空計的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進步:隨著半導(dǎo)體和微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進步,真空計的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動了新一代高性能真空計的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計越來越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r監(jiān)測、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率...
MEMS電容真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
真空計的安裝步驟可能因型號和規(guī)格的不同而有所差異,但通常包括以下幾個基本步驟:檢查設(shè)備:在安裝前,需要檢查真空計及其相關(guān)配件是否完整、無損壞,并確保其符合使用要求。選擇安裝位置:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,因此應(yīng)適當(dāng)選擇真空計的安裝位置,以確保測量結(jié)果的準(zhǔn)...
MEMS電容真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測真空泵和真空腔室的壓力。實驗室研究:用于各種真空實驗。真空鍍膜:確保鍍膜過程在所需真空度下進行。食品包裝:用于真空包裝機的壓力監(jiān)測。選型與使用量程選擇:根據(jù)測量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護:...
選擇適合的真空計對確保測量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運行至關(guān)重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選...
1. 機械式真空計機械式真空計通過物理形變或液柱高度差來測量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測量壓力。測量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、成本低。缺點:精度較低,不適用于...
真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運動、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時,這種碰撞運動將氣體分子的動能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,例如:利用力...
皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補償原理,通過測量一個發(fā)熱體與一個接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。具體來說,當(dāng)加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時,其溫度會升高。對于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真...
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導(dǎo)原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導(dǎo)變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導(dǎo):金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子...
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、響應(yīng)快。缺點:成本較高。應(yīng)用...
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導(dǎo)原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導(dǎo)變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導(dǎo):金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子...
真空計的特點 7. 多種信號輸出模擬信號:如4-20mA、0-10V,便于與控制系統(tǒng)連接。數(shù)字信號:如RS485、Modbus,支持?jǐn)?shù)字化管理和遠程監(jiān)控。8. 可靠性與穩(wěn)定性長期穩(wěn)定:高質(zhì)量真空計具有長期穩(wěn)定性,減少校準(zhǔn)頻率??垢蓴_:在復(fù)雜環(huán)境中,真...
1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設(shè)計使得其易于維護和校準(zhǔn)。例如,有些真空計的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時能夠方...
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號轉(zhuǎn)換:形變通過壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號。信...