氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展，汽車空調(diào)行業(yè)對(duì)氦檢的需求越來(lái)越大，對(duì)氦檢的性能指標(biāo)要求越來(lái)越高。氦檢儀在汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機(jī)檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點(diǎn)的同時(shí)，更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨(dú)有特點(diǎn)。對(duì)被檢工件抽空后充入一定壓強(qiáng)的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏，則漏入真空箱的氦氣可通過(guò)氦檢儀測(cè)出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置，在檢漏前后分別實(shí)現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對(duì)汽輪機(jī)內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏，還有冷凝罐的檢漏，由于每一個(gè)環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會(huì)增加生產(chǎn)成本，所以電廠檢漏在實(shí)際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好氦檢儀自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。

氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器，其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過(guò)電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)：（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。

氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測(cè)是否有氦氣漏出?？筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小。可檢測(cè)工件的整體漏點(diǎn)。檢測(cè)精度較高。適用行業(yè)：電子元器件，電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點(diǎn)：檢測(cè)靈敏度高；可以進(jìn)行批量化檢測(cè)；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好，再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣，氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部，無(wú)漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設(shè)定值后自動(dòng)將夾具連至儀器的測(cè)量系統(tǒng)。這時(shí)壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來(lái)被檢測(cè)，其漏率在漏率表上顯示出來(lái)。一般壓氦法檢漏時(shí)采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件，這一批的總漏率沒(méi)超過(guò)報(bào)廢預(yù)定值，說(shuō)明這一批合格；總漏率超過(guò)報(bào)廢預(yù)定值可以取出一半，剩下的一半繼續(xù)檢漏，這一半合格說(shuō)明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對(duì)性的采取措施。

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開(kāi)抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開(kāi)入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái)，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開(kāi)，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。溫州氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)商家

氦檢儀檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng)：1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí)，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開(kāi)。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過(guò)程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識(shí)。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時(shí)，按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開(kāi)。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí)，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家