氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測氣體電離，再利用電磁場將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分，分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離，氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達收集極，產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號，該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。杭州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常維護：1.定期檢查機械泵的油位，如不足足應(yīng)及時添加；如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道，這意味著油已經(jīng)惡化了。此時，應(yīng)釋放泵中的油，必要時，先用新油沖洗，然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴，可以從氦質(zhì)譜泄漏檢測器中取出，然后清洗，然后用熱風(fēng)吹干或自然晾干。使用氦質(zhì)譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），正壓法，氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀單位氦檢儀的型號較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會上升，氦氦檢儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來，先排除罩內(nèi)空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接，當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時，說明有泄漏。這個漏率稱為總漏率?？偮┞蕿楦鱾€分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值，則各個分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值；總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個點的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。然后再對超過標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進行修補，直至達到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。

氦檢儀是什么？氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個是本底噪聲。

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。氦檢儀的實際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。寧波移動式氦質(zhì)譜檢漏儀價格

氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進行檢漏。杭州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。杭州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制