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潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。遼寧消毒液凈化車間環(huán)境檢測方便客戶
a.首先應(yīng)對測試儀器、培養(yǎng)皿表面進行嚴格消毒,采樣器進入被測房間時,先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應(yīng)穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時間不少于5min,并調(diào)好流量轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。關(guān)閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點后依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動定時器、根據(jù)采樣量選定采樣時間。全部采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中,培養(yǎng)時間不少于48h。e.用肉眼直接計數(shù),然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏,若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊分辨時,仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。河北實驗室環(huán)境檢測值得推薦潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風(fēng)口。
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對擴散元件透過率的計算,該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器(CNC)的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時,經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。
B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量??諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進行??諝鈽颖局械乃辛W泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測定粒子的空氣動力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。
對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點,打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對照試驗檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計數(shù)用肉眼直接計數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數(shù)。潔凈室環(huán)境檢測依據(jù)行業(yè)標準及國家標準。福建口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測技術(shù)好
潔凈室檢測前,需對檢測設(shè)備進行校準,確保數(shù)據(jù)準確性。遼寧消毒液凈化車間環(huán)境檢測方便客戶
潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類(1)空態(tài)設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及生產(chǎn)人員。(2)靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠轉(zhuǎn),但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。(3)動態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。2、潔凈室與一般通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調(diào)是空調(diào)工程中的一種,它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求,而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風(fēng)工程的設(shè)計施工有特殊要求對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設(shè)計、施工均有特殊的要求與相應(yīng)的技術(shù)措施其造價也相應(yīng)提高。遼寧消毒液凈化車間環(huán)境檢測方便客戶