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潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。實(shí)時監(jiān)測系統(tǒng)能夠持續(xù)監(jiān)控潔凈室環(huán)境,及時發(fā)現(xiàn)異常情況。上海消毒液凈化車間環(huán)境檢測值得推薦
B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個測點(diǎn)。每只過濾器或每臺風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點(diǎn)??墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個測點(diǎn)。每只過濾器或每臺風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點(diǎn)。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。湖北實(shí)驗(yàn)室檢測服務(wù)至上安裝驗(yàn)證和操作驗(yàn)證完成并進(jìn)行確認(rèn)工作后即進(jìn)行性能驗(yàn)證。
4、懸浮粒子-微粒計(jì)數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點(diǎn),并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點(diǎn),將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點(diǎn),而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。
6.2.1潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量,根據(jù)潔凈室特點(diǎn),宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機(jī),再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng),并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。微生物檢測也是潔凈室檢測中不可或缺的一環(huán)。
潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)是指對潔凈室進(jìn)行檢測和評估時所遵循的一系列標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范。以下是一些常見的潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn):ISO14644系列標(biāo)準(zhǔn):這是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)制定的一系列標(biāo)準(zhǔn),用于評估潔凈室的空氣潔凈度。其中ISO14644-1是**常用的標(biāo)準(zhǔn),定義了潔凈室中空氣中顆粒物的數(shù)量限制。GMP(GoodManufacturingPractice):這是一種制藥行業(yè)常用的質(zhì)量管理體系,包括對潔凈室的設(shè)計(jì)、操作和維護(hù)等方面的要求。USP(UnitedStatesPharmacopeia):這是美國藥典,其中包含了對潔凈室的要求和測試方法。EUGMP(EuropeanUnionGoodManufacturingPractice):這是歐盟制藥行業(yè)的質(zhì)量管理體系,對潔凈室的要求和測試方法與GMP類似。FDA(FoodandDrugAdministration):這是美國食品藥品監(jiān)督管理局,對潔凈室的要求和測試方法進(jìn)行監(jiān)管。IEST(InstituteofEnvironmentalSciencesandTechnology):這是一個專門研究潔凈技術(shù)的組織,制定了一些潔凈室測試和評估的標(biāo)準(zhǔn)。以上是一些常見的潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn),具體的標(biāo)準(zhǔn)要根據(jù)潔凈室的應(yīng)用領(lǐng)域和要求來確定。主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。上海消毒液凈化車間環(huán)境檢測值得推薦
定期對潔凈室管理人員進(jìn)行培訓(xùn)和考核,提升其專業(yè)素養(yǎng)。上海消毒液凈化車間環(huán)境檢測值得推薦
14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時,應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置,宜集的的中布置發(fā)聲設(shè)備。14.2.2潔凈室(區(qū))內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備,應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸等因素,采取降低聲源噪聲的隔聲設(shè)施。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能。14.2.3凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動力設(shè)備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源,應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施。空調(diào)機(jī)房、動力站房宜采取下列措施。上海消毒液凈化車間環(huán)境檢測值得推薦