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1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備,以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí),宜設(shè)有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口,物料傳遞路線應(yīng)極短,物料進(jìn)人潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。定期進(jìn)行潔凈室維護(hù),保持設(shè)備良好運(yùn)行狀態(tài),延長使用壽命。山東排風(fēng)柜檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格
潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。江西潔凈工作臺(tái)檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)潔凈室檢測(cè)不僅是合規(guī)要求,更是保障產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。
1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測(cè)試(俗稱高效過濾器檢漏)。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計(jì)測(cè)定上下游粒子的濃度,得出泄漏率的大小。3.儀器設(shè)備氣溶膠發(fā)生器氣溶膠光度計(jì)供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價(jià)格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數(shù)量進(jìn)行收費(fèi),過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器,一般檢測(cè)時(shí)采用冷發(fā)收費(fèi)較貴而采用熱發(fā)收費(fèi)較為優(yōu)惠,具體報(bào)價(jià)請(qǐng)聯(lián)系旦霆科技銷售顧問。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規(guī)定每1年進(jìn)行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測(cè)試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預(yù)檢查①對(duì)于非層流區(qū)域-關(guān)閉HVAC的風(fēng)機(jī)。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發(fā)生器放置于機(jī)組的負(fù)壓段。②對(duì)于層流單元-發(fā)煙位置靠近回風(fēng)口,風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或?qū)iT的氣溶膠發(fā)煙口。-找到高效過濾器前的測(cè)試軟管或測(cè)試孔,如果沒有測(cè)試孔,可在空調(diào)機(jī)組的壓力表處測(cè)試上游濃度。-將光度計(jì)內(nèi)部參數(shù)調(diào)節(jié)至100。高效過濾器完整性測(cè)試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框。-對(duì)球型結(jié)構(gòu),直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計(jì)下游通道相連。高效過濾器完整性測(cè)試(高效檢漏)測(cè)試程序-接通電源,溫度升至400??C。
抽樣高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別,就可以不進(jìn)行檢漏。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對(duì)于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍,對(duì)于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對(duì)于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。潔凈室檢測(cè)應(yīng)建立檔案,記錄每次檢測(cè)的情況和結(jié)果。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響定期進(jìn)行光照度檢測(cè),確保工作區(qū)域光線充足且均勻。浙江檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格
通過定期檢測(cè),可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。山東排風(fēng)柜檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得山東排風(fēng)柜檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格