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B.4.3.2送風(fēng)口處測(cè)量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動(dòng)和氣流噴射的影響,建議采用風(fēng)罩測(cè)量末端過(guò)濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量??墒褂门溆辛髁坑?jì)的風(fēng)量罩直接測(cè)量,也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開(kāi)口應(yīng)完全罩住過(guò)濾器或散流器;為了避免旁通漏風(fēng)造成的讀數(shù)不準(zhǔn),風(fēng)罩的上沿應(yīng)密封靠緊平坦的表面。若采用帶流量計(jì)的風(fēng)量罩,則可在風(fēng)罩的出風(fēng)端口直接測(cè)量各個(gè)末端過(guò)濾器或送風(fēng)散流器的風(fēng)量。。。。。。。使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器可以精確測(cè)量空氣中的微粒濃度。山東生物安全柜檢測(cè)方便客戶
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過(guò)程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來(lái)沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得安徽國(guó)內(nèi)檢測(cè)方便客戶工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。
15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行,應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí),應(yīng)符合下列規(guī)定:1總平面布置時(shí),應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響;2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì);3對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道,應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施;4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器,經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí),應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。
1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備,以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí),宜設(shè)有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口,物料傳遞路線應(yīng)極短,物料進(jìn)人潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。潔凈室環(huán)境檢測(cè)依據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。
每臺(tái)風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點(diǎn)平均風(fēng)速范圍:m/s±20%額定風(fēng)量測(cè)定用風(fēng)量罩測(cè)試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開(kāi)口應(yīng)完全罩住過(guò)濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風(fēng)口,風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過(guò)濾器之間沒(méi)有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計(jì)設(shè)置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個(gè)過(guò)濾器和安裝所有邊框和接點(diǎn)。采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件:a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個(gè)濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f)采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過(guò)濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn)泄露率≤6.高效過(guò)濾器完整性檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)(高效過(guò)濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn))ISO14644-3。潔凈室檢測(cè)前,應(yīng)對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行充分清潔和消毒。北京潔凈工作臺(tái)檢測(cè)方便客戶
遵循GMP、ISO等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行潔凈室檢測(cè),提升產(chǎn)品質(zhì)量信譽(yù)。山東生物安全柜檢測(cè)方便客戶
潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。山東生物安全柜檢測(cè)方便客戶