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潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。河北實驗室環(huán)境檢測方便客戶
潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類(1)空態(tài)設施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產(chǎn)設備、材料及生產(chǎn)人員。(2)靜態(tài)已全部建成的設施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設備并按業(yè)主供應商商定的方式試遠轉(zhuǎn),但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。(3)動態(tài)設施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。2、潔凈室與一般通風空調(diào)系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調(diào)是空調(diào)工程中的一種,它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風速有一定要求,而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風工程的設計施工有特殊要求對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設計、施工均有特殊的要求與相應的技術措施其造價也相應提高。上海實驗室檢測值得推薦溫濕度波動范圍的控制對于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關重要。
5.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小、污染物濃度符合現(xiàn)行國家有關標準規(guī)定限值的材料。潔凈室裝飾材料及密封材料不得采用釋放對室內(nèi)各種產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應符合下列規(guī)定:1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光,便于除塵,并應減少凹凸面。2踢腳不應突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當必須采用時宜采用干燥作業(yè),抹灰應采用符合現(xiàn)行國家標準《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50210中高級抹灰的要求。墻面抹灰后應刷涂料面層,并應選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗,表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關閉情況下進行。(2)在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關閉所有的門。(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標準要求按照潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應小于10Pa。(3)對于空氣潔凈度等級嚴于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時,門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。(4)若達不到以上標準的要求,應重新調(diào)整新風量、排風量、至合格為止。亂流(非單流)潔凈室的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風口頂部送風。
對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預先確定的取樣點,打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應有對照試驗檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計數(shù)用肉眼直接計數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數(shù)。運行確認是要證明廠房、設施和設備的穩(wěn)定、可靠的運行并符合設計的標準。湖北生物安全柜檢測優(yōu)化價格
合格的第三方潔凈室檢測機構(gòu)普遍要求要有具體的潔凈相關檢測。河北實驗室環(huán)境檢測方便客戶
a.首先應對測試儀器、培養(yǎng)皿表面進行嚴格消毒,采樣器進入被測房間時,先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時間不少于5min,并調(diào)好流量轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。關閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點后依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動定時器、根據(jù)采樣量選定采樣時間。全部采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中,培養(yǎng)時間不少于48h。e.用肉眼直接計數(shù),然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏,若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊分辨時,仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。河北實驗室環(huán)境檢測方便客戶