B.4.3.2送風(fēng)口處測(cè)量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動(dòng)和氣流噴射的影響，建議采用風(fēng)罩測(cè)量末端過(guò)濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量?？墒褂门溆辛髁坑?jì)的風(fēng)量罩直接測(cè)量，也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開(kāi)口應(yīng)完全罩住過(guò)濾器或散流器；為了避免旁通漏風(fēng)造成的讀數(shù)不準(zhǔn)，風(fēng)罩的上沿應(yīng)密封靠緊平坦的表面。若采用帶流量計(jì)的風(fēng)量罩，則可在風(fēng)罩的出風(fēng)端口直接測(cè)量各個(gè)末端過(guò)濾器或送風(fēng)散流器的風(fēng)量。。。。。。。通過(guò)定期檢測(cè)，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問(wèn)題。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

空氣潔凈度：這是潔凈車間環(huán)境檢測(cè)的**指標(biāo)，通常通過(guò)檢測(cè)空氣中的塵埃粒子數(shù)來(lái)評(píng)估。不同潔凈等級(jí)的車間對(duì)塵埃粒子的限制不同，如潔凈度等級(jí)為100級(jí)的車間對(duì)大于等于5μm的塵粒有嚴(yán)格的計(jì)數(shù)要求。微生物指標(biāo)：包括浮游菌、沉降菌等微生物的數(shù)量。這些微生物可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和工作人員健康造成影響，因此需要進(jìn)行嚴(yán)格的控制和監(jiān)測(cè)。溫度與濕度：潔凈車間需要保持穩(wěn)定的溫度和濕度環(huán)境，以確保生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。通常，生產(chǎn)工藝對(duì)溫度和濕度無(wú)特殊要求時(shí)，潔凈室溫度應(yīng)為18~26℃，相對(duì)濕度應(yīng)為45~65%。江蘇電子廠房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，選用亂流流型。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響

D.3.2靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí)，應(yīng)從**里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1um(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處，并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。潔凈室環(huán)境檢測(cè)依據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

在單向流潔凈室中，潔凈氣流不是一股或幾股，而是充滿整個(gè)房間截面，所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的混合稀釋作用，而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排到室外，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。因此，前聯(lián)邦德國(guó)有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”，前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個(gè)空氣活塞，沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動(dòng)，使塵粒只能向前(向下)移動(dòng)而不能返回，在單流潔凈室和單流凈化設(shè)備中，逆向氣流可以沿著墻壁和兩個(gè)過(guò)濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會(huì)將污染從底部傳送到頂部，然后向下傳送，破壞上述“塞流”狀態(tài)，危害極大。對(duì)于有開(kāi)口與外界相連的局部?jī)艋O(shè)備，如潔凈工作臺(tái)，這種氣流會(huì)導(dǎo)致外部污染氣流。在設(shè)計(jì)中，必須減少濾框占用的無(wú)效面積，減少空間的壁面。盡可能靠近過(guò)濾器的有效風(fēng)截面。各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。湖北排風(fēng)柜檢測(cè)方便客戶

潔凈室檢測(cè)數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合，綜合分析。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

B.2.1.3粒徑限制器為獲得測(cè)量或驗(yàn)證U描述符所需的計(jì)數(shù)效率特性，可在計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器的采樣管上，安裝一個(gè)粒徑限制器。改動(dòng)后，計(jì)數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子，以準(zhǔn)確且可再現(xiàn)的方式降低透過(guò)率。粒徑限制器多種多樣，其大小和配置各異，只要它們具有所要求的透過(guò)率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴(kuò)散元件和虛擬撞擊器。透過(guò)率隨粒子的物理特性、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此，使用粒徑限制器時(shí)要小心，它們只能用于規(guī)定的流量，安裝時(shí)要防靜電累積。為了減少電荷累積，粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)