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潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。噪音水平檢測有助于評估潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境舒適度。福建電子廠房環(huán)境檢測方便客戶
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定:1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。2潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動隔振措施。3應(yīng)測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響,以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時,可按現(xiàn)行國家標準《隔振設(shè)計規(guī)范》GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。浙江潔凈室環(huán)境檢測技術(shù)好潔凈室(區(qū))溫度應(yīng)為18~26℃,相對濕度應(yīng)為45%~65%。
潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn),各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。
1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測試(俗稱高效過濾器檢漏)。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計測定上下游粒子的濃度,得出泄漏率的大小。3.儀器設(shè)備氣溶膠發(fā)生器氣溶膠光度計供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數(shù)量進行收費,過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器,一般檢測時采用冷發(fā)收費較貴而采用熱發(fā)收費較為優(yōu)惠,具體報價請聯(lián)系旦霆科技銷售顧問。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規(guī)定每1年進行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預(yù)檢查①對于非層流區(qū)域-關(guān)閉HVAC的風機。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發(fā)生器放置于機組的負壓段。②對于層流單元-發(fā)煙位置靠近回風口,風機進風口或?qū)iT的氣溶膠發(fā)煙口。-找到高效過濾器前的測試軟管或測試孔,如果沒有測試孔,可在空調(diào)機組的壓力表處測試上游濃度。-將光度計內(nèi)部參數(shù)調(diào)節(jié)至100。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框。-對球型結(jié)構(gòu),直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計下游通道相連。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)測試程序-接通電源,溫度升至400??C。檢測過程中,應(yīng)確保所有設(shè)備處于正常工作狀態(tài)。
2、溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。***個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn),各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。3、壓差這項檢測的目的是驗證完工設(shè)施與周圍環(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項檢測適用于所有3種占用狀態(tài)。需要定期進行這項檢測。壓差的測試應(yīng)在所有的門都關(guān)閉的條件下,由高壓向低壓、由平面布置上與外界**遠的里間房間開始,依次向外測試;有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室(區(qū)),其洞口處宜有合理的氣流流向等等。由于排風量大造成新風量大,故新風處理所需冷量消耗大。上海排風柜檢測價格
潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的改進機會應(yīng)納入持續(xù)改進計劃中。福建電子廠房環(huán)境檢測方便客戶
B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量??諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進行??諝鈽颖局械乃辛W泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點的風速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測定粒子的空氣動力學直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。福建電子廠房環(huán)境檢測方便客戶