11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行24h以上；現(xiàn)場(chǎng)除正常照明外，應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進(jìn)人潔凈室安裝現(xiàn)場(chǎng)前，應(yīng)徹底清潔，并應(yīng)檢查有無(wú)脫屑、剝落的表面或不宜進(jìn)入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時(shí)應(yīng)妥善保護(hù)墻壁與地面，設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹，避免在地面拖磨。開(kāi)洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級(jí)別區(qū)域時(shí)，穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封，并應(yīng)裝飾處理。無(wú)塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無(wú)塵室與負(fù)壓無(wú)塵室。江蘇半導(dǎo)體凈化車(chē)間無(wú)塵室檢測(cè)報(bào)告

9.2.1純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿(mǎn)足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿(mǎn)足運(yùn)行靈活、安全可靠、便于操作管理、運(yùn)行費(fèi)用低等要求。9.2.2純水的制備、儲(chǔ)存和輸送設(shè)備,應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇,應(yīng)滿(mǎn)足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求;2純水儲(chǔ)罐、輸送設(shè)備的選型和制造材料的選擇,應(yīng)確保水質(zhì)污染少、密封性好,不得有滲氣現(xiàn)象;3純水制備、儲(chǔ)存、輸送設(shè)備應(yīng)有效地防止水質(zhì)降低。上海半導(dǎo)體凈化車(chē)間無(wú)塵室檢測(cè)流程指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外）的區(qū)域。

無(wú)塵車(chē)間工程主要包括無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)行管理前后相關(guān)的三個(gè)環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)是**。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護(hù)結(jié)構(gòu)(俗稱(chēng)“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括：實(shí)時(shí)檢測(cè)，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個(gè)環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)三個(gè)占有狀態(tài)；環(huán)境受控又融合了風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估、生產(chǎn)認(rèn)證的概念和程序；加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專(zhuān)業(yè)、跨學(xué)科的特點(diǎn)：使之無(wú)塵車(chē)間工程的難度和復(fù)雜性增加。因此對(duì)于無(wú)塵車(chē)間工程行業(yè)來(lái)說(shuō)，優(yōu)化設(shè)計(jì)、現(xiàn)場(chǎng)施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)的經(jīng)驗(yàn)積累，對(duì)客戶(hù)需求的理解和實(shí)現(xiàn)，以及對(duì)設(shè)計(jì)變更的準(zhǔn)備和響應(yīng)程度等都是衡量無(wú)塵車(chē)間施工團(tuán)隊(duì)能力的重要指標(biāo)。

4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動(dòng)報(bào)警按鈕和聲光報(bào)警裝置。12.3.5潔凈廠(chǎng)房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警及消防聯(lián)動(dòng)控制?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災(zāi)報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，當(dāng)確認(rèn)火災(zāi)后，在消防控制室應(yīng)對(duì)下列各項(xiàng)進(jìn)行手動(dòng)控制：1關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)和新風(fēng)機(jī)，并接收其反饋信號(hào)；2啟動(dòng)排煙風(fēng)機(jī)，并接收其反饋信號(hào)；3.在消防控制室或低壓配電室，手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。沿單一方向呈平行流線(xiàn)并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

12.4.2消防應(yīng)急照明燈(以下簡(jiǎn)稱(chēng)照明燈）的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)照明燈安裝在墻上時(shí)，照明燈光線(xiàn)不應(yīng)正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側(cè)面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應(yīng)密封。3疏散走道上安裝的照明燈應(yīng)均勻布置，并保證其地面平均照度不低于5lx。12.4.3蓄光型疏散指示標(biāo)志牌(以下簡(jiǎn)稱(chēng)標(biāo)志牌）的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1標(biāo)志牌安裝在疏散走道和主要疏散路線(xiàn)的地面或靠近地面的墻上時(shí)，其箭頭應(yīng)指向**近的疏散出口或安全出口。2標(biāo)志牌安裝在墻上時(shí)，其下邊緣距地面距離不應(yīng)大于1m；安裝在地面上時(shí)，應(yīng)采用粘貼、鑲嵌式工藝安裝，其安裝后應(yīng)平整、牢固。高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。上海口罩生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境無(wú)塵室檢測(cè)范圍

無(wú)塵室在各個(gè)行業(yè)中都有應(yīng)用，尤其是需要對(duì)空氣粒子進(jìn)行控制的環(huán)境和行業(yè)。江蘇半導(dǎo)體凈化車(chē)間無(wú)塵室檢測(cè)報(bào)告

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。3.1.1電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。江蘇半導(dǎo)體凈化車(chē)間無(wú)塵室檢測(cè)報(bào)告