17.3.4在系統(tǒng)和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉(zhuǎn)檢查,并應確認運轉(zhuǎn)正常。其中風機的試運行時間不少于2h,不得反轉(zhuǎn),其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態(tài)或靜態(tài)條件下的運行確認,應進行帶冷(熱)源的系統(tǒng)正常聯(lián)合試運轉(zhuǎn),并不應少于8h。系統(tǒng)中各項設備部件和自動控制環(huán)節(jié)聯(lián)動運轉(zhuǎn)應協(xié)調(diào),動作正確,無異?,F(xiàn)象。17.3.4在系統(tǒng)和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉(zhuǎn)檢查,并應確認運轉(zhuǎn)正常。其中風機的試運行時間不少于2h,不得反轉(zhuǎn),其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態(tài)或靜態(tài)條件下的運行確認,應進行帶冷(熱)源的系統(tǒng)正常聯(lián)合試運轉(zhuǎn),并不應少于8h。系統(tǒng)中各項設備部件和自動控制環(huán)節(jié)聯(lián)動運轉(zhuǎn)應協(xié)調(diào),動作正確,無異常現(xiàn)象。潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境無塵室檢測認真負責
5.5.6在回、排風口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備,在安裝前應用現(xiàn)場檢漏裝置對高效過濾器掃描檢漏,并應確認無漏后安裝?;?、排風口安裝后,對非零泄漏邊框密封結(jié)構,應再對其邊框掃描檢漏,并應確認無漏;當無法對邊框掃描檢漏時,必須進行生物學等專門評價。5.5.7當在回、排風口上安裝動態(tài)氣流密封排風裝置時,應將正壓接管與接嘴牢靠連接,壓差表應安裝于排風裝置近旁目測高度處。排風裝置中的高效過濾器應在裝置外進行掃描檢漏,并應確認無漏后再安入裝置。江蘇實驗室環(huán)境無塵室檢測分析無塵室的存在對于許多前沿科技的發(fā)展起著至關重要的作用。
E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關閉時進行,有排風時,應在比較大排風量條件下進行,并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差,直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境(或向室外開口的房間)之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室,還應測定在門開啟狀態(tài)下,離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關閉的開口與鄰室相通的潔凈室,還應測定開口處的流速和流向。E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關閉時進行,有排風時,應在比較大排風量條件下進行,并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差,直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境(或向室外開口的房間)之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室,還應測定在門開啟狀態(tài)下,離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關閉的開口與鄰室相通的潔凈室,還應測定開口處的流速和流向。
6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構和室內(nèi)裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》GB50222的有關規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50,材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應減少凹凸面,2當采用踢腳時,踢腳不宜突出墻面。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負壓無塵室。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間,并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本,超凈間之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高超凈間等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再***,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。潔凈室(區(qū))已處于正常生產(chǎn)狀態(tài),設備在指定的方式下進行,并且有人員按照規(guī)范操作。北京壓差無塵室檢測公司
無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境無塵室檢測認真負責
4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術夾層(不包括不通行的技術夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應設置火災自動報警及消防聯(lián)動控制??刂圃O備的控制及顯示功能應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50116的有關規(guī)定,潔凈室(區(qū))火災報警應進行核實,當確認火災后,在消防控制室應對下列各項進行手動控制:1關閉有關部位的電動防火閥,停止相應的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風機、排風機和新風機,并接收其反饋信號;2啟動排煙風機,并接收其反饋信號;3.在消防控制室或低壓配電室,手動切斷有關部位的非消防電源。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境無塵室檢測認真負責