2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護(hù)；當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機(jī)、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。浙江靜電無塵室檢測服務(wù)

16.4.22臭氧濃度的檢驗應(yīng)符合下列規(guī)定：在風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應(yīng)符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定外，還應(yīng)在系統(tǒng)和該裝置正常運(yùn)轉(zhuǎn)條件下，檢測室內(nèi)臭氧濃度。應(yīng)按附錄E檢驗，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求。當(dāng)設(shè)計無明確要求時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《室內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應(yīng)符合下列規(guī)定：當(dāng)對新風(fēng)效果作細(xì)致確認(rèn)時，可在風(fēng)系統(tǒng)正常運(yùn)行、室內(nèi)處于動態(tài)條件下，于每一班次結(jié)束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求。當(dāng)設(shè)計無明確要求時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《空內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當(dāng)需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設(shè)方與檢驗方商定的方法檢測，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求或雙方商定的標(biāo)準(zhǔn)。微生物無塵室檢測范圍由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起,構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。

13.3.1可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板，或0.3mm~0.5mm厚鋼板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連接處應(yīng)安裝連續(xù)的導(dǎo)電襯墊。施工直接安在圍護(hù)結(jié)構(gòu)地面上的底板時，底板與地面之間應(yīng)鋪2mm~3mm厚的電絕緣和能隔水汽的墊層。安裝過程中不得在底板上灑水。13.3.2焊接式電磁屏蔽室的壁板和頂板宜選用2mm厚鋼板，底板宜選用2.5mm~3mm厚鋼板。選用銅板、鋁板或不銹鋼板時，均宜選用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接時嚴(yán)禁燒穿屏蔽壁板，不得使壁板變形。當(dāng)在屏蔽壁板表面粘貼鐵氧體等吸波材料時，必須把表面焊縫打磨平整。

E.2.1靜壓差的測定應(yīng)在所有房間的門關(guān)閉時進(jìn)行，有排風(fēng)時，應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進(jìn)行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室，還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下，離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開口與鄰室相通的潔凈室，還應(yīng)測定開口處的流速和流向。E.2.1靜壓差的測定應(yīng)在所有房間的門關(guān)閉時進(jìn)行，有排風(fēng)時，應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進(jìn)行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室，還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下，離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開口與鄰室相通的潔凈室，還應(yīng)測定開口處的流速和流向。無塵室的設(shè)計充分考慮了環(huán)境污染的來源。

13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺。13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺。在額定風(fēng)量下,極易穿透粒徑法的效率在99.9995%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。上海國內(nèi)無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)

塵室通常采用高效的HEPA（高效顆?？諝猓┻^濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過濾器，可有效過濾微小的灰塵。浙江靜電無塵室檢測服務(wù)

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式。浙江靜電無塵室檢測服務(wù)