抽速從20m3/h~500m3/h。據統(tǒng)計,目前國產干泵的應用還不足1%,國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,中國應大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為中國真空工業(yè)新的經濟增長點。產品展示旋片真空泵的抽速范圍為~150升/秒(1升=10-3米3),工作壓力范圍一般為1×105~1帕,較大抽速的壓力范圍為1×105~13帕。極限壓力:單級泵為1帕,雙級泵為×10-2帕。旋片真空泵一般只適于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的氣體(對于后者須裝氣鎮(zhèn)閥),不適于抽除含氧過高、性、腐蝕性、對泵油起化學作用和含有固體顆粒的氣體。在真空系統(tǒng)中,這種泵可單獨使用,或作為增壓泵、擴散泵等的前級泵。?真空泵環(huán)式真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限壓力,對于單級泵為~;對于雙級泵為~。水環(huán)泵也可用作壓縮機,它屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為(1~2)X105Pa表壓力(在特定的條件下)。水環(huán)泵在石油、化工、機械、礦山、輕工、造紙、動力、冶金、醫(yī)藥和食品等工業(yè)及市政與農業(yè)等部門的許多工藝過程中,如真空過濾、真空送料、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空濃縮和真空回潮等,得到了***的應用,由于水環(huán)泵壓縮氣體的過程是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體。真空泵設備操作規(guī)范是什么?定制真空泵參考價格
分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速*為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。干泵國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,**提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa。進口真空泵批發(fā)威克預應力專業(yè)的真空泵批發(fā)廠家。
水環(huán)式真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、旋片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應用**多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。2SK、2SK-P1系列雙級水環(huán)式真空泵?真空泵主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。***用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單,使用方便、工作可靠、維護方便的特點。JZJS型羅茨——水環(huán)泵機組本機組由于采用水環(huán)泵作為前級泵,因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如:真空蒸餾、蒸發(fā)、脫水、結晶、干燥等工藝過程中JZJX型羅茨一旋片泵機組(ModelJZJXRoots-SlidingVaneRotaryVacuumPumpSystem)是以羅茨泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯而成。其結構緊湊,操作方便。適用于抽除空氣及其它無可凝性及無腐蝕性的氣體,廣泛應用于需要大抽速和高真空的各種真這系統(tǒng)中。如:真空冶煉,電力電容器,變壓器。
有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。6、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。 專業(yè)的真空泵設備要如何選擇?
羅茨泵產量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前,國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵,所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場,這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進泵的外觀質量,提高泵內的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。目前,國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應該在國內大力推廣和應用。柳州威克預應力設備歡迎訂購。專業(yè)的真空泵設備,廠家報價。機械真空泵費用是多少
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活塞式真空泵1×105~×1021×105旋片式真空泵1×105—×10-11×105水環(huán)式真空泵1×105—×1031×105羅茨真空泵×103—×103渦輪分子泵—×10-5水蒸氣噴射泵1×105—×10-11×105油擴散泵×10-2—×10-7×10油蒸氣噴射泵×10—×10-2<×105分子篩吸附泵1×105—×10-11×105濺射離子泵×10-3—×10-9×10-1鈦升華泵×10-2—×10-9×10-2鋯鋁吸氣劑泵×10—×10-11×10低溫泵—×10-11—×10-1機械分類按其工作原理,基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括:1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、旋片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應用**多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。2SK、2SK-P1系列雙級水環(huán)式真空泵?真空泵主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單。 定制真空泵參考價格
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