深硅刻蝕工藝在高深寬比結(jié)構(gòu)中的技術(shù)突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過(guò)優(yōu)化Bosch工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結(jié)構(gòu)加工?？涛g過(guò)程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結(jié)合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側(cè)壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術(shù)應(yīng)用于地質(zhì)勘探模擬芯片時(shí)，可精確復(fù)制地下巖層的微孔結(jié)構(gòu)，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應(yīng)腔中，高深寬比流道增加了反應(yīng)物接觸面積，使酶促反應(yīng)速率提升40%。公司還開(kāi)發(fā)了雙面刻蝕與通孔對(duì)齊技術(shù)，實(shí)現(xiàn)三維立體流道網(wǎng)絡(luò)加工，為微反應(yīng)器、微換熱器等復(fù)雜器件提供了關(guān)鍵制造能力，推動(dòng)MEMS技術(shù)在能源、環(huán)境等領(lǐng)域的跨學(xué)科應(yīng)用。完善 PDMS 芯片產(chǎn)線覆蓋來(lái)料加工、生產(chǎn)、質(zhì)檢，支持高標(biāo)準(zhǔn)批量交付。天津微流控芯片pcr

微流控芯片反應(yīng)信號(hào)的收集和分析的難題：由于反應(yīng)體系較小，故而只產(chǎn)生較低的信號(hào)強(qiáng)度，如何收集并分析芯片中產(chǎn)生的信號(hào)，是微流控芯片研究的另一項(xiàng)重點(diǎn)，因此，微流控芯片大多需要龐大的信號(hào)讀取和分析設(shè)備。近年來(lái)便攜性、自動(dòng)化、敏感的新型微流控芯片讀取設(shè)備受到科研人員關(guān)注。Hu等設(shè)計(jì)和制造的自動(dòng)化微流控芯片檢測(cè)儀器，體積小，功能完善，能夠自動(dòng)連接微流控芯片壓力出口和蠕動(dòng)泵的負(fù)壓連接器，精確地操控微量液體，并通過(guò)內(nèi)置檢測(cè)和分析模塊，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化、可重復(fù)的快速免疫分析。此外一些團(tuán)隊(duì)已設(shè)計(jì)出體積更小的手持式設(shè)備用于定量測(cè)量反應(yīng)信號(hào)天津微流控芯片pcr硅基微流道鍵合微電極，為神經(jīng)調(diào)控芯片提供穩(wěn)定信號(hào)傳輸與生物相容性。

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學(xué)方法對(duì)其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術(shù)將微通道等微結(jié)構(gòu)加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機(jī)均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學(xué)腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當(dāng)?shù)目涛g劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結(jié)束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標(biāo)準(zhǔn)光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環(huán)境，無(wú)法實(shí)現(xiàn)快速批量生產(chǎn)。

高標(biāo)準(zhǔn)PDMS微流控芯片產(chǎn)線的批量生產(chǎn)能力：依托自研單分子系列PDMS芯片產(chǎn)線，公司建立了從材料制備到成品質(zhì)檢的全流程標(biāo)準(zhǔn)化體系。PDMS芯片生產(chǎn)包括硅模制備、預(yù)聚體澆筑、固化切割、表面改性及鍵合封裝五大工序，其中關(guān)鍵環(huán)節(jié)如硅模精度控制（±1μm）、表面親疏水修飾（接觸角誤差<5°）均通過(guò)自動(dòng)化設(shè)備實(shí)現(xiàn)，確保批量產(chǎn)品的一致性。產(chǎn)線配備光學(xué)顯微鏡、接觸角測(cè)量?jī)x及壓力泄漏測(cè)試儀，對(duì)芯片流道尺寸、密封性能及表面特性進(jìn)行100%全檢，良品率穩(wěn)定在98%以上。典型產(chǎn)品包括單分子免疫檢測(cè)芯片、數(shù)字ELISA芯片及細(xì)胞共培養(yǎng)芯片，單批次產(chǎn)能可達(dá)10,000片以上。公司還開(kāi)發(fā)了PDMS與硬質(zhì)卡殼的復(fù)合封裝技術(shù)，解決了軟質(zhì)芯片的機(jī)械強(qiáng)度不足問(wèn)題，適用于自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備的集成應(yīng)用，為生物制藥與體外診斷行業(yè)提供了可靠的批量供應(yīng)保障。運(yùn)用MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)了單分子免疫微流控生物傳感芯片的功能。

微流控芯片在POCT設(shè)備中的小型化設(shè)計(jì)與加工：POCT（即時(shí)檢驗(yàn)）設(shè)備對(duì)微流控芯片的小型化、低成本與易用性提出了極高要求。公司通過(guò)微流道集成設(shè)計(jì)，將樣品預(yù)處理、反應(yīng)、檢測(cè)等功能壓縮至25mm×25mm芯片內(nèi)，配合毛細(xì)虹吸與重力驅(qū)動(dòng)流路，省去外部泵閥系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)動(dòng)力操作。加工方面，采用紫外激光切割技術(shù)實(shí)現(xiàn)芯片邊緣的高精度成型（誤差<±50μm），并通過(guò)模內(nèi)注塑技術(shù)集成進(jìn)樣孔、反應(yīng)腔與檢測(cè)窗口，單芯片生產(chǎn)成本較傳統(tǒng)工藝降低30%。典型案例包括抗原檢測(cè)芯片，其微流道網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)了樣本稀釋、抗體捕獲與顯色反應(yīng)的一體化，檢測(cè)時(shí)間縮短至15分鐘，檢測(cè)靈敏度與膠體金法相當(dāng)，但操作步驟減少50%。公司還開(kāi)發(fā)了芯片與試紙條的復(fù)合結(jié)構(gòu)，兼容現(xiàn)有POCT儀器讀取系統(tǒng)，為快速診斷產(chǎn)品提供了從設(shè)計(jì)到量產(chǎn)的全鏈條解決方案。硬質(zhì)塑料微流控芯片可加工 PMMA、COC 等材質(zhì)，滿(mǎn)足工業(yè)檢測(cè)與 POCT 需求。天津微流控芯片pcr

硅片微流道加工集成微電極，構(gòu)建腦機(jī)接口柔性電極系統(tǒng)減少手術(shù)創(chuàng)傷。天津微流控芯片pcr

微流控芯片對(duì)于胰島素的補(bǔ)充檢測(cè)：抗胰島素自身抗體是Ⅰ型糖尿病中出現(xiàn)的抗體，但當(dāng)胰島素被固定在檢測(cè)平臺(tái)上時(shí)，表位結(jié)合位點(diǎn)的關(guān)鍵三級(jí)結(jié)構(gòu)發(fā)生改變，故而難以用常規(guī)方法檢測(cè)，Zhang等在芯片表面噴涂生物相容的支鏈聚乙二醇層，用以保護(hù)胰島抗原的天然構(gòu)象，該芯片可以在低樣本量下同時(shí)檢測(cè)多個(gè)胰島抗原特異性自身抗體，且檢測(cè)結(jié)果不受全血樣本中復(fù)雜背景的影響。也有研究團(tuán)隊(duì)嘗試通過(guò)檢測(cè)自身抗體以對(duì)心血管疾病、慢性疾病作出診斷。Dinter等研究人員將微流體芯片和微珠技術(shù)相結(jié)合，用以檢測(cè)3種心血管疾病相關(guān)自身抗體并進(jìn)行抗體滴度測(cè)定。Lin等人設(shè)計(jì)制造的免疫分析平臺(tái)可在45 min內(nèi)檢測(cè)臨床患者血清抗tumour蛋白53（tumor protein 53，p53）自身抗體濃度，有望用于口腔鱗狀細(xì)胞cancer的篩查。天津微流控芯片pcr